ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ ΑΘΑΝΑΣΙΟΣ Ι. ΣΜΥΡΝΑΚΗΣ

Μέγεθος: px
Εμφάνιση ξεκινά από τη σελίδα:

Download "ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ ΑΘΑΝΑΣΙΟΣ Ι. ΣΜΥΡΝΑΚΗΣ"

Transcript

1 ΕΘΝΙΚΟ ΜΕΤΣΟΒΙΟ ΠΟΛΥΤΕΧΝΕΙΟ ΣΧΟΛΗ ΕΦΑΡΜΟΣΜΕΝΩΝ ΜΑΘΗΜΑΤΙΚΩΝ & ΦΥΣΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΔΙΑΤΜΗΜΑΤΙΚΟ ΠΡΟΓΡΑΜΜΑ ΜΕΤΑΠΤΥΧΙΑΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ ΜΙΚΡΟΣΥΣΤΗΜΑΤΑ ΚΑΙ ΝΑΝΟΔΙΑΤΑΞΕΙΣ ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ ANAΠΤΥΞΗ ΚΡΥΟΓΕΝΙΚΗΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΑΣ ΕΓΧΑΡΑΞΗΣ ΠΥΡΙΤΙΟΥ ΣΤΗ ΜΙΚΡΟ- ΚΑΙ ΝΑΝΟΚΛΙΜΑΚΑ ΑΘΑΝΑΣΙΟΣ Ι. ΣΜΥΡΝΑΚΗΣ ΕΠΙΒΛΕΠΩΝ: ΕΥΑΓΓΕΛΟΣ ΓΟΓΓΟΛΙΔΗΣ, Ερευνητής Α Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. «Δημόκριτος» ΑΘΗΝΑ 2010

2 ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ Ανάπτυξη κρυογενικής διεργασίας εγχάραξης πυριτίου στη μίκρο- και νανοκλίμακα Αθανάσιος Ι. Σμυρνάκης Διπλωματούχος Σχολής Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών, Ε.Μ.Π. ΕΠΙΒΛΕΠΩΝ Ευάγγελος Γογγολίδης, Ερευνητής Α, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. «Δημόκριτος» ΕΞΕΤΑΣΤΙΚΗ ΕΠΙΤΡΟΠΗ Ευάγγελος Γογγολίδης, Ερευνητής Α, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. «Δημόκριτος» Αγγελική Τσερέπη, Ερευνήτρια Β, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. «Δημόκριτος» Ιωάννα Ζεργιώτη, Επικ. Καθηγήτρια Ε.Μ.Π. 2

3 Ευχαριστίες Η παρούσα μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία εκπονήθηκε στο Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. Δημόκριτος κατά το χρονικό διάστημα Σεπτ Οκτ. 2010, στα πλαίσια του Διατμηματικού Προγράμματος Μεταπτυχιακών Σπουδών Μικροσυστήματα και Νανοδιατάξεις του Εθνικού Μετσόβιου Πολυτεχνείου που συντονίζει η Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών Ε.Μ.Π. και συμμετέχει το Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. Δημόκριτος ως συνεργαζόμενος φορέας. Θα ήθελα να ευχαριστήσω θερμά τον επιβλέποντα της παρούσας μελέτης Δρ. Ευαγ. Γογγολίδη, ερευνητή Α του Ινστιτούτου Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ Δ, επικεφαλή της ερευνητικής ομάδας του εργαστηρίου πλάσματος, για την παρότρυνση στην επιλογή του συγκεκριμένου θέματος, την συνεχή καθοδήγηση και ενθάρυνση για την επίτευξη του βέλτιστου δυνατού αποτελέσματος, καθώς και για το χρόνο που μου αφιέρωσε. Επίσης, θα ήθελα να ευχαριστήσω την Δρ. Α. Τσερέπη, Κύρια Ερευνήτρια ΕΚΕΦΕ «Δ» για τις εύστοχες παρατηρήσεις και τις πολύτιμες επιστημονικές συμβουλές της σε όλη τη διάρκεια της εργασίας σε θέματα που αφορούν την κρυογενική εγχάραξη. Καθοριστική ήταν η συνεργασία με τον Α. Ζένιου, τεχνικό του εργαστηρίου πλάσματος, του οποίου η υποστήριξη και βοήθεια ήταν σημαντική και απαραίτητη καθ όλη τη διάρκεια των πειραματικών διαδικασιών. Επιπλέον, θα ήθελα να ευχαριστήσω τους υποψήφιους Διδάκτορες Κ. Έλληνα και Δ. Κοντζιαμπάση για τις σημαντικές συμβουλές τους και τη βοήθεια στις διεργασίες της κολλοειδούς λιθογραφίας και αυτοργάνωσης για το πλάσμα, αντίστοιχα, και την Χ. Σκουλικίδου, τεχνικό του Ινστ. Μικροηλεκτρονικής, για τη λήψη φωτογραφιών από το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο. Βαθιά ευχαριστώ όλα τα μέλη της ομάδας του εργαστηρίου πλάσματος, τόσο για τις πολύτιμες συμβουλές τους στα διάφορα στάδια της εργασίας αυτής, όσο και για τον τρόπο που με υποδέχτηκαν και με βοήθησαν να ενταχθώ στην ερευνητική ομάδα. Τέλος, θα ήθελα να ευχαριστήσω την οικογένεια μου για τη στήριξη που μου προσφέρει από τα πρώτα χρόνια των σπουδών μου, ώστε να μπορώ να αφιερώνω όσο περισσότερο χρόνο και ενέργεια γίνεται, στην πρώιμη ερευνητική μου δραστηριότητα. Αθανάσιος Σμυρνάκης Οκτώβριος

4 ΠΕΡΙΕΧΟΜΕΝΑ ΠΕΡΙΛΗΨΗ... 7 SUMMARY... 8 ΕΙΣΑΓΩΓΗ... 9 Α) Νανοτεχνολογία... 9 Β) Κατηγορίες τεχνολογιών μικρο-νανοκατασκευαστικής Γ) Εγχάραξη του πυριτίου Δ) Σκοπός της διπλωματικής εργασίας ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΕΣ ΝΑΝΟΚΑΤΑΣΚΕΥΑΣΤΙΚΗΣ Εισαγωγή Λιθογραφικές τεχνικές Οπτική Λιθογραφία Λιθογραφία δέσμης ηλεκτρονίων (EBL) Λιθογραφία νανοαποτύπωσης (Nanoimprint Lithography,NIL) Λιθογραφία με αυτοργάνωση συμπολυμερών κατά συστάδες (Block Copolymer) Λιθογραφία νανοσφαιρών Λιθογραφία με νανοσωματίδια μη πολυμερικά Μεταφορά σχεδίου από τη μάσκα εγχάραξης Υγρή εγχάραξη πυριτίου Ξηρή εγχάραξη πυριτίου Πλάσμα Ξηρή Εγχάραξη με πλάσμα - βασική ορολογία Προβλήματα κατά την εγχάραξη με πλάσμα δομών υψηλού λόγου ασυμμετρίας Mηχανισμοί και διαδικασία εγχάραξης με πλάσμα

5 1.5.5 Χημείες πλάσματος για την εγχάραξη πυριτίου ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2 TΕΧΝΟΛΟΓΙΕΣ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗΣ ΝΑΝΟΚΟΛΟΝΩΝ ΠΥΡΙΤΙΟΥ Εισαγωγή Κατασκευή μίκρο- και νανοκολόνων πυριτίου (βιβλιογραφική επισκόπηση) Εναλλακτικές τεχνικές κατασκευής νανοδομών: χρήση laser και η μέθοδος VLS Εφαρμογές νανοκολόνων ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3 ΕΓΧΑΡΑΞΗ ΠΥΡΙΤΙΟΥ ΣΤΗ ΜΙΚΡΟ- & ΝΑΝΟ-ΚΛΙΜΑΚΑ ΜΕ ΔΙΕΡΓΑΣΙΕΣ ΠΛΑΣΜΑΤΟΣ Εισαγωγή Η μέθοδος Bosch H κρυογενική μέθοδος εγχάραξης με πλάσμα Παθητικό στρώμα Βελτιστοποίηση του προφίλ των δομών Ο ρόλος της θερμοκρασίας Το Black Silicon Υλικά μάσκας στην κρυογενική εγχάραξη Τάσεις παραμέτρων στην κρυογενική εγχάραξη Παραδείγματα εγχάραξης πυριτίου σε κρυογενικές συνθήκες Εναλλακτικές διεργασίες κρυογενικής εγχάραξης Μέθοδος εγχάραξης με πλάσμα ΗBr Μέθοδος εγχάραξης με μίγμα αερίων (SF 6 /CHF 3, SF 6 /C 4 F 8 ) ΚΕΦΑΛΑΙΟ 4 ΠΕΙΡΑΜΑΤΙΚΕΣ ΣΥΣΚΕΥΕΣ & ΤΕΧΝΙΚΕΣ Αvτιδραστηρας πλασματος helicon ΜΕΤ Alcatel

6 4.2 Αντιδραστήρας πλάσματος RIE - Nextral Alcatel NE Ηλεκτρονική Μικροσκοπία Σάρωσης (SEM) Μικροσκοπία Ατομικών Δυνάμεων (AFM) Ελλειψομετρία Ακτινομετρία ΚΕΦΑΛΑΙΟ 5 ΠΕΙΡΑΜΑΤΙΚΕΣ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΕΣ & ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ Διεργασία οπτικής λιθογραφίας Λιθογραφία υμενίων ΑΖ μεγάλου και μικρού πάχους Kατασκευή βάσης μεταφοράς δείγματων για εγχάραξη Αριστοποίηση Κρυογενικής Εγχάραξης Πυριτίου Σχεδιασμός και οργάνωση πειραμάτων Πειράματα βελτιστοποίησης της ανισοτροπικής εγχάραξης Θέματα αστάθειας διεργασίας - Αντιμετώπιση προβλημάτων Κατασκευή μικροκολόνων πυριτίου Κατασκευή νανοκολόνων Si με μάσκα σφαιρών PS Κολλοειδής λιθογραφία Ισοτροπική εγχάραξη μικροσωματιδίων πολυστυρενίου Κρυογενική εγχάραξη Si με μάσκα σφαιριδίων πολυστυρενίου Αυτο-οργάνωση κατευθυνόμενη από το πλάσμα Κατασκευή μάσκας πολυμερικών νανοτελειών Μεταφορά σχήματος στο πυρίτιο με κρυογενική εγχάραξη Μεταφορά σχήματος σε ενδιάμεσο στρώμα SiO Συμπεράσματα - Μελλοντικές προοπτικές ΑΝΑΦΟΡΕΣ

7 ΠΕΡΙΛΗΨΗ Στην παρούσα μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία γίνεται η ανάπτυξη και αριστοποίηση της κρυογενικής διεργασίας εγχάραξης του πυριτίου σε υψηλής πυκνότητας πλάσμα στη μίκρο- και νανοκλίμακα. Στόχος είναι η κατασκευή νανοδομών πυριτίου μεγάλης αναλογίας ύψους προς πλάτος, και συγκεκριμένα μικρο- και νανοκολόνων. Η κατασκευή της μάσκας εγχάραξης περιλαμβάνει την χρήση τριών λιθογραφικών μεθόδων με τις οποίες γίνεται το πέρασμα από μικροδιαστάσεις σε νανοδιαστάσεις. Οι μέθοδοι αυτές είναι κατά σειρά εφαρμογής η οπτική λιθογραφία, η λιθογραφία κολλοειδών σωματιδίων και η αυτο-οργάνωση κατευθυνόμενη με πλάσμα. Στο πρώτο κεφάλαιο, παρουσιάζεται μια εισαγωγή στις διεργασίες νανοκατασκευής. Περιγράφονται οι σημαντικότερες λιθογραφικές τεχνικές και ο τρόπος μεταφοράς του σχεδίου από τη μάσκα. Παρουσιάζεται αναλυτικά η ξηρή εγχάραξη του πυριτίου με πλάσμα, με αναφορές στη βασική ορολογία, ζητήματα και προβλήματα που προκύπτουν κατά την εγχάραξη, και στις χημείες πλάσματος που χρησιμοποιούνται. Το δεύτερο κεφάλαιο αποτελεί τη βιβλιογραφική επισκόπηση των τεχνολογιών κατασκευής μικρο- και νανοκολόνων πυριτίου. Γίνεται περιγραφή και σύγκριση του συνόλου των μεθόδων (λιθογραφία και μεταφορά σχήματος με εγχάραξη) που έχουν δημοσιευτεί την τελευταία δεκαετία. Τέλος, γίνεται αναφορά σε εναλλακτικές μη λιθογραφικές τεχνικές κατασκευής νανοδομών. Το τρίτο κεφάλαιο αναφέρεται στην εγχάραξη του πυριτίου στη μίκρο- και νανοκλίμακα με διεργασίες πλάσματος. Έμφαση δίνεται στις μεθόδους βαθιάς εγχάραξης πυριτίου (DRIE), με εκτενής περιγραφή και βιβλιογραφική επισκόπηση της κρυογενικής διεργασίας εγχάραξης με πλάσμα SF 6 /O 2. Στο τέταρτο κεφαλαιο, παρουσιάζονται οι πειραματικές συσκευές και οι τεχνικές που χρησιμοποιήθηκαν στα πλαίσια της παρούσας μελέτης (αντιδραστήρας πλάσματος, SEM, AFM ελλειψομετρία κ.α.) Τέλος, στο πέμπτο κεφάλαιο παρουσιάζεται το σύνολο των πειραματικών διαδικασιών και αποτελεσμάτων, που περιλαμβάνει την κατασκευή μάσκας εγχάραξης με οπτική λιθογραφία, κολλοειδή λιθογραφία και αυτο-οργάνωση με το πλάσμα, και τους κύκλους αριστοποίησης της κρυογενικής εγχάραξης του πυριτίου. 7

8 Γίνεται σχολιασμός των αποτελεσμάτων, προσπάθεια ερμηνείας τους και αναφέρονται οι μελλοντικές προοπτικές. SUMMARY In this work a cryogenic high-density plasma etching process for silicon is developed and optimized in the micro- and nanoscale. Our aim is the fabrication of high aspect ratio nanofeatures, especially micro- and nanopillars. For the fabrication of the etching mask we use three different patterning methods in order to achieve the shrinking of the feature size. These methods include optical lithography, colloidal lithography and plasma directed organization. In the first chapter, an introduction to the fundamentals of silicon nanofabrication is presented. The most common techniques of lithography and pattern transfer are described. Emphasis is given on plasma etching and terminology, etching mechanisms and etching problems, and on reactive ion etching chemistries for silicon. The second chapter is a literature review of the micro- and nanopillar fabrication technologies. A comparative review of the developments during past ten years on the subject is made. Alternative non-lithographic nanofabrication methods are also reported. In the third chapter, the micro- and nanoscale plasma etching processes for silicon are introduced. We emphasize on the Deep Reactive Ion Etcing processes with an extensive literature review of the cryogenic silicon etching using an SF 6 /O 2 plasma. In the fourth chapter, the experimental apparatus and techniques (plasma reactor, SEM, AFM, ellipsometry etc.) that were used for this study are described. Finally, in the fifth chapter, a detailed presentation of the experimental study and results is given. This includes the patterning via optical lithography, colloidal lithography and plasma directed organization, and the circles of optimization tests for the cryogenic process. The final results are discussed and interpreted and future work is outlined. 8

9 ΕΙΣΑΓΩΓΗ Α) Νανοτεχνολογία Δεν έχει υπάρξει κάποια άλλη τεχνολογία, που μέσα σε μία περίοδο μερικών μόνο ετών, να έχει τραβήξει πάνω της τόσο μεγάλο ενδιαφέρον όσο η νανοτεχνολογία. Οραματίστηκε το 1959 από τον βραβευμένο με Νόμπελ Φυσικής Richard Feynman, στην φημισμένη πρόρρησή του there s plenty of room at the bottom (μετ. υπάρχει πολύς χώρος εκεί χαμηλά ). Ο όρος νανοτεχνολογία επινοήθηκε από τον καθηγητή Norio Taniguchi το 1974, ενώ έγινε ευρέως γνωστός από τον K. Eric Drexler στα μέσα της δεκαετίας του 80 στο βιβλίο του Engines of Creation: The Coming Era of Nanotechnology. Η νανοτεχνολογία έφυγε από τη σφαίρα της επιστημονικής φαντασίας και έγινε πραγματικότητα ως επακόλουθο της εφεύρεσης του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σήραγγας (STM), με το οποίο κατέστη δυνατόν να παρατηρήσουμε στη μοριακή κλίμακα. Νανοτεχνολογία είναι η μελέτη υλικών, διεργασιών, διατάξεων και συστημάτων που περιλαμβάνουν δομές και συστατικά μέρη, τα οποία εξαιτίας των νανομετρικών διαστάσεών τους (1 nm = 10-9 m) επιδεικνύουν πρωτότυπες φυσικές, χημικές και βιολογικές ιδιότητες. Πρόκειται για ένα συλλογικό όρο για ένα σύνολο τεχνολογιών, τεχνικών και διεργασιών παρά για μία ειδική επιστήμη. Κάθε επιστημονικός κλάδος που μπορεί να δεχθεί το πρόθεμα νανο- γίνεται μέρος της νανοεπιστήμης. Τέτοιοι τομείς είναι η νανοηλεκτρονική, η νανομηχανική, η νανορομποτική, η νανοφωτονική, η νανοβιολογία, η νανοϊατρική κ.α. Η κλίμακα των διαστάσεων είναι ο κοινός παρονομαστής όλων αυτών των διαφορετικών κλάδων. Ο όρος νανο- αναφέρεται σε διαστάσεις nm. Tα 100 nm θεωρούνται το όριο μεταξύ νανοκλίμακας και μικροκλίμακας. Το κλειδί στην νανοτεχνολογία είναι η κατασκευή νανοδομών, με τουλάχιστον τη μία διάστασή τους μικρότερη από αυτό το όριο. Παράδειγμα μονοδιάστατων νανοδομών είναι τα λεπτά υμένια πάχους μερικών ατομικών επιπέδων, ενώ τα νανοσωματίδια, οι νανοσωλήνες άνθρακα και τα νανονήματα αποτελούν τρισδιάστατες νανοκατασκευές. Τέλος, υπάρχει μια μεγάλη κατηγορία δισδιάστατων νανοδομών που περιλαμβάνει τα επίπεδα τρανσίστορ, μαγνητικά ή φωτονικά στοιχεία, νανομηχανικά στοιχεία κ.α. 9

10 Εικόνα 1: Φυσικά και τεχνητά αντικείμενα στη μικροκλίμακα και στη νανοκλίμακα. Από την εφεύρεση του πρώτου τρανσίστορ το 1947, η μικροηλεκτρική και η βιομηχανία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (ΙC) υπήρξαν οι κύριες δυνάμεις που ωθούσαν συνεχώς τις τεχνολογίες κατασκευής στα όριά τους, όσον αφορά τη σμίκρυνση των διαστάσεων. Ακολουθώντας τον περίφημο νόμο του Moore, η βιομηχανία ημιαγωγών μπόρεσε να διπλασιάζει την πυκνότητα των τρανζίστορ ανά μονάδα επιφάνειας σε ένα chip πυριτίου κάθε 18 μήνες. Μάλιστα, η σμίκρυνση των διαστάσεων των IC γίνεται ταχύτερα από ότι πρόβλεψε ο Moore, παιρνώντας έτσι στην more than Moore εποχή. Σύμφωνα με τη πρόβλεψη της έκδοσης του ITRS (International Technology Roadmap for Semicoductors) που εκδόθηκε τo 1997, η ελάχιστη δομή κυκλώματος θα πρέπει να είναι 50 nm τo Όμως στις μέρες μας, επεξεργαστές τεχνολογίας 32 nm βρίσκονται ήδη σε μαζική παραγωγή, ενώ ετοιμάζεται η γενιά των 22 nm. Σύμφωνα με το όριο διαστάσεων των 100 nm λοιπόν, η τωρινή γενιά των IC βρίσκεται στην περιοχή της νανοτεχνολογίας. 10

11 Η βιομηχανία των ημιαγωγών έχει ξοδέψει δισεκατομμύρια δολάρια για την ανάπτυξη όλο και πιο εξεζητημένων εξοπλισμών και τεχνολογιών για να περιορίσει το μέγεθος των IC με μοναδικό σκοπό την μαζική παραγωγή. Καθ όλη τη διάρκεια του τελευταίου μισού αιώνα, αρνείται να εγκαταλήψει την οπτική λιθογραφία, επειδή υπήρξε η μόνη τεχνολογία που έχει την ικανότητα να μεταφέρει το σχήμα σε εκατοντάδες δισκία ανά ώρα στην επιθυμητή διάσταση δομής. Από την άλλη μεριά, η ερευνητική κοινότητα της νανοεπιστήμης αρκείται σε πολλές άλλες, λιγότερο δαπανηρές τεχνικές και εργαλεία νανοκατασκευής. Εξ άλλου σπάνια οι ακαδημαϊκοί ερευνητές έχουν πρόσβαση σε εγκαταστάσεις με εξοπλισμό αιχμής, οπότε θα πρέπει να εργαστούν λαμβάνοντας υπ όψιν το διαθέσιμο εξοπλισμό, ώστε να κατασκευάσουν νανοδομές με προσιτό κόστος. Αποτέλεσμα αυτού, είναι η ανάπτυξη νέων πρωτότυπων τεχνικών και διεργασιών, βασικά στοιχεία των οποίων είναι το χαμηλό κόστος και η ευκολία νανοκατασκευής. Έξαιρετικό παράδειγμα αποτελεί η ανάπτυξη στα μέσα της δεκαετίας του 1990 της λιθογραφίας νανο-αποτύπωσης (nanoimprint lithography, NIL) για την σχηματοποίηση δομών κάτω από τα 100 nm. Η τεχνική αυτή έχει την ικανότητα παράλληλης σχηματοποίησης, όπως η οπτική λιθογραφία, αλλά είναι αρκετά πιο οικονομική. Η ανάπτυξη μιας τεχνικής κατασκευής δεν ισοδυναμεί με την ένταξή της στην διαδικασία της βιομηχανικής παραγωγής. Οι βασικές απαιτήσεις είναι ο μεγάλος όγκος παραγωγής και η απόδοση. Ζήτημα αποτελεί επίσης η ύπαρξη της απαραίτητης υποδομής υποστήριξης. Για παράδειγμα, η οπτική λιθογραφία χρειάζεται την παράλληλη ανάπτυξη και εξέλιξη του κλάδου των φωτοευαίσθητων πολυμερών, της κατασκευής φωτομασκών, των τεχνολογιών ελέγχου και χαρακτηρισμού κτλ. Το ίδιο ισχύει για τις λεγόμενες λιθογραφίες επόμενης γενιάς (next-generation lithography, NGL), όπως η λιθογραφία στο βαθύ υπεριώδες (EUV), η NIL με συνδιασμό βηματικής οπτικής έκθεσης (step-and-flash), και η λιθογραφία χωρίς μάσκα (ΜL2). Για να πληρείται το κριτήριο της απόδοσης, η τεχνική νανοκατασκευής θα πρέπει να είναι αξιόπιστη, επαναλήψιμη, και να εμφανίζει τις ελάχιστες ατέλειες. Η ταυτόχρονη τήρηση όλων αυτών των απαιτήσεων είναι πολύ δύσκολη, ακόμα και για τεχνολογίες που βρίσκονται σε ώριμο στάδιο. Παρόλο που λίγες μόνο τεχνολογίες νανοκατασκευής θα περάσουν στο στάδιο της μαζικής παραγωγής, πολλές νέες διαδικασίες αναπτύσσονται κάθε χρόνο. Αυτό συμβαίνει γιατί υπάρχουν πολλές άλλες εφαρμογές, ερευνητικές ή εμπορικές, που 11

12 απαιτούν νανοδομές, χωρίς την ανάγκη μεγάλου όγκου παραγωγής. Η επινοητικότητα και η φαντασία έχουν οδηγήσει σε πολλές νέες μη συμβατικές, άμεσες ή έμμεσες μεθόδους κατασκευής νανοδομών. Αξιοσημείωτο παράδειγμα αποτελεί η χρήση, με μηχανικό, ηλεκτρικό ή οπτικό τρόπο, των ακίδων σάρωσης. Όσον αφορά την περιοχή των μερικών δεκάδων νανομέτρων, οι τεχνικές αυτο-οργάνωσης ίσως να αποτελέσουν την κυρίαρχη τεχνολογία. Β) Κατηγορίες τεχνολογιών μικρο-νανοκατασκευαστικής Η μικρο-νανομηχανική αναφέρεται στην κατασκευή δομών οι οποίες έχουν διαστάσεις στη κλίμακα των μικρομέτρων ή νανομέτρων, αντίστοιχα. Οι τεχνολογίες μικρο-νανοκατασκευαστικής μπορούν να ταξινομηθούν σε τρεις κατηγορίες: την επίπεδη (planar) τεχνολογία, την τεχνολογία σημειακής κατασκευής (probing) με εργαλεία, ακίδες ή δέσμες, και την τεχνολογία μορφοποίησης σε καλούπι (molding). Η επίπεδη τεχνολογία βασίζεται στη μικρολιθογραφία για να αποτυπωθεί μία εικόνα πάνω σε ενα φωτοευαίσθητο υλικό. Μετά την εμφάνιση, πάνω στο υπόστρωμα απομένει μία εικόνα, η οποία αποτελεί το δισδιάστατο προσχέδιο της δομής. Ακολουθεί η εγχάραξη ή η εναπόθεση, χρησιμοποιώντας το προσχέδιο αυτό ως μάσκα για τη μεταφορά του σχήματος στο υπόστρωμα. Επαναλαμβάνοντας πολλές φορές την διαδικασία μπορούν να «χτιστούν» πολύπλοκες τρισδιάστατες δομές. Η λιθογραφία μπορεί να γίνει με έκθεση φωτονίων, δέσμης ηλεκτρονίων, ή ακτίνων-χ. Το προσχέδιο μπορεί να αποτυπωθεί έμμεσα, μέσω ενός λεπτού στρώματος φωτοευαίσθητου πολυμερούς, ή άμεσα στο υπόστρωμα με laser ή δέσμη ηλεκτρονίων. Η εγχάραξη μπορεί να είναι υγρή με χρήση κάποιου διαλύματος, ή ξηρή με χρήση εκκένωσης πλάσματος αερίων. Η επίπεδη τεχνολογία είναι η πρώτη που αναπτύχθηκε και αποτελεί την πιο διαδεδομένη τεχνολογία νανοκατασκευαστικής. Τα βήματα για την κατασκευή μιας νανοηλεκτρονικής διάταξης, όπως ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα, μπορούν να χωριστούν σε 4 κύριες κατηγορίες: 12

13 1. Στρωματοποίηση (layering) ή εναπόθεση 2. Σχηματοποίηση (patterning) 3. Eμφύτευση 4. Ανόπτηση Από τα 100 και πλέον βήματα στην κατασκευή ενός IC, το πιο σημαντικό είναι η σχηματοποίηση. Η επίπεδη τεχνολογία βρίσκει επίσης εφαρμογή στην κατασκευή μικροσυστημάτων, όπως μικρομηχανικά, μικρο-ρευστομηχανικά και μικρο-οπτο-ηλεκτρομηχανικά συστήματα. Η τεχνολογία των ΜΕΜS (Micro-Electro- Mechanical Systems), και της εξέλιξής τους σε NEMS (Nano-EMS), έχει διαφορετικές απαιτήσεις από την τεχνολογία VLSI (Very Large Scale Integration), όπως το μέγεθοςτων δομών και η κλίμακα παραγωγής, και έχει οδηγήσει στην εξέλιξη κάποιων επίπεδων τεχνολογιών, όπως η οπτική λιθογραφία με παχιά φωτοπολυμερή και η βαθιά εγχάραξη με ενεργά ιόντα (DRIE). Οι διεργασίες σημειακής κατασκευής μπορούν να θεωρηθούν ως μια επέκταση των συμβατικών μηχανικών μεθόδων. Ως εργαλείο δόμησης, χρησιμοποιούν μίκρο- και νάνο-ακίδες, που περιλαμβάνουν όχι μόνο τις συνήθεις στερεές ακίδες, όπως μικροακίδες ατομικής δύναμης ή σάρωσης φαινομένου σήραγγος, αλλά και μη συμπαγείς, όπως εστιασμένη δέσμη ιόντων, δέσμη laser, ατομική δέσμη κ.α. Είναι διαδικασίες άμεσης αλληλεπίδρασης με τα υπό δόμηση υλικά, άρα δεν απαιτούν ενδιάμεσα στάδια λιθογραφίας, αλλά σε αντίθεση με τις επίπεδες τεχνολογίες δεν προσφέρουν παράλληλη και μαζική παραγωγή. H διεργασία μορφοποίησης είναι μια τεχνολογία αντιγραφής, η οποία αντιγράφει μικρο- και νανοδομές από προσχεδιασμένα καλούπια ή σφραγίδες. Συμπεριλαμβάνει την λιθογραφία νανο-αποτύπωσης (nanoimprinting), την αποτύπωση εν θερμώ (hot embossing) πλαστικών και την μικροέγχυση καλουπιών (molding). H νανο-αποτύπωση χρησιμοποιεί σφραγίδες για τη μεταφορά των σχεδίων σε ένα στρώμα μαλακού πολυμερικού υλικού. Οι σφραγίδες κατασκευάζονται με τις επίπεδες διεργασίες που αναφέρθηκαν πιο πάνω. Η αποτύπωση εν θερμώ χρησιμοποιείται για τη κατασκευή επίπεδων μικροδομών σε θερμοκλαστικά πολυμερή. Είναι δομές μικρο- ή και νανοκλίμακας και χρησιμοποιούνται κυρίως σε μικρορευστομηχανικά συστήματα. Η μικροέγχυση σε καλούπια γίνεται για 13

14 κατασκευή πλαστικών ή μεταλλικών δομών. Αυτές οι μέθοδοι έχουν πολύ χαμηλό κόστος και προσφέρονται για μαζική παραγωγή, αφού οι σφραγίδες ή τα καλούπια μπορούν να χρησιμοποιηθούν πολλές φορές. Το πέρασμα των διεργασιών αυτών από τη μικροκλίμακα στη νανοκλίμακα δεν είναι μια απλή διαδικασία, και απαιτεί σημαντική εξέλιξη της κάθε τεχνολογίας. Μερικές διεργασίες δεν μπορούν από τη φύση τους να επεκταθούν στη νανοκλίμακα. Η νανοκατασκευαστική αναφέρεται στην κατασκευή δομών μικρότερων από 100 nm. Εκτός από τις προαναφερθείσες τεχνολογίες, οι οποίες με τον έναν ή τον άλλο τρόπο μπορούν να κατασκευάσουν νανοδομές, υπάρχουν επίσης οι μοριακές διεργασίες. Οι δύο αυτές κατηγορίες διαχωρίζονται ξεκάθαρα μεταξύ τους από την εκ των άνω και την εκ των κάτω προσέγγισή τους. H επίπεδη τεχνολογία έχει μια χαρακτηριστική εκ των άνω (top-down) προσέγγιση, όπου οι νανοδομές φτιάχνονται στρώμα με στρώμα ξεκινώντας από υμένια διαστάσεων δεκάδων εκατοστών και σχηματοποιώντας τα στη νανοκλίμακα. Η εκ των κάτω (bottom-up) προσέγγιση βασίζεται σε διεργασίες μοριακής αυτο-οργάνωσης, όπου οι νανοδομές χτίζονται από μόρια που οργανώνονται σε μεγαλύτερες δομές. Διαφέρει σημαντικά από τις συμβατικές διεργασίες και βασίζεται κυρίως σε βιολογικές και χημικές αντιδράσεις. Σε μερικές περιπτώσεις, οι δύο προσεγγίσεις δρουν συμπληρωματικά, και στις περισσότερες των περιπτώσεων, η εκ των κάτω προσέγγιση βασίζεται στην εκ των άνω για τη δημιουργία της βάσης όπου θα γίνει η μοριακή αυτο-οργάνωση. Για παράδειγμα, η αυτο-οργάνωση αποκτά μεγαλύτερη περιοδικότητα και τάξη όταν γίνει μέσα σε λιθογραφιμένες δομές. Αντίστροφα, η σχηματοποίηση ενός λεπτού υμενίου μέσω της αυτο-οργάνωσης μπορεί να λειτουργήσει ως μάσκα για να ακολουθήσει η διεργασία εγχάραξης. Η μικρο- νανοκατασκευαστική δεν είναι κάποιος ειδικός κλάδος της επιστήμης, αλλά μία τεχνολογία που καλύπτει ένα ευρύ φάσμα γνώσεων και έχει μεγάλο εύρος πεδίων εφαρμογής. Η απαιτούμενη γνώση περιλαμβάνει ένα σύνολο αρχών της φυσικής και της χημείας. Για παράδειγμα, η εγχάραξη με ενεργά ιόντα από εκκένωση πλάσματος εμπεριέχει τόσο φυσικές όσο και χημικές διεργασίες. Μία επιτυχής τεχνική νανοκατασκευαστικής αναπτύσσεται μέσω πολλών πειραματικών δοκιμών και σφαλμάτων. Δεν είναι απαραίτητη η ύπαρξη θεωρητικής εξήγησης, αρκεί να δουλεύει επιτυχώς με τα επιθυμητά αποτελέσματα. Ωστόσο, η βασική θεωρητική γνώση της φυσικής, της χημείας και άλλων κλάδων της επιστήμης μπορεί 14

15 να λειτουργήσει ως οδηγός στην ανάπτυξη και τη βελτιστοποίηση μιας νέας διεργασίας. Γ) Εγχάραξη του πυριτίου Όταν κατασκευάζονται δομές πάνω σε ένα δισκίο πυριτίου, κάποιες περιοχές θα πρέπει να προστατεύονται ενώ παράλληλα οι υπόλοιπες θα εγχαράσσονται. Το προστατευτικό υλικό είναι γνωστό ως μάσκα εγχάραξης, και συνήθως είναι κάποιο φωτοπολυμερές ή το SiO 2. Η εγχάραξη του πυριτίου χωρίζεται σε δύο κατηγορίες: την υγρή εγχάραξη και τη ξηρή εγχάραξη, ανάλογα με το είδος του εγχαράκτη. Στην υγρή εγχάραξη το δείγμα βυθίζεται σε ένα υδατικό δίαλυμα, το οποίο εγχαράσσει τις μη προστατευμένες περιοχές. Στην ξηρή εγχάραξη το πυρίτιο εγχαράσσεται από κάποιο αέριο. Η εγχάραξη ενεργών ιόντων (RIE) σε πλάσμα, αποτελεί την πιο κοινή μέθοδο ξηρής εγχάραξης. Συνδιάζει φαινόμενα από χημικά ενεργές αέριες ρίζες με το φυσικό μηχανισμό βομβαρδισμού ιόντων. Άλλες μέθοδοι ξηρής εγχάραξης περιλαμβάνουν την αυθόρμητη χημική εγχάραξη (π.χ. εγχάραξη XeF 2 ) και την εγχάραξη δέσμης ιόντων. Η βαθία εγχάραξη ενεργών ιόντων (DRIE) θεωρείται επέκταση της RIE. Βασίζονται και οι δύο στους ίδιους μηχανισμούς εγχάραξης (βομβαρδισμός ιόντων και χημική εγχάραξη), αλλά η DRIE επιτρέπει την κατασκευή πιο ψηλών και στενών δομών με μεγαλύτερο ρυθμό εγχάραξης, συγκριτικά με τη συμβατική RIE. Οι αντιδραστήρες DRIE είναι εξοπλισμένοι με δύο πηγές ισχύος και, σε αντίθεση με τα παραδοσιακά συστήματα RIE, παρέχουν ένα παθητικό στρώμα στα πλάγια τοιχώματα για να ενισχυθεί η ανισοτροπία. Η βαθιά εγχάραξη ενεργών ιόντων είναι μια τεχνική που χρησιμοποιείται συχνά για τη κατασκευή MEMS και μικρορευστομηχανικών διατάξεων. Οι δύο κύριες διεργασίες DRIE είναι η μέθοδος Bosch και η κρυογενική μέθοδος, η οποία και θα αναπτυχθεί στα πλαίσια της παρούσας εργασίας. 15

16 Δ) Σκοπός της διπλωματικής εργασίας Αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας είναι η κατασκευή νανοδομών πυριτίου με μεγάλη αναλογία ύψους προς πλάτους, και συγκεκριμένα μικρο- και νανοκολόνων. Για το σκοπό αυτό, θα γίνει η ανάπτυξη και η αριστοποίηση της κρυογενικής διεργασίας εγχάραξης σε υψηλής πυκνότητας πλάσμα με βάση το φθόριο. Πρόκειται για μια διεργασία με πολλές προοπτικές που παρουσιάζει συνεχή ανάπτυξη την τελευταία δεκαετία. Προσφέρει ταυτόχρονη εγχάραξη και παθητικοποίηση, οδηγώντας σε καθαρές και ανισοτροπικές δομές. Θα γίνει μελέτη της επίδρασης των παραμέτρων του πλάσματος στο τελικό προφίλ, καθώς η εγχάραξη θα επεκταθεί από τη μικροκλίμακα στη νανοκλίμακα. Για τη σχηματοποίηση θα γίνει χρήση τριών λιθογραφικών μεθόδων. Αρχικά, θα γίνει προσαρμογή της οπτικής λιθογραφίας για την κατασκευή της μάσκας στην περιοχή των 0.5 μm με 1 μm. Το ενδιάμεσο βήμα σμίκρυνσης των κολόνων προς τη νανοκλίμακα, θα γίνει με χρήση της φυσικής λιθογραφίας νανοσφαιρών, που μπορεί να αποδώσει δομές στα nm. To τελικό στάδιο για το πέρασμα των δομών κάτω από το όριο των 100 nm, περιλαμβάνει την εφαρμογή μιας μεθόδου αυτο-οργάνωσης κατευθυνόμενη από το πλάσμα, με την οποία κατασκευάζονται περιοδικές νανοτελείες σε πολυμερικά υμένια (E. Gogolides et al., Patent Appl. no.pct/gr2009/000039, N. Vourdas et al., Nanotechnology 21 (2010) ), που θα λειτουργήσουν ως μάσκα. Πρόκειται για μία απλή, γρήγορη και χαμηλού κόστους διεργασία που αποτελείται από ένα βήμα εγχάραξης σε πλάσμα οξυγόνου. Έτσι, η εγχάραξη πλάσματος θα αποτελέσει από μόνη της μέθοδο σχηματοποίησης της μάσκας και μεταφοράς του σχήματος στο υπόστρωμα, συνδιάζοντας μία bottom-up με μία top-down προσέγγιση. Περιοδικές νανοδομές, όπως νανοκολόνες και νανοτελείες, είναι απαραίτητες σε πολλά πεδία της επιστήμης και της τεχνολογίας, όπως στη νανοηλεκτρονική, σε φωτονικές και οπτικές διατάξεις, σε διατάξεις μνήμης, στην κατάλυση και σε βιοαναλυτικές εφαρμογές. 16

17 ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΕΣ ΝΑΝΟΚΑΤΑΣΚΕΥΑΣΤΙΚΗΣ 1.1 Εισαγωγή Για τη μεταφορά μικρο- και νανοσχεδίων σε ένα δισκίο πυριτίου απαιτούνται δύο διαδικασίες: ένα βήμα λιθογραφίας για την κατασκευή της μάσκας που ακολουθείται από ένα βήμα εγχάραξης με το οποίο μεταφέρεται το σχέδιο της μάσκας στο υπόστρωμα του πυριτίου. Υπάρχουν επίσης κάποιες άμεσες μέθοδοι εγχάραξης όπως η εγχάραξη εστιασμένης δέσμης ιόντων, η οποία μπορεί να παράγει σχέδια με ακρίβεια χωρίς τη χρήση μάσκας. Η χρήση της μεθόδου αυτής όμως είναι περιορισμένη σε ερευνητικούς σκοπούς λόγω της μικρής ταχύτητάς της. Στη συνέχεια θα παρουσιαστούν οι πιο κοινές λιθογραφικές τεχνικές και τεχνικές εγχάραξης για σχηματοποίηση. Οι περιγραφές αφορούν την εγχάραξη πυριτίου, όμως μπορούν να επεκταθούν και σε άλλα υλικά όπως γυαλί, μέταλα, οξείδια μετάλων κ.α. 1.2 Λιθογραφικές τεχνικές Οπτική Λιθογραφία Η οπτική λιθογραφία αποτελεί μακράν την πιο κοινή μέθοδο για τη δημιουργία σχεδίων στην κατασκευή μικροδομών. Ένα στρώμα φωτοευαίσθητου πολυμερούς (ρητίνη) εφαρμόζεται πάνω στο υπόστρωμα πυριτίου, συνήθως μέσω επίστρωσης διά περιστροφής (spin coating). Επειτα, το στρώμα του φωτοπολυμερούς εκτίθεται σε UV ακτινοβολία μέσω μιας φωτομάσκας, η οποία έχει διάφανες και σκοτεινές περιοχές. Η μάσκα αυτή κατασκευάζεται συνήθως από γυαλί ή χαλαζία και τα αδιάφανα σχέδια φτιάχνονται με χρώμιο. Τα συστήματα έκθεσης με επαφή της μάσκας χρησιμοποιούν συνήθως λάμπες υδραργύρου οι οποίες παράγουν μια μεγάλη περιοχή στο UV φάσμα με μέγιστες κορυφές στα 365 nm (i-line) ή στα 17

18 436 nm (g-line). Tα πιο σύγχρονα συστήματα έκθεσης με προβολή (stepper and scanner) χρησιμοποιούν excimer laser ArF με μήκος κύματος στα 193 nm. [Plummer00] H χρήση μικρότερων μηκών κύματος βοηθά στη δημιουργία μικρότερων δομών, όμως τα μήκη κύματος στο βαθύ UV εισάγουν νέα προβλήματα, όπως η διαφάνεια των οπτικών στοιχείων. Μετά την έκθεση, το φωτοπολυμερές ψήνεται και εμφανίζεται. Στην περίπτωση φωτοπολυμερούς θετικού τόνου, οι περιοχές που έχουν εκτεθεί διαλύονται κατά την εμφάνιση και τα αδιαφανή σχέδια της μάσκας αντιγράφονται πάνω στο στρώμα του φωτοπολυμερούς. Tα φωτοπολυμερή αρνητικού τόνου έχουν ως αποτέλεσμα την αντίθετη εικόνα. Συνήθως χρησιμοποιούνται θετικά φωτοπολυμερή για τη μεταφορά του σχήματος καθώς είναι πιο εύκολο να αφαιρεθούν στη συνέχεια. Αντιθέτως, τα αρνητικά φωτοπολυμερή σχηματίζουν πιο ισχυρούς μηχανικά σταυροδεσμούς και αφαιρούνται δυσκολότερα. [Shaw97] Ωστόσο, τα αρνητικά φωτοπολυμερή είναι καταλληλότερα για τη διαδικασία lift-off λόγω της αρνητικής κλίσης των τοιχωμάτων που σχηματίζουν. Στην επιλογή του κατάλληλου φωτοπολυμερούς παίζουν ρόλο παράγοντες όπως η θερμική σταθερότητα, η αντίσταση εγχάραξης, η φωτοευαισθησία, το μήκος κύματος έκθεσης και η απαιτούμενη διακριτική ικανότητα. Εικόνα 1: Τα στάδια της οπτικής θετικής λιθογραφίας Η περίθλαση θέτει βασικά όρια στην διακριτική ικανότητα της οπτικής λιθογραφίας. Εν τούτοις, στις μέρες μας οι κατασκευαστές ολοκληρωμένων συστημάτων μπορούν να κατασκευάζουν δομές πλάτους 32 nm χρησιμοποιώντας συστήματα λιθογραφίας στο βαθύ UV και στα 13.5 nm. Το βασικό μειονέκτημα των 18

19 σύγχρονων συστημάτων έκθεσης (stepper and scanner) που είναι ικανά να παράγουν τόσο μικρές δομές είναι το κόστος τους που φτάνει τις μερικές δεκάδες εκατομμύρια δολάρια. Το ελάχιστο πλάτος γραμμής που μπορούν να κατασκευάσουν τα συστήματα έκθεσης με επαφή είναι περίπου 500 nm, ανάλογα από το μήκος κύματος της ακτινοβολίας έκθεσης, τον τρόπο έκθεσης και τις συνθήκες του καθαρού χώρου. Πρέπει να σημειωθεί ότι το πάχος τους στρώματος του φωτοπολυμερούς επηρρεάζει το ελάχιστο πλάτος γραμμής. Ένα παχύ στρώμα από φωτοπολυμερές αυξάνει το ελάχιστο μέγεθος δομής ως αποτέλεσμα περίθλασης Fresnel. [Franssila04] Λιθογραφία δέσμης ηλεκτρονίων (EBL) Ο πιο κοινός τρόπος για την κατασκευή νανοδομών (εξαιρώντας την λιθογραφία στο βαθύ υπεριώδες) είναι η χρήση λιθογραφίας ηλεκτρονιακής δέσμης. (Electron Beam Lithography, EBL). [Chui05] Ένα πολυμερές ευαίσθητο στα ηλεκτρόνια εκτίθεται σε μια καλά εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων. Η κίνηση της δέσμης ηλεκτρονίων μπορεί να ελέγχεται με ακρίβεια και το επιθυμητό σχέδιο γράφεται άμεσα στο πολυμερές. Δεν απαιτείται χρήση μάσκας. Με τη μέθοδο EBL είναι δυνατό να παραχθούν γραμμές με πλάτος μικρότερο από 10 nm αλλά με κόστος τη χαμηλή ταχύτητα παραγωγής. Συνεπώς, η ΕΒL χρησιμοποιείται κυρίως για την πρωτυποποίηση νανοδομών πυριτίου, την κατασκευή μασκών λιθογραφίας και καλουπιών αποτύπωσης (imprint masters). Η εμπορική χρήση της μεθόδου είναι αρκετά περιορισμένη Λιθογραφία νανοαποτύπωσης (Nanoimprint Lithography,NIL) Οι περιορισμοί της λιθογραφίας στο υπεριώδες και της λιθογραφίας δέσμης ηλεκτρονίων έχουν οδηγήσει στην ανάπτυξη πρωτότυπων, γρήγορων και οικονομικών μεθόδων κατασκευής νανοδομών. Οι τεχνικές που χρησιμοποιούν καλούπια ή σφραγίδες για την αντιγραφή δομών έχουν γίνει δημοφιλείς λόγω της απλότητάς τους. Ειδικότερα, η λιθογραφία νανο-αποτύπωσης έχει προταθεί αντί της οπτικής λιθογραφίας σε βιομηχανικές εφαρμογές εξ αιτίας του χαμηλού κόστους και 19

20 της αποδοτικότητάς της. Η τεχνική αυτή εισήχθηκε από τους Chou et al. [Chou95, Chou96]. Η διαδικαδία της λιθογραφίας νανο-αποτύπωσης εν θερμώ, T-NIL (αναφέρεται επίσης και ως Ηοt Embossing Lithography, HEL), αρχίζει με ένα υπόστρωμα πυριτίου πάνω στο οποίο εφαρμόζεται το πολυμερές που πρόκειται να εντυπωθεί. Το καλούπι (master ή αλλιως mould) και το υπόστρωμα θερμαίνονται στη θερμοκρασία αποτύπωσης, η οποία εξαρτάται από τη θερμοκρασία υαλώδους μετάβασης (T g ) του πολυμερούς που χρησιμοποιείται. Όταν επιτευχθεί η κατάλληλη θερμοκρασία, που είναι συνήθως περίπου 80 C πάνω από τη T g του πολυμερούς, το καλούπι συμπιέζεται στο στρώμα του πολυμερούς. Καθώς εφαρμόζεται η πίεση οι προεξοχές του καλουπιού (σφραγίδα) μετακινούν το πολυμερές και γεμίζουν οι κοιλότητες. Μετά τη διαδικασία της αποτύπωσης, η θερμοκρασία πέφτει κάτω από τη T g και ελευθερώνεται το καλούπι. Μεταξύ των δομών και του υποστρώματος παραμένει ένα στρώμα πολυμερούς ως κατάλοιπο. Αυτό αφαιρείται κάνοντας μικρής διάρκειας εγχάραξη σε πλάσμα οξυγόνου. Η διαδικασία ΝIL απεικονίζεται στην Εικόνα 2. Επίσης έχουν αναπτυχθεί πολλές παραλλαγές της διαδικασίας NIL που χρησιμοποιούν UV ακτινοβολία αντί για υψηλή θερμοκρασία για τη σκλήρυνση ενός προ-πολυμερούς, όπως οι UV-NIL [Bender00] και S-FIL TM (step & flash imprint lithography) [Colburn99, Resnick05]. Οι τεχνικές αυτές είναι ταχύτερες όμως απαιτούν τη χρήση διάφανου καλουπιού ή υποστρώματος. Το μεγαλύτερο πλεονεκτήμα των τεχνικών αποτύπωσης έγκειται στο γεγονός ότι σε αντίθεση με τις οπτικές μεθόδους δεν περιορίζονται από φαινόμενα περίθλασης και ο εξοπλισμός τους είναι φθηνότερος αφού δεν απαιτούνται σύνθετα συστήματα οπτικών φακών. Η ταχύτητα παραγωγής και η διακριτική ικανότητα είναι όμοιες με αυτές των σύγχρονων οπτικών συστημάτων, μειονεκτούν όμως σε ακρίβεια ευθυγράμμισης, η οποία μπορεί να βελτιωθεί εις βάρος όμως του κόστους. Η ακρίβεια των σύγχρονων συστημάτων NIL είναι κοντά στα 10 nm. Η ομοιομορφία του εναπομείνοντως στρώματος είναι ένα άλλο θέμα που πρέπει να ληφθεί υπ όψιν στη λιθογραφία νανο-αποτύπωσης. Ένα ανομοιόμορφο εναπομείνον στρώμα μπορεί να προκαλέσει παραμόρφωση των δομών που δημιοουργούνται στο τελικό στάδιο της εγχάραξης σε πλάσμα οξυγόνου. [Schift08] 20

Νανο-τεχνολογία. Νανο-Επιστήμη. Προσέγγιση από κάτω προς τα πάνω

Νανο-τεχνολογία. Νανο-Επιστήμη. Προσέγγιση από κάτω προς τα πάνω Νανο-τεχνολογία Ο σχεδιασμός, ο χαρακτηρισμός, η παραγωγή και η εφαρμογή των δομών, συσκευών και συστημάτων, ελέγχοντας τη μορφή και το μέγεθος σε κλίμακα νανόμετρου Νανο-Επιστήμη Η μελέτη των φαινομένων

Διαβάστε περισσότερα

ΕΠΙΠΕΔΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ. αρχικό υλικό. *στάδια επίπεδης τεχνολογίας. πλακίδιο Si. *ακολουθία βημάτων που προσθέτουν ή αφαιρούν υλικά στο πλακίδιο Si

ΕΠΙΠΕΔΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ. αρχικό υλικό. *στάδια επίπεδης τεχνολογίας. πλακίδιο Si. *ακολουθία βημάτων που προσθέτουν ή αφαιρούν υλικά στο πλακίδιο Si ΕΠΙΠΕΔΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ αρχικό υλικό + *στάδια επίπεδης τεχνολογίας πλακίδιο Si *ακολουθία βημάτων που προσθέτουν ή αφαιρούν υλικά στο πλακίδιο Si οξείδωση εναπόθεση διάχυση φωτολιθογραφία φωτοχάραξη Παραγωγή

Διαβάστε περισσότερα

2) Μελέτη Φυσικών Διεργασιών Κατασκευής Νανοδιατάξεων σε Πυρίτιο και Γερμάνιο i) Φαινόμενα διάχυσης και ενεργοποίησης προσμίξεων εκτός

2) Μελέτη Φυσικών Διεργασιών Κατασκευής Νανοδιατάξεων σε Πυρίτιο και Γερμάνιο i) Φαινόμενα διάχυσης και ενεργοποίησης προσμίξεων εκτός ΝΑΝΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΣΤΟ Ε.Μ.Π. Δ, Τσαμάκης Πρόεδρος ΣΗΜΜΥ ΓΕΝΙΚΑ Τελευταία δεκαετία: : Τάση για επενδύσεις στην ΈΡΕΥΝΑ στους τομείς της Νανοτεχνολογίας με στόχο τη δημιουργία υποδομής νέας γνώσης στην περιοχή

Διαβάστε περισσότερα

Εφαρμογές των Laser στην Φ/Β τεχνολογία: πιο φτηνό ρεύμα από τον ήλιο

Εφαρμογές των Laser στην Φ/Β τεχνολογία: πιο φτηνό ρεύμα από τον ήλιο Εφαρμογές των Laser στην Φ/Β τεχνολογία: πιο φτηνό ρεύμα από τον ήλιο Μιχάλης Κομπίτσας Εθνικό Ίδρυμα Ερευνών, Ινστιτούτο Θεωρ./Φυσικής Χημείας (www.laser-applications.eu) 1 ΠΕΡΙΕΧΟΜΕΝΑ ΤΗΣ ΟΜΙΛΙΑΣ 1.

Διαβάστε περισσότερα

ΣΥΝΘΕΣΗ ΝΑΝΟΣΩΛΗΝΩΝ ΑΝΘΡΑΚΑ ΜΕΣΩ ΘΕΡΜΟΛΥΣΗΣ ΟΡΓΑΜΟΜΕΤΑΛΛΙΚΗΣ ΕΝΩΣΗΣ ΣΕ ΣΤΕΡΕΑ ΚΑΤΑΣΤΑΣΗ

ΣΥΝΘΕΣΗ ΝΑΝΟΣΩΛΗΝΩΝ ΑΝΘΡΑΚΑ ΜΕΣΩ ΘΕΡΜΟΛΥΣΗΣ ΟΡΓΑΜΟΜΕΤΑΛΛΙΚΗΣ ΕΝΩΣΗΣ ΣΕ ΣΤΕΡΕΑ ΚΑΤΑΣΤΑΣΗ ΣΥΝΘΕΣΗ ΝΑΝΟΣΩΛΗΝΩΝ ΑΝΘΡΑΚΑ ΜΕΣΩ ΘΕΡΜΟΛΥΣΗΣ ΟΡΓΑΜΟΜΕΤΑΛΛΙΚΗΣ ΕΝΩΣΗΣ ΣΕ ΣΤΕΡΕΑ ΚΑΤΑΣΤΑΣΗ Α.Μ. Νέτσου 1, Ε. Χουντουλέση 1, Μ.Περράκη 2, Α.Ντζιούνη 1, Κ. Κορδάτος 1 1 Σχολή Χημικών Μηχανικών, ΕΜΠ 2 Σχολή

Διαβάστε περισσότερα

2η Εργαστηριακή Άσκηση Εξάρτηση της ηλεκτρικής αντίστασης από τη θερμοκρασία Θεωρητικό μέρος

2η Εργαστηριακή Άσκηση Εξάρτηση της ηλεκτρικής αντίστασης από τη θερμοκρασία Θεωρητικό μέρος 2η Εργαστηριακή Άσκηση Εξάρτηση της ηλεκτρικής αντίστασης από τη θερμοκρασία Θεωρητικό μέρος Όπως είναι γνωστό από την καθημερινή εμπειρία τα περισσότερα σώματα που χρησιμοποιούνται στις ηλεκτρικές ηλεκτρονικές

Διαβάστε περισσότερα

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2: Ηλεκτρικό Ρεύμα Μέρος 1 ο

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2: Ηλεκτρικό Ρεύμα Μέρος 1 ο ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2: Ηλεκτρικό Ρεύμα Μέρος 1 ο Βασίλης Γαργανουράκης Φυσική ήγ Γυμνασίου Εισαγωγή Στο προηγούμενο κεφάλαιο μελετήσαμε τις αλληλεπιδράσεις των στατικών (ακίνητων) ηλεκτρικών φορτίων. Σε αυτό το κεφάλαιο

Διαβάστε περισσότερα

Εισαγωγή Σε Ολοκληρωµένα Κυκλώµατα (Microchips) Αναλογικά ή Ψηφιακά Κυκλώµατα;

Εισαγωγή Σε Ολοκληρωµένα Κυκλώµατα (Microchips) Αναλογικά ή Ψηφιακά Κυκλώµατα; Εισαγωγή Σε Ολοκληρωµένα Κυκλώµατα (Microchips) ρ. Ιούλιος Γεωργίου Further Reading Texts: Design of Analog CMOS Integrated Circuits Behzad Razavi Microelectronic Circuits, Sedra & Smith Αναλογικά ή Ψηφιακά

Διαβάστε περισσότερα

ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΑ. Γ. Λευθεριώτης Επικ. καθηγητής

ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΑ. Γ. Λευθεριώτης Επικ. καθηγητής ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΑ Γ. Λευθεριώτης Επικ. καθηγητής Αγωγοί- μονωτές- ημιαγωγοί Ενεργειακά διαγράμματα ημιαγωγού Ηλεκτρόνια (ΖΑ) Οπές (ΖΣ) Ενεργειακό χάσμα και απορρόφηση hc 1,24 Eg h Eg ev m max max Χρειάζονται

Διαβάστε περισσότερα

ΟΡΓΑΝΟΛΟΓΙΑ ΦΑΣΜΑΤΟΜΕΤΡΙΚΩΝ ΟΡΓΑΝΩΝ ΜΕΤΡΗΣΗΣ: ΑΠΟΡΡΟΦΗΣΗΣ ΦΘΟΡΙΣΜΟΥ, ΦΩΣΦΩΡΙΣΜΟΥ, ΣΚΕΔΑΣΗΣ ΕΚΠΟΜΠΗΣ, ΧΗΜΕΙΟΦΩΤΑΥΓΕΙΑΣ

ΟΡΓΑΝΟΛΟΓΙΑ ΦΑΣΜΑΤΟΜΕΤΡΙΚΩΝ ΟΡΓΑΝΩΝ ΜΕΤΡΗΣΗΣ: ΑΠΟΡΡΟΦΗΣΗΣ ΦΘΟΡΙΣΜΟΥ, ΦΩΣΦΩΡΙΣΜΟΥ, ΣΚΕΔΑΣΗΣ ΕΚΠΟΜΠΗΣ, ΧΗΜΕΙΟΦΩΤΑΥΓΕΙΑΣ ΟΡΓΑΝΟΛΟΓΙΑ ΦΑΣΜΑΤΟΜΕΤΡΙΚΩΝ ΟΡΓΑΝΩΝ ΜΕΤΡΗΣΗΣ: ΑΠΟΡΡΟΦΗΣΗΣ ΦΘΟΡΙΣΜΟΥ, ΦΩΣΦΩΡΙΣΜΟΥ, ΣΚΕΔΑΣΗΣ ΕΚΠΟΜΠΗΣ, ΧΗΜΕΙΟΦΩΤΑΥΓΕΙΑΣ ΠΗΓΕΣ ΑΚΤΙΝΟΒΟΛΙΑΣ ΣΥΝΕΧΕΙΣ ΠΗΓΕΣ ΠΗΓΕΣ ΓΡΑΜΜΩΝ ΚΟΙΛΗΣ ΚΑΘΟΔΟΥ & ΛΥΧΝΙΕΣ ΕΚΚΕΝΩΣΕΩΝ

Διαβάστε περισσότερα

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com 1 2.4 Παράγοντες από τους οποίους εξαρτάται η αντίσταση ενός αγωγού Λέξεις κλειδιά: ειδική αντίσταση, μικροσκοπική ερμηνεία, μεταβλητός αντισ ροοστάτης, ποτενσιόμετρο 2.4 Παράγοντες που επηρεάζουν την

Διαβάστε περισσότερα

ΝΑΝΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΓΙΩΡΓΟΣ ΤΣΙΓΑΡΙΔΑΣ. E-mail: gtsigaridas@teilam.gr

ΝΑΝΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΓΙΩΡΓΟΣ ΤΣΙΓΑΡΙΔΑΣ. E-mail: gtsigaridas@teilam.gr ΝΑΝΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΓΙΩΡΓΟΣ ΤΣΙΓΑΡΙΔΑΣ E-mail: gtsigaridas@teilam.gr ΕΙΣΑΓΩΓΙΚΑ Η ΕΞΕΛΙΞΗ ΤΗΣ ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗΣ ΟΔΗΓΕΙ ΣΤΗΝ ΑΝΑΠΤΥΞΗ ΔΙΑΤΑΞΕΩΝ ΣΕ ΟΛΟΕΝΑ ΚΑΙ ΜΙΚΡΟΤΕΡΗ ΚΛΙΜΑΚΑ ΜΕ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑ ΝΑ ΜΗΝ ΙΣΧΥΟΥΝ ΠΛΕΟΝ

Διαβάστε περισσότερα

Φασματοσκοπία SIMS (secondary ion mass spectrometry) Φασματοσκοπία μάζης δευτερογενών ιόντων

Φασματοσκοπία SIMS (secondary ion mass spectrometry) Φασματοσκοπία μάζης δευτερογενών ιόντων Φασματοσκοπία SIMS (secondary ion mass spectrometry) Φασματοσκοπία μάζης δευτερογενών ιόντων Ιόντα με υψηλές ενέργειες (συνήθως Ar +, O ή Cs + ) βομβαρδίζουν την επιφάνεια του δείγματος sputtering ουδετέρων

Διαβάστε περισσότερα

ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ. Ηλεκτρισμένα σώματα. πως διαπιστώνουμε ότι ένα σώμα είναι ηλεκτρισμένο ; Ηλεκτρικό φορτίο

ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ. Ηλεκτρισμένα σώματα. πως διαπιστώνουμε ότι ένα σώμα είναι ηλεκτρισμένο ; Ηλεκτρικό φορτίο ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ 1 Η ΕΝΟΤΗΤΑ ΗΛΕΚΤΡΙΣΜΟΣ ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 Ο Ηλεκτρική δύναμη και φορτίο Ηλεκτρισμένα σώματα 1.1 Ποια είναι ; Σώματα (πλαστικό, γυαλί, ήλεκτρο) που έχουν την ιδιότητα να ασκούν δύναμη σε ελαφρά

Διαβάστε περισσότερα

ΘΕΩΡΗΤΙΚΟ ΜΕΡΟΣ. Εργαστήριο Φυσικής IΙ. Μελέτη της απόδοσης φωτοβολταϊκού στοιχείου με χρήση υπολογιστή. 1. Σκοπός. 2. Σύντομο θεωρητικό μέρος

ΘΕΩΡΗΤΙΚΟ ΜΕΡΟΣ. Εργαστήριο Φυσικής IΙ. Μελέτη της απόδοσης φωτοβολταϊκού στοιχείου με χρήση υπολογιστή. 1. Σκοπός. 2. Σύντομο θεωρητικό μέρος ΘΕΩΡΗΤΙΚΟ ΜΕΡΟΣ 1. Σκοπός Το φωτοβολταϊκό στοιχείο είναι μία διάταξη ημιαγωγών η οποία μετατρέπει την φωτεινή ενέργεια που προσπίπτει σε αυτήν σε ηλεκτρική.. Όταν αυτή φωτιστεί με φωτόνια κατάλληλης συχνότητας

Διαβάστε περισσότερα

ΥΛΙΚΑ ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ

ΥΛΙΚΑ ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ ΥΛΙΚΑ ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ Ι 2 Κατηγορίες Υλικών ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΚΡΗΤΗΣ ΤΜΗΜΑ ΕΠΙΣΤΗΜΗΣ ΚΑΙ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑΣ ΥΛΙΚΩΝ Παραδείγματα Το πεντάγωνο των υλικών Κατηγορίες υλικών 1 Ορυκτά Μέταλλα Φυσικές πηγές Υλικάπουβγαίνουναπότηγημεεξόρυξηήσκάψιμοή

Διαβάστε περισσότερα

ιδάσκων: Λευτέρης Λοιδωρίκης Π1 0-7146

ιδάσκων: Λευτέρης Λοιδωρίκης Π1 0-7146 Φωτονικά Υλικά ιδάσκων: Λευτέρης Λοιδωρίκης Π1 0-7146 Τεχνολογίες φωτός σήμερα Το φώς έχει εισχωρήσει προ πολλού στη ζωή μας Ηλεκτρομαγνητική ακτινοβολία Καλύπτει πολύ μεγάλο φάσμα Συστατικά τεχνολογίας

Διαβάστε περισσότερα

Χημεία Β Γυμνασίου ΦΥΛΛΑΔΙΟ ΑΣΚΗΣΕΩΝ. Τ μαθητ : Σχολικό Έτος:

Χημεία Β Γυμνασίου ΦΥΛΛΑΔΙΟ ΑΣΚΗΣΕΩΝ. Τ μαθητ : Σχολικό Έτος: Χημεία Β Γυμνασίου ΦΥΛΛΑΔΙΟ ΑΣΚΗΣΕΩΝ Τ μαθητ : Σχολικό Έτος: 1 1.2 Καταστάσεις των υλικών 1. Συμπληρώστε το παρακάτω σχεδιάγραμμα 2 2. Πώς ονομάζονται οι παρακάτω μετατροπές της φυσικής κατάστασης; 3 1.3

Διαβάστε περισσότερα

Φύλλο εργασίας Το φωτοβολταϊκό στοιχείο

Φύλλο εργασίας Το φωτοβολταϊκό στοιχείο Φύλλο εργασίας Το φωτοβολταϊκό στοιχείο Στοιχεία ομάδας: Ονοματεπώνυμο Α.Μ. Ημερομηνία: Τμήμα: Απαραίτητες Θεωρητικές Γνώσεις: Το φωτοβολταϊκό στοιχείο είναι μία διάταξη που μετατρέπει τη φωτεινή ενέργεια

Διαβάστε περισσότερα

ΜΑΘΗΜΑ: Τεχνολογία Μετρήσεων ΙΙ

ΜΑΘΗΜΑ: Τεχνολογία Μετρήσεων ΙΙ ΜΑΘΗΜΑ: Τεχνολογία Μετρήσεων ΙΙ ΔΙΔΑΣΚΩΝ: Αν. Καθ. Δρ Μαρία Α. Γούλα ΤΜΗΜΑ: Μηχανικών Περιβάλλοντος & Μηχανικών Αντιρρύπανσης 1 Άδειες Χρήσης Το παρόν εκπαιδευτικό υλικό υπόκειται σε άδειες χρήσης Creative

Διαβάστε περισσότερα

ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ ΚΟΠΗΣ ΜΕΤΑΛΛΩΝ «ΤΟΞΟΥ ΠΛΑΣΜΑΤΟΣ»

ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ ΚΟΠΗΣ ΜΕΤΑΛΛΩΝ «ΤΟΞΟΥ ΠΛΑΣΜΑΤΟΣ» ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ ΚΟΠΗΣ ΜΕΤΑΛΛΩΝ «ΤΟΞΟΥ ΠΛΑΣΜΑΤΟΣ» Τα χαρακτηριστικά του τόξου Πλάσματος Το Πλάσμα ορίζεται ως «το σύνολο από φορτισμένα σωματίδια, που περιέχει περίπου ίσο αριθμό θετικών ιόντων και ηλεκτρονίων

Διαβάστε περισσότερα

6. ΘΕΡΜΙΚΕΣ Ι ΙΟΤΗΤΕΣ ΤΩΝ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ

6. ΘΕΡΜΙΚΕΣ Ι ΙΟΤΗΤΕΣ ΤΩΝ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ 6-1 6. ΘΕΡΜΙΚΕΣ Ι ΙΟΤΗΤΕΣ ΤΩΝ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ 6.1. ΙΑ ΟΣΗ ΤΗΣ ΘΕΡΜΟΤΗΤΑΣ Πολλές βιοµηχανικές εφαρµογές των πολυµερών αφορούν τη διάδοση της θερµότητας µέσα από αυτά ή γύρω από αυτά. Πολλά πολυµερή χρησιµοποιούνται

Διαβάστε περισσότερα

Οργανική Χημεία. Κεφάλαια 12 &13: Φασματοσκοπία μαζών και υπερύθρου

Οργανική Χημεία. Κεφάλαια 12 &13: Φασματοσκοπία μαζών και υπερύθρου Οργανική Χημεία Κεφάλαια 12 &13: Φασματοσκοπία μαζών και υπερύθρου 1. Γενικά Δυνατότητα προσδιορισμού δομών με σαφήνεια χρησιμοποιώντας τεχνικές φασματοσκοπίας Φασματοσκοπία μαζών Μέγεθος, μοριακός τύπος

Διαβάστε περισσότερα

Άσκηση 5 ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΟ ΦΑΙΝΟΜΕΝΟ

Άσκηση 5 ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΟ ΦΑΙΝΟΜΕΝΟ Άσκηση 5 ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΪΚΟ ΦΑΙΝΟΜΕΝΟ 1. ΓΕΝΙΚΑ Τα ηλιακά στοιχεία χρησιμοποιούνται για τη μετατροπή του φωτός (που αποτελεί μία μορφή ηλεκτρομαγνητικής ενέργειας) σε ηλεκτρική ενέργεια. Κατασκευάζονται από

Διαβάστε περισσότερα

Στέμμα. 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km. Χρωμόσφαιρα. 500 km. Φωτόσφαιρα. τ500=1. -100 km. Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ

Στέμμα. 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km. Χρωμόσφαιρα. 500 km. Φωτόσφαιρα. τ500=1. -100 km. Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ Στέμμα 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km Χρωμόσφαιρα 500 km -100 km Φωτόσφαιρα τ500=1 Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ Η ΗΛΙΑΚΗ ΧΡΩΜΟΣΦΑΙΡΑ Περιοχή της ηλιακής ατμόσφαιρας πάνω από τη φωτόσφαιρα ( Πάχος της

Διαβάστε περισσότερα

Στέμμα. 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km. Χρωμόσφαιρα. 500 km. Φωτόσφαιρα. τ500=1. -100 km. Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ

Στέμμα. 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km. Χρωμόσφαιρα. 500 km. Φωτόσφαιρα. τ500=1. -100 km. Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ Στέμμα 2200 km Μεταβατική περιοχή 2100 km Χρωμόσφαιρα 500 km -100 km Φωτόσφαιρα τ500=1 Δομή της ΗΛΙΑΚΗΣ ΑΤΜΟΣΦΑΙΡΑΣ Η ΗΛΙΑΚΗ ΧΡΩΜΟΣΦΑΙΡΑ Περιοχή της ηλιακής ατμόσφαιρας πάνω από τη φωτόσφαιρα ( Πάχος της

Διαβάστε περισσότερα

ΗΛΙΑΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΑΙ ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ. 1. Ηλιακή ακτινοβολία

ΗΛΙΑΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΑΙ ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ. 1. Ηλιακή ακτινοβολία ΗΛΙΑΚΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗ ΚΑΙ ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΙΚΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ 1. Ηλιακή ακτινοβολία Ο ήλιος ενεργεί σχεδόν, ως μια τέλεια πηγή ακτινοβολίας σε μια θερμοκρασία κοντά στους 5.800 Κ Το ΑΜ=1,5 είναι το τυπικό ηλιακό φάσμα πάνω

Διαβάστε περισσότερα

τα μεταλλικά Μια στρώμα. Για την έννοια πως αν και νανοσωματίδια (με εξάχνωση Al). πρέπει κανείς να τοποθετήσει τα μερικές δεκάδες nm πράγμα

τα μεταλλικά Μια στρώμα. Για την έννοια πως αν και νανοσωματίδια (με εξάχνωση Al). πρέπει κανείς να τοποθετήσει τα μερικές δεκάδες nm πράγμα Φραγή Coulomb σε διατάξεις που περιέχουν νανοσωματίδια. Ι. Φραγή Coulomb σε διατάξεις που περιέχουν μεταλλικά νανοσωματίδια 1. Περιγραφή των διατάξεων Μια διάταξη που περιέχει νανοσωματίδια μπορεί να αναπτυχθεί

Διαβάστε περισσότερα

Χαρακτηρισμός υλικών με ιόντα

Χαρακτηρισμός υλικών με ιόντα Χαρακτηρισμός υλικών με ιόντα 1. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS) Φασματοσκοπία μάζας δευτερογενών ιόντων. Rutherford backscattering (RBS) Φασματοσκοπία οπισθοσκέδασης κατά Rutherford Secondary ion

Διαβάστε περισσότερα

4. Παρατηρείστε το ίχνος ενός ηλεκτρονίου (click here to select an electron

4. Παρατηρείστε το ίχνος ενός ηλεκτρονίου (click here to select an electron Τα ηλεκτρόνια στα Μέταλλα Α. Χωρίς ηλεκτρικό πεδίο: 1. Τι είδους κίνηση κάνουν τα ηλεκτρόνια; Τα ηλεκτρόνια συγκρούονται μεταξύ τους; 2. Πόσα ηλεκτρόνια περνάνε προς τα δεξιά και πόσα προς τας αριστερά

Διαβάστε περισσότερα

Συντακτική Οµάδα: έσποινα Παναγιωτίδου

Συντακτική Οµάδα: έσποινα Παναγιωτίδου ιαθεµατική Εργασία µε Θέµα: Οι Φυσικές Επιστήµες στην Καθηµερινή µας Ζωή Η Ηλιακή Ενέργεια Τµήµα: β2 Γυµνασίου Υπεύθυνος Καθηγητής: Παζούλης Παναγιώτης Συντακτική Οµάδα: έσποινα Παναγιωτίδου ΗΛΙΑΚΗ ΕΝΕΡΓΕΙΑ

Διαβάστε περισσότερα

Προσομοίωση εγχάραξης δομών SiO 2 και Si σε πλάσμα φθοριωμένων υδρογονανθράκων

Προσομοίωση εγχάραξης δομών SiO 2 και Si σε πλάσμα φθοριωμένων υδρογονανθράκων Εθνικό & Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών Σχολή Θετικών Επιστημών Τμήμα Πληροφορικής Εθνικό Κέντρο Έρευνας Φυσικών Επιστημών Δημόκριτος Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής Μεταπτυχιακό πρόγραμμα ΕΠΕΑΕΚ Μικροηλεκτρονικής

Διαβάστε περισσότερα

ΔΙΕΛΑΣΗ. Το εργαλείο διέλασης περιλαμβάνει : το μεταλλικό θάλαμο, τη μήτρα, το έμβολο και το συμπληρωματικό εξοπλισμό (δακτυλίους συγκράτησης κλπ.).

ΔΙΕΛΑΣΗ. Το εργαλείο διέλασης περιλαμβάνει : το μεταλλικό θάλαμο, τη μήτρα, το έμβολο και το συμπληρωματικό εξοπλισμό (δακτυλίους συγκράτησης κλπ.). ΔΙΕΛΑΣΗ Κατά τη διέλαση (extrusion) το τεμάχιο συμπιέζεται μέσω ενός εμβόλου μέσα σε μεταλλικό θάλαμο, στο άλλο άκρο του οποίου ευρίσκεται κατάλληλα διαμορφωμένη μήτρα, και αναγκάζεται να εξέλθει από το

Διαβάστε περισσότερα

Νέα Οπτικά Μικροσκόπια

Νέα Οπτικά Μικροσκόπια Νέα Οπτικά Μικροσκόπια Αντίθεση εικόνας (contrast) Αντίθεση πλάτους Αντίθεση φάσης Αντίθεση εικόνας =100 x (Ι υποβ -Ι δειγμα )/ Ι υποβ Μικροσκοπία φθορισμού (Χρησιμοποιεί φθορίζουσες χρωστικές για το

Διαβάστε περισσότερα

Na 2. +CO 2 + 2HCl 2NaCl + SiO 2

Na 2. +CO 2 + 2HCl 2NaCl + SiO 2 Το διοξείδιο του πυριτίου εμφανίζεται ως άμορφο και ως κρυσταλλικό. Ο χαλαζίας είναι η πιο σημαντική κρυσταλλική μορφή του διοξειδίου του πυριτίου. Παρασκευάζεται σύμφωνα με την αντίδραση: SiO 2 +Na 2

Διαβάστε περισσότερα

Νανοτεχνολογία ΧΑΡΙΣ ΑΣΗΜΑΚΟΠΟΥΛΟΣ ΕΦΑΡΜΟΓΕΣ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΚΗΣ 2013 14

Νανοτεχνολογία ΧΑΡΙΣ ΑΣΗΜΑΚΟΠΟΥΛΟΣ ΕΦΑΡΜΟΓΕΣ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΚΗΣ 2013 14 Νανοτεχνολογία 1.Ορισμός της Νανοτεχνολογίας 2.Πότε έκανε την εμφάνιση της; 3.Τα επιτευγματά της 4.Σε τι ωφελει την ανθρωπότητα 5.Που τη συναντάμε στη φύση 6.Κριτικές 7.Τι περιμένουμε απο την εξέλιξη της

Διαβάστε περισσότερα

Προσομοίωση με κινητική Monte Carlo της εγχάραξης πολυμερικών αλυσίδων με ιόντα πλάσματος αερίου

Προσομοίωση με κινητική Monte Carlo της εγχάραξης πολυμερικών αλυσίδων με ιόντα πλάσματος αερίου ΕΘΝΙΚΟ ΚΑΙ ΚΑΠΟΔΙΣΤΡΙΑΚΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΑΘΗΝΩΝ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΚΗΣ ΚΑΙ ΤΗΛΕΠΙΚΟΙΝΩΝΙΩΝ ΔΙΑΤΜΗΜΑΤΙΚΟ ΠΡΟΓΡΑΜΜΑ ΜΕΤΑΠΤΥΧΙΑΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ ΣΤΗ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ-MSc Thesis

Διαβάστε περισσότερα

Αιωρήματα & Γαλακτώματα

Αιωρήματα & Γαλακτώματα Αιωρήματα & Γαλακτώματα Εαρινό εξάμηνο Ακ. Έτους 2014-15 Μάθημα 2ο 25 February 2015 Αιωρήματα Γαλακτώματα 1 Παρασκευή αιωρημάτων Οι μέθοδοι παρασκευής αιωρημάτων κατατάσσονται σε δύο μεγάλες κατηγορίες

Διαβάστε περισσότερα

Εγχάραξη πολυμερών σε πλάσμα οξυγόνου για την κατασκευή και συγκόλληση μικρορευστομηχανικών διατάξεων

Εγχάραξη πολυμερών σε πλάσμα οξυγόνου για την κατασκευή και συγκόλληση μικρορευστομηχανικών διατάξεων ΕΘΝΙΚΟ ΚΑΙ ΚΑΠΟΔΙΣΤΡΙΑΚΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΑΘΗΝΩΝ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΚΗΣ ΚΑΙ ΤΗΛΕΠΙΚΟΙΝΩΝΙΩΝ ΠΡΟΓΡΑΜΜΑ ΜΕΤΑΠΤΥΧΙΑΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ ΣΤΗ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ Εγχάραξη πολυμερών σε

Διαβάστε περισσότερα

Π. Κοράλλη 1, S. Fiat 4, Μ. Κομπίτσας 2, İ. Polat 3, E. Bacaksiz 3 και Δ. Ε. Μανωλάκος 1

Π. Κοράλλη 1, S. Fiat 4, Μ. Κομπίτσας 2, İ. Polat 3, E. Bacaksiz 3 και Δ. Ε. Μανωλάκος 1 ΝΕΑ ΥΛΙΚΑ ΚΑΙ ΤΕΧΝΙΚΕΣ ΓΙΑ ΧΑΜΗΛΟΥ ΚΟΣΤΟΥΣ & ΥΨΗΛΗΣ ΑΠΟΔΟΣΗΣ ΦΩΤΟΒΟΛΤΑΙΚΑ ΣΤΟΙΧΕΙΑ Π. Κοράλλη 1, S. Fiat 4, Μ. Κομπίτσας 2, İ. Polat 3, E. Bacaksiz 3 και Δ. Ε. Μανωλάκος 1 1 Σχολή Μηχανολόγων Μηχανικών,

Διαβάστε περισσότερα

Στοιχεία Θερµικών/Μηχανικών Επεξεργασιών και δοµής των Κεραµικών, Γυαλιών

Στοιχεία Θερµικών/Μηχανικών Επεξεργασιών και δοµής των Κεραµικών, Γυαλιών Στοιχεία Θερµικών/Μηχανικών Επεξεργασιών και δοµής των Κεραµικών, Γυαλιών Βασισµένοστο Norman E. Dowling, Mechanical Behavior of Materials, Third Edition, Pearson Education, 2007 1 Κεραµικάκαιγυαλιά Τα

Διαβάστε περισσότερα

ΘΕΡΜΙΚΕΣ ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ

ΘΕΡΜΙΚΕΣ ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ ΘΕΡΜΙΚΕΣ ΚΑΤΕΡΓΑΣΙΕΣ ΓENIKA Θερµική κατεργασία είναι σύνολο διεργασιών που περιλαµβάνει τη θέρµανση και ψύξη µεταλλικού προϊόντος σε στερεά κατάσταση και σε καθορισµένες θερµοκρασιακές και χρονικές συνθήκες.

Διαβάστε περισσότερα

Σχεδίαση Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Ενότητα Α: Τεχνολογία Σχεδίασης Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Κεφάλαιο 5: Μικρολιθογραφία

Σχεδίαση Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Ενότητα Α: Τεχνολογία Σχεδίασης Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Κεφάλαιο 5: Μικρολιθογραφία Σχεδίαση Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Ενότητα Α: Τεχνολογία Σχεδίασης Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Κεφάλαιο 5: Μικρολιθογραφία Αραπογιάννη Αγγελική Τμήμα Πληροφορικής και Τηλεπικοινωνιών. Σελίδα 2 1. Σκοποί ενότητας...

Διαβάστε περισσότερα

Εξετάσεις Φυσικής για τα τμήματα Βιοτεχνολ. / Ε.Τ.Δ.Α Ιούνιος 2014 (α) Ονοματεπώνυμο...Τμήμα...Α.Μ...

Εξετάσεις Φυσικής για τα τμήματα Βιοτεχνολ. / Ε.Τ.Δ.Α Ιούνιος 2014 (α) Ονοματεπώνυμο...Τμήμα...Α.Μ... Εξετάσεις Φυσικής για τα τμήματα Βιοτεχνολ. / Ε.Τ.Δ.Α Ιούνιος 2014 (α) Ονοματεπώνυμο...Τμήμα...Α.Μ... Σημείωση: Διάφοροι τύποι και φυσικές σταθερές βρίσκονται στην τελευταία σελίδα. Θέμα 1ο (20 μονάδες)

Διαβάστε περισσότερα

Άσκηση 9. Μη καταστροφικοί έλεγχοι υλικών Δινορεύματα

Άσκηση 9. Μη καταστροφικοί έλεγχοι υλικών Δινορεύματα Άσκηση 9 Μη καταστροφικοί έλεγχοι υλικών Δινορεύματα Στοιχεία Θεωρίας Η αναγκαιότητα του να ελέγχονται οι κατασκευές (ή έστω ορισμένα σημαντικά τμήματα ή στοιχεία τους) ακόμα και κατά τη διάρκεια της λειτουργίας

Διαβάστε περισσότερα

ΠΥΡΗΝΙΚΟΣ ΜΑΓΝΗΤΙΚΟΣ ΣΥΝΤΟΝΙΣΜΟΣ ΚΑΙ ΔΟΜΗ ΤΟΥ ΑΤΟΜΟΥ. Του Αλέκου Χαραλαμπόπουλου ΕΙΣΑΓΩΓΗ

ΠΥΡΗΝΙΚΟΣ ΜΑΓΝΗΤΙΚΟΣ ΣΥΝΤΟΝΙΣΜΟΣ ΚΑΙ ΔΟΜΗ ΤΟΥ ΑΤΟΜΟΥ. Του Αλέκου Χαραλαμπόπουλου ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΠΥΡΗΝΙΚΟΣ ΜΑΓΝΗΤΙΚΟΣ ΣΥΝΤΟΝΙΣΜΟΣ ΚΑΙ ΔΟΜΗ ΤΟΥ ΑΤΟΜΟΥ Του Αλέκου Χαραλαμπόπουλου ΕΙΣΑΓΩΓΗ Ένα επαναλαμβανόμενο περιοδικά φαινόμενο, έχει μία συχνότητα επανάληψης μέσα στο χρόνο και μία περίοδο. Επειδή κάθε

Διαβάστε περισσότερα

Στοιχεία Επιστήµης Κεραµικών

Στοιχεία Επιστήµης Κεραµικών Στοιχεία Επιστήµης Κεραµικών ιδάσκων : ρ Ειρήνη Θεοφανίδου Email: eirini@iesl.forth.gr eirini_th@yahoo.com Τηλ: : 2810 391133 Ώρες διδασκαλίας: Τρίτη 11:00-14:00 14:00, Αίθουσα Β2 Χηµικού Εισαγωγή 2 ιαλέξεις

Διαβάστε περισσότερα

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com 1 ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ο ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ ΕΝΕΡΓΕΙΑ Σκοπός Στο τρίτο κεφάλαιο θα εισαχθεί η έννοια της ηλεκτρικής ενέργειας. 3ο κεφάλαιο ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ ΕΝΕΡΓΕΙΑ 1 2 3.1 Θερμικά αποτελέσματα του ηλεκτρικού ρεύματος Λέξεις κλειδιά:

Διαβάστε περισσότερα

5. ΤΟ ΠΥΡΙΤΙΟ. Επιμέλεια παρουσίασης Παναγιώτης Αθανασόπουλος Δρ - Χημικός

5. ΤΟ ΠΥΡΙΤΙΟ. Επιμέλεια παρουσίασης Παναγιώτης Αθανασόπουλος Δρ - Χημικός 5. ΤΟ ΠΥΡΙΤΙΟ Επιμέλεια παρουσίασης Παναγιώτης Αθανασόπουλος Δρ - Χημικός Σκοπός του μαθήματος: Να εντοπίζουμε τη θέση του πυριτίου στον περιοδικό πίνακα Να αναφέρουμε τη χρήση του πυριτίου σε υλικά όπως

Διαβάστε περισσότερα

Ακτίνες επιτρεπόμενων τροχιών (2.6)

Ακτίνες επιτρεπόμενων τροχιών (2.6) Αντικαθιστώντας το r με r n, έχουμε: Ακτίνες επιτρεπόμενων τροχιών (2.6) Αντικαθιστώντας n=1, βρίσκουμε την τροχιά με τη μικρότερη ακτίνα n: Αντικαθιστώντας την τελευταία εξίσωση στη 2.6, παίρνουμε: Αν

Διαβάστε περισσότερα

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 ο ΔΥΝΑΜΕΙΣ ΜΕΤΑΞΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΩΝ ΦΟΡΤΙΩΝ ΕΡΩΤΗΣΕΙΣ

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 ο ΔΥΝΑΜΕΙΣ ΜΕΤΑΞΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΩΝ ΦΟΡΤΙΩΝ ΕΡΩΤΗΣΕΙΣ ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 ο ΔΥΝΑΜΕΙΣ ΜΕΤΑΞΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΩΝ ΦΟΡΤΙΩΝ ΕΡΩΤΗΣΕΙΣ 1. Κατά την ηλέκτριση με τριβή μεταφέρονται από το ένα σώμα στο άλλο i. πρωτόνια. ii. ηλεκτρόνια iii iν. νετρόνια ιόντα. 2. Το σχήμα απεικονίζει

Διαβάστε περισσότερα

ΤΕΣΤ 30 ΕΡΩΤΗΣΕΩΝ ΓΝΩΣΤΙΚΟΥ ΧΗΜΕΙΑΣ

ΤΕΣΤ 30 ΕΡΩΤΗΣΕΩΝ ΓΝΩΣΤΙΚΟΥ ΧΗΜΕΙΑΣ ΤΕΣΤ 30 ΕΡΩΤΗΣΕΩΝ ΓΝΩΣΤΙΚΟΥ ΧΗΜΕΙΑΣ ο αριθμός Avogadro, N A, L = 6,022 10 23 mol -1 η σταθερά Faraday, F = 96 487 C mol -1 σταθερά αερίων R = 8,314 510 (70) J K -1 mol -1 = 0,082 L atm mol -1 K -1 μοριακός

Διαβάστε περισσότερα

3.2 ΧΗΜΙΚΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΤΟΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΥΜΑΤΟΣ

3.2 ΧΗΜΙΚΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΤΟΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΥΜΑΤΟΣ Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com 3.2 ΧΗΜΙΚΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΤΟΥ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΥΜΑΤΟΣ 1 Λέξεις κλειδιά: Ηλεκτρολυτικά διαλύματα, ηλεκτρόλυση,

Διαβάστε περισσότερα

Μεταφορά Ενέργειας με Ακτινοβολία

Μεταφορά Ενέργειας με Ακτινοβολία ΠΕΡΙΒΑΛΛΟΝΤΙΚΗ ΕΠΙΣΤΗΜΗ - ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ Εργαστηριακή Άσκηση: Μεταφορά Ενέργειας με Ακτινοβολία Σκοπός της Εργαστηριακής Άσκησης: Να προσδιοριστεί ο τρόπος με τον οποίο μεταλλικά κουτιά με επιφάνειες διαφορετικού

Διαβάστε περισσότερα

ΦΥΣΙΚΗ ΠΡΟΣΑΝΑΤΟΛΙΣΜΟΥ ΘΕΤΙΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ Β Τάξης ΓΕΛ 4 ο ΓΕΛ ΚΟΖΑΝΗΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΠΕΔΙΟ ΣΤΕΦΑΝΟΥ Μ. ΦΥΣΙΚΟΣ

ΦΥΣΙΚΗ ΠΡΟΣΑΝΑΤΟΛΙΣΜΟΥ ΘΕΤΙΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ Β Τάξης ΓΕΛ 4 ο ΓΕΛ ΚΟΖΑΝΗΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΠΕΔΙΟ ΣΤΕΦΑΝΟΥ Μ. ΦΥΣΙΚΟΣ ΦΥΣΙΚΗ ΠΡΟΣΑΝΑΤΟΛΙΣΜΟΥ ΘΕΤΙΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ Β Τάξης ΓΕΛ 4 ο ΓΕΛ ΚΟΖΑΝΗΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΠΕΔΙΟ ΣΤΕΦΑΝΟΥ Μ. ΦΥΣΙΚΟΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΠΕΔΙΟ - ΜΑΓΝΗΤΙΚΟ ΠΕΔΙΟ Δυναμική ενέργεια δυο φορτίων Δυναμική ενέργεια τριών ή περισσοτέρων

Διαβάστε περισσότερα

7.a. Οι δεσμοί στα στερεά

7.a. Οι δεσμοί στα στερεά ΤΕΤΥ Σύγχρονη Φυσική Κεφ. 7-1 Κεφάλαιο 7. Στερεά Εδάφια: 7.a. Οι δεσμοί στα στερεά 7.b. Η θεωρία των ενεργειακών ζωνών 7.c. Νόθευση ημιαγωγών και εφαρμογές 7.d. Υπεραγωγοί 7.a. Οι δεσμοί στα στερεά Με

Διαβάστε περισσότερα

Ισορροπία στη σύσταση αέριων συστατικών

Ισορροπία στη σύσταση αέριων συστατικών Ισορροπία στη σύσταση αέριων συστατικών Για κάθε αέριο υπάρχουν μηχανισμοί παραγωγής και καταστροφής Ρυθμός μεταβολής ενός αερίου = ρυθμός παραγωγής ρυθμός καταστροφής Όταν: ρυθμός παραγωγής = ρυθμός καταστροφής

Διαβάστε περισσότερα

Κατασκευή σταθερών διπλής κλίμακας τραχειών υπερυδρόφοβων και υπερυδρόφιλων επιφανειών με λιθογραφία κολλοειδών σωματιδίων και εγχάραξη με πλάσμα

Κατασκευή σταθερών διπλής κλίμακας τραχειών υπερυδρόφοβων και υπερυδρόφιλων επιφανειών με λιθογραφία κολλοειδών σωματιδίων και εγχάραξη με πλάσμα ΕΘΝΙΚΟ ΚΑΠΟΔΙΣΤΡΙΑΚΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΑΘΗΝΩΝ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΚΗΣ ΚΑΙ ΤΗΛΕΠΙΚΟΙΝΩΝΙΩΝ ΔΙΑΤΜΗΜΑΤΙΚΟ ΠΡΟΓΡΑΜΜΑ ΜΕΤΑΠΤΥΧΙΑΚΩΝ ΣΠΟΥΔΩΝ ΣΤΗ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ Κατασκευή σταθερών

Διαβάστε περισσότερα

Σχετικά με το μάθημα. Ο Υπολογιστής Η γενική εικόνα. Η μνήμη. Ενότητες μαθήματος. Εισαγωγή στους Υπολογιστές. Βιβλία για το μάθημα

Σχετικά με το μάθημα. Ο Υπολογιστής Η γενική εικόνα. Η μνήμη. Ενότητες μαθήματος. Εισαγωγή στους Υπολογιστές. Βιβλία για το μάθημα Ιόνιο Πανεπιστήμιο Τμήμα Πληροφορικής Εισαγωγή στην Επιστήμη των Υπολογιστών 2014-15 Εισαγωγή στους Υπολογιστές (αρχές λειτουργίας και τεχνολογία) Σχετικά με το μάθημα Ενότητες μαθήματος Αρχές λειτουργίας

Διαβάστε περισσότερα

Ηλεκτρική Αγωγιμότητα των μεταλλικών Υλικών

Ηλεκτρική Αγωγιμότητα των μεταλλικών Υλικών Τα αγώγιμα υλικά Ηλεκτρική Αγωγιμότητα των μεταλλικών Υλικών Mακροσκοπικά η ηλεκτρική συμπεριφορά των υλικών είναι: Τα ηλεκτρόνια μπορούν να κινηθούν ελεύθερα στο κρυσταλλικό πλέγμα I=V/R {R=ρL/S, σ=1/ρ

Διαβάστε περισσότερα

ΚΥΨΕΛΕΣ ΚΑΥΣΙΜΟΥ ΚΑΚΑΡΟΥΝΤΑ ΑΡΓΥΡΩ Α.Μ. 277 ΜΗΤΣΑΚΗ ΤΑΤΙΑΝΑ Α.Μ. 309 ΠΑΠΑΖΑΦΕΙΡΑΤΟΥ ΙΦΙΓΕΝΕΙΑ Α.Μ.322

ΚΥΨΕΛΕΣ ΚΑΥΣΙΜΟΥ ΚΑΚΑΡΟΥΝΤΑ ΑΡΓΥΡΩ Α.Μ. 277 ΜΗΤΣΑΚΗ ΤΑΤΙΑΝΑ Α.Μ. 309 ΠΑΠΑΖΑΦΕΙΡΑΤΟΥ ΙΦΙΓΕΝΕΙΑ Α.Μ.322 ΚΥΨΕΛΕΣ ΚΑΥΣΙΜΟΥ ΚΑΚΑΡΟΥΝΤΑ ΑΡΓΥΡΩ Α.Μ. 277 ΜΗΤΣΑΚΗ ΤΑΤΙΑΝΑ Α.Μ. 309 ΠΑΠΑΖΑΦΕΙΡΑΤΟΥ ΙΦΙΓΕΝΕΙΑ Α.Μ.322 ΤΙ ΕΙΝΑΙ ΚΥΨΕΛΕΣ ΚΑΥΣΙΜΟΥ Οι κυψέλες καυσίμου είναι συσκευές οι οποίες μέσω ηλεκτροχημικών αντιδράσεων

Διαβάστε περισσότερα

ΕΝΤΟΝΑ ΗΛΙΑΚΑ ΦΑΙΝΟΜΕΝΑ

ΕΝΤΟΝΑ ΗΛΙΑΚΑ ΦΑΙΝΟΜΕΝΑ ΕΝΤΟΝΑ ΗΛΙΑΚΑ ΦΑΙΝΟΜΕΝΑ Διαστημικός καιρός. Αποτελεί το σύνολο της ηλιακής δραστηριότητας (ηλιακός άνεμος, κηλίδες, καταιγίδες, εκλάμψεις, προεξοχές, στεμματικές εκτινάξεις ηλιακής μάζας) που επηρεάζει

Διαβάστε περισσότερα

Υδροφοβικές-Υδροφιλικές ιδιότητες και εφαρµογές (διαφάνειες από τις παραδόσεις)

Υδροφοβικές-Υδροφιλικές ιδιότητες και εφαρµογές (διαφάνειες από τις παραδόσεις) Υδροφοβικές-Υδροφιλικές ιδιότητες και εφαρµογές (διαφάνειες από τις παραδόσεις) Ανασκόπηση υδροφιλικής-υδροφοβικής ιδιότητας Η λιθογραφία είναι µια διαδικασία εκτύπωσης, που βασίζεται στην φυσική εγγενή

Διαβάστε περισσότερα

dq dt μεταβολή θερμοκρασίας C = C m ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ J mole Θερμικές ιδιότητες Θερμοχωρητικότητα

dq dt μεταβολή θερμοκρασίας C = C m ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ J mole Θερμικές ιδιότητες Θερμοχωρητικότητα ΥΛΙΚΑ Ι ΠΑΡΟΝ ΚΑΙ ΜΕΛΛΟΝ 7 κές Ιδιότητες ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΚΡΗΤΗΣ ΤΜΗΜΑ ΕΠΙΣΤΗΜΗΣ ΚΑΙ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑΣ ΥΛΙΚΩΝ κές ιδιότητες Θερμοχωρητικότητα κή διαστολή κή αγωγιμότητα γμ κή τάση Θερμοχωρητικότητα Η θερμοχωρητικότητα

Διαβάστε περισσότερα

5. Συμμετρία, Πολικότητα και Οπτική Ενεργότητα των μορίων

5. Συμμετρία, Πολικότητα και Οπτική Ενεργότητα των μορίων 5. Συμμετρία, Πολικότητα και Οπτική Ενεργότητα των μορίων ιδακτικοί στόχοι Μετά την ολοκλήρωση της μελέτης του κεφαλαίου αυτού θα μπορείτε να... o προβλέπετε με βάση τη συμμετρία αν ένα μόριο έχει μόνιμη

Διαβάστε περισσότερα

1.3 Δομικά σωματίδια της ύλης - Δομή ατόμου - Ατομικός αριθμός - Μαζικός αριθμός - Ισότοπα

1.3 Δομικά σωματίδια της ύλης - Δομή ατόμου - Ατομικός αριθμός - Μαζικός αριθμός - Ισότοπα 1.3 Δομικά σωματίδια της ύλης - Δομή ατόμου - Ατομικός αριθμός - Μαζικός αριθμός - Ισότοπα Θεωρία 3.1. Ποια είναι τα δομικά σωματίδια της ύλης; Τα άτομα, τα μόρια και τα ιόντα. 3.2. SOS Τι ονομάζεται άτομο

Διαβάστε περισσότερα

Η Παράξενη Συμπεριφορά κάποιων Μη Νευτώνειων Ρευστών

Η Παράξενη Συμπεριφορά κάποιων Μη Νευτώνειων Ρευστών Η Παράξενη Συμπεριφορά κάποιων Μη Νευτώνειων Ρευστών Θεοχαροπούλου Ηλιάνα 1, Μπακιρτζή Δέσποινα 2, Οικονόμου Ευαγγελία, Σαμαρά Κατερίνα 3, Τζάμου Βασιλική 4 1 ο Πρότυπο Πειραματικό Λύκειο Θεσ/νίκης «Μανόλης

Διαβάστε περισσότερα

Μέτρηση μηκών και ακτίνων καμπυλότητας σφαιρικών επιφανειών

Μέτρηση μηκών και ακτίνων καμπυλότητας σφαιρικών επιφανειών Μ7 Μέτρηση μηκών και ακτίνων καμπυλότητας σφαιρικών επιφανειών 1. Σκοπός Τα διαστημόμετρα, τα μικρόμετρα και τα σφαιρόμετρα είναι όργανα που χρησιμοποιούνται για την μέτρηση της διάστασης του μήκους, του

Διαβάστε περισσότερα

Β' τάξη Γενικού Λυκείου. Κεφάλαιο 1 Κινητική θεωρία αερίων

Β' τάξη Γενικού Λυκείου. Κεφάλαιο 1 Κινητική θεωρία αερίων Β' τάξη Γενικού Λυκείου Κεφάλαιο 1 Κινητική θεωρία αερίων Κεφάλαιο 1 Κινητική θεωρία αερίων Χιωτέλης Ιωάννης Γενικό Λύκειο Πελοπίου 1.1 Ποιο από τα παρακάτω διαγράμματα αντιστοιχεί σε ισοβαρή μεταβολή;

Διαβάστε περισσότερα

ΜΙΚΡΟ ΚΑΙ ΝΑΝΟ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΜΙΚΡΟ-ΑΝΑΛΥΤΙΚΩΝ ΔΙΑΤΑΞΕΩΝ

ΜΙΚΡΟ ΚΑΙ ΝΑΝΟ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΜΙΚΡΟ-ΑΝΑΛΥΤΙΚΩΝ ΔΙΑΤΑΞΕΩΝ ΕΘΝΙΚΟ ΚΑΙ ΚΑΠΟΔΙΣΤΡΙΑΚΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΑΘΗΝΩΝ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΧΗΜΕΙΑΣ Τσουγένη Αικατερίνη ΜΙΚΡΟ ΚΑΙ ΝΑΝΟ ΣΧΗΜΑΤΟΠΟΙΗΣΗ ΠΟΛΥΜΕΡΩΝ ΓΙΑ ΤΗΝ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΜΙΚΡΟ-ΑΝΑΛΥΤΙΚΩΝ ΔΙΑΤΑΞΕΩΝ ΔΙΔΑΚΤΟΡΙΚΗ ΔΙΑΤΡΙΒΗ

Διαβάστε περισσότερα

Μηχανικές ιδιότητες υάλων. Διάγραμμα τάσης-παραμόρφωσης (stress-stain)

Μηχανικές ιδιότητες υάλων. Διάγραμμα τάσης-παραμόρφωσης (stress-stain) Μηχανικές ιδιότητες υάλων Η ψαθυρότητα των υάλων είναι μια ιδιότητα καλά γνωστή που εύκολα διαπιστώνεται σε σύγκριση με ένα μεταλλικό υλικό. Διάγραμμα τάσης-παραμόρφωσης (stress-stain) E (Young s modulus)=

Διαβάστε περισσότερα

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com

Βρέντζου Τίνα Φυσικός Μεταπτυχιακός τίτλος: «Σπουδές στην εκπαίδευση» ΜEd Email : stvrentzou@gmail.com 1 ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2ο ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΡΕΥΜΑ Σκοπός Στο δεύτερο κεφάλαιο θα εισαχθεί η έννοια του ηλεκτρικού ρεύματος και της ηλεκτρικής τάσης,θα μελετηθεί ένα ηλεκτρικό κύκλωμα και θα εισαχθεί η έννοια της αντίστασης.

Διαβάστε περισσότερα

ΕΝΟΤΗΤΑ 1 ΗΛΕΚΤΡΙΣΜΟΣ. Κεφάλαιο 1. Ηλεκτρική δύναμη και φορτίο. 1.1 Γνωριμία με την ηλεκτρική δύναμη.

ΕΝΟΤΗΤΑ 1 ΗΛΕΚΤΡΙΣΜΟΣ. Κεφάλαιο 1. Ηλεκτρική δύναμη και φορτίο. 1.1 Γνωριμία με την ηλεκτρική δύναμη. ΕΝΟΤΗΤΑ 1 ΗΛΕΚΤΡΙΣΜΟΣ Κεφάλαιο 1. Ηλεκτρική δύναμη και φορτίο. 1.1 Γνωριμία με την ηλεκτρική δύναμη. 1. Σώματα, όπως ο πλαστικός χάρακας ή το ήλεκτρο, που αποκτούν την ιδιότητα να ασκούν δύναμη σε ελαφρά

Διαβάστε περισσότερα

Προσδιορισμός φυσικοχημικών παραμέτρων υγρών αποβλήτων και υδάτων

Προσδιορισμός φυσικοχημικών παραμέτρων υγρών αποβλήτων και υδάτων Προσδιορισμός φυσικοχημικών παραμέτρων υγρών αποβλήτων και υδάτων (DO - BOD - COD - TOC) Χ. Βασιλάτος Οργανική ύλη Αποξυγόνωση επιφανειακών και υπογείων υδάτων Οι οργανικές ύλες αποτελούν πολύ σοβαρό ρύπο,

Διαβάστε περισσότερα

ΦΥΣΙΚΗ ΧΗΜΕΙΑ ΙΙΙ ΤΜΗΜΑ ΧΗΜΕΙΑΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ: ΕΠΙΔΡΑΣΗ ΘΕΡΜΟΚΡΑΣΙΑΣ ΣΤΗ ΣΤΑΘΕΡΑ ΤΑΧΥΤΗΤΑΣ ΑΝΤΙΔΡΑΣΗΣ

ΦΥΣΙΚΗ ΧΗΜΕΙΑ ΙΙΙ ΤΜΗΜΑ ΧΗΜΕΙΑΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ: ΕΠΙΔΡΑΣΗ ΘΕΡΜΟΚΡΑΣΙΑΣ ΣΤΗ ΣΤΑΘΕΡΑ ΤΑΧΥΤΗΤΑΣ ΑΝΤΙΔΡΑΣΗΣ ΑΡΙΣΤΟΤΕΛΕΙΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΘΕΣΣΑΛΟΝΙΚΗΣ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΧΗΜΕΙΑΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΦΥΣΙΚΟΧΗΜΕΙΑΣ Γραφείο 211 Επίκουρος Καθηγητής: Δ. Τσιπλακίδης Τηλ.: 2310 997766 e mail: dtsiplak@chem.auth.gr url:

Διαβάστε περισσότερα

Nανοσωλήνες άνθρακα. Ηλεκτρονική δομή ηλεκτρικές ιδιότητες. Εφαρμογές στα ηλεκτρονικά

Nανοσωλήνες άνθρακα. Ηλεκτρονική δομή ηλεκτρικές ιδιότητες. Εφαρμογές στα ηλεκτρονικά Nανοσωλήνες άνθρακα Ηλεκτρονική δομή ηλεκτρικές ιδιότητες Εφαρμογές στα ηλεκτρονικά Νανοσωλήνες άνθρακα ιστορική αναδρομή Από το γραφίτη στους Νανοσωλήνες άνθρακα Στο γραφίτη τα άτομα C συνδέονται ισχυρά

Διαβάστε περισσότερα

ΠΟΥ ΔΙΑΔΙΔΕΤΑΙ ΤΟ ΦΩΣ

ΠΟΥ ΔΙΑΔΙΔΕΤΑΙ ΤΟ ΦΩΣ 1 ΦΩΣ Στο μικρόκοσμο θεωρούμε ότι το φως έχει δυο μορφές. Άλλοτε το αντιμετωπίζουμε με τη μορφή σωματιδίων που ονομάζουμε φωτόνια. Τα φωτόνια δεν έχουν μάζα αλλά μόνον ενέργεια. Άλλοτε πάλι αντιμετωπίζουμε

Διαβάστε περισσότερα

ΟΙ ΕΠΙΠΤΩΣΕΙΣ ΤΗΣ ΟΞΙΝΗΣ ΒΡΟΧΗΣ ΣΤΟ ΠΕΡΙΒΑΛΛΟΝ

ΟΙ ΕΠΙΠΤΩΣΕΙΣ ΤΗΣ ΟΞΙΝΗΣ ΒΡΟΧΗΣ ΣΤΟ ΠΕΡΙΒΑΛΛΟΝ !Unexpected End of Formula l ΟΙ ΕΠΙΠΤΩΣΕΙΣ ΤΗΣ ΟΞΙΝΗΣ ΒΡΟΧΗΣ ΣΤΟ ΠΕΡΙΒΑΛΛΟΝ ΘΕΩΡΗΤΙΚΟ ΜΕΡΟΣ Παραδεισανός Αδάμ ΠΡΟΛΟΓΟΣ Η εργασία αυτή εκπονήθηκε το ακαδημαϊκό έτος 2003 2004 στο μάθημα «Το πείραμα στη

Διαβάστε περισσότερα

Τμήμα Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών

Τμήμα Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών Πανεπιστήμιο Κρήτης Τμήμα Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών www.materials.uoc.gr Αντιμετωπίζοντας τις προκλήσεις του 21 ου αιώνα με προηγμένα υλικά Τμήμα Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών (TETY) Πανεπιστήμιο

Διαβάστε περισσότερα

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΦΥΣΙΚΗΣ ΧΗΜΕΙΑΣ ΤΜΗΜΑΤΟΣ ΦΑΡΜΑΚΕΥΤΙΚΗΣ

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΦΥΣΙΚΗΣ ΧΗΜΕΙΑΣ ΤΜΗΜΑΤΟΣ ΦΑΡΜΑΚΕΥΤΙΚΗΣ ΑΡΙΣΤΟΤΕΛΕΙΟ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΘΕΣΣΑΛΟΝΙΚΗΣ ΣΧΟΛΗ ΘΕΤΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ ΤΜΗΜΑ ΧΗΜΕΙΑΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΦΥΣΙΚΟΧΗΜΕΙΑΣ Γραφείο 211 Επίκουρος Καθηγητής: Δ. Τσιπλακίδης Τηλ.: 2310 997766 e mail: dtsiplak@chem.auth.gr url:

Διαβάστε περισσότερα

Εισαγωγή. 1.1 Ο κόσμος των υλικών

Εισαγωγή. 1.1 Ο κόσμος των υλικών Εισαγωγή 1 1 Εισαγωγή Βατάλης Αργύρης 1.1 Ο κόσμος των υλικών Tα υλικά αποτελούν μέρος της βάσης όλων των τεχνολογικών εξελίξεων. Όλες οι ανθρώπινες δραστηριότητες και το επίπεδο ζωής επηρεάζονται σε μεγάλο

Διαβάστε περισσότερα

ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ LASER ΤΜΗΜΑ ΟΠΤΙΚΗΣ & ΟΠΤΟΜΕΤΡΙΑΣ ΑΤΕΙ ΠΑΤΡΑΣ

ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ LASER ΤΜΗΜΑ ΟΠΤΙΚΗΣ & ΟΠΤΟΜΕΤΡΙΑΣ ΑΤΕΙ ΠΑΤΡΑΣ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ LASER ΤΜΗΜΑ ΟΠΤΙΚΗΣ & ΟΠΤΟΜΕΤΡΙΑΣ ΑΤΕΙ ΠΑΤΡΑΣ «Ίσως το φως θα ναι μια νέα τυραννία. Ποιος ξέρει τι καινούρια πράγματα θα δείξει.» Κ.Π.Καβάφης ΑΡΧΕΣ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑΣ ΤΟΥ LASER Εισαγωγικές Έννοιες

Διαβάστε περισσότερα

ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ 2.1 ΤΟ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΡΕΥΜΑ

ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ 2.1 ΤΟ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΡΕΥΜΑ ΦΥΣΙΚΗ Γ ΓΥΜΝΑΣΙΟΥ 2Η ΕΝΟΤΗΤΑ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΡΕΥΜΑ 2.1 ΤΟ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟ ΡΕΥΜΑ Τι είναι ; Ηλεκτρικό ρεύμα ονομάζεται η προσανατολισμένη κίνηση των ηλεκτρονίων ή γενικότερα των φορτισμένων σωματιδίων Που μπορεί να

Διαβάστε περισσότερα

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 7 ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ ΑΓΩΓΙΜΟΤΗΤΑ ΣΤΑ ΜΕΤΑΛΛΑ- ΑΝΤΙΣΤΑΤΕΣ

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 7 ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ ΑΓΩΓΙΜΟΤΗΤΑ ΣΤΑ ΜΕΤΑΛΛΑ- ΑΝΤΙΣΤΑΤΕΣ ΚΕΦΑΛΑΙΟ 7 ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ ΑΓΩΓΙΜΟΤΗΤΑ ΣΤΑ ΜΕΤΑΛΛΑ- ΑΝΤΙΣΤΑΤΕΣ 7.1. Εισαγωγή Στο κεφάλαιο αυτό θα εξετάσουμε την ηλεκτρική αγωγιμότητα των μεταλλικών υλικών και τους παράγοντες που την επηρεάζουν, όπως η θερμοκρασία,

Διαβάστε περισσότερα

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ 11 ΣΤΡΟΒΙΛΟΚΙΝΗΤΗΡΩΝ

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ 11 ΣΤΡΟΒΙΛΟΚΙΝΗΤΗΡΩΝ ΣΧΟΛΗ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΚΩΝ ΕΦΑΡΜΟΓΩΝ ΤΜΗΜΑ ΜΗΧΑΝΟΛΟΓΙΑΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΘΕΡΜΟΚΙΝΗΤΗΡΩΝ ΚΑΙ ΘΕΡΜΙΚΩΝ ΣΤΡΟΒΙΛΟΜΗΧΑΝΩΝ ΔΙΔΑΚΤΙΚΗ ΠΕΡΙΟΧΗ: ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΣΤΡΟΒΙΛΟΚΙΝΗΤΗΡΩΝ Υπεύθυνος: Επικ. Καθηγητής Δρ. Α. ΦΑΤΣΗΣ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ

Διαβάστε περισσότερα

ΠΟΛΥΤΕΧΝΙΚΗ ΣΧΟΛΗ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟΥ ΠΑΤΡΩΝ ΤΜΗΜΑ ΜΗΧΑΝΟΛΟΓΩΝ ΚΑΙ ΑΕΡΟΝΑΥΠΗΓΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΜΗΧΑΝΙΚΗΣ ΤΩΝ ΡΕΥΣΤΩΝ ΚΑΙ ΕΦΑΡΜΟΓΩΝ ΑΥΤΗΣ

ΠΟΛΥΤΕΧΝΙΚΗ ΣΧΟΛΗ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟΥ ΠΑΤΡΩΝ ΤΜΗΜΑ ΜΗΧΑΝΟΛΟΓΩΝ ΚΑΙ ΑΕΡΟΝΑΥΠΗΓΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΜΗΧΑΝΙΚΗΣ ΤΩΝ ΡΕΥΣΤΩΝ ΚΑΙ ΕΦΑΡΜΟΓΩΝ ΑΥΤΗΣ ΠΟΛΥΤΕΧΝΙΚΗ ΣΧΟΛΗ ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟΥ ΠΑΤΡΩΝ ΤΜΗΜΑ ΜΗΧΑΝΟΛΟΓΩΝ ΚΑΙ ΑΕΡΟΝΑΥΠΗΓΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΟ ΜΗΧΑΝΙΚΗΣ ΤΩΝ ΡΕΥΣΤΩΝ ΚΑΙ ΕΦΑΡΜΟΓΩΝ ΑΥΤΗΣ Διευθυντής: Διονύσιος-Ελευθ. Π. Μάργαρης, Αναπλ. Καθηγητής ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ

Διαβάστε περισσότερα

Οι ακτίνες Χ είναι ηλεκτροµαγνητική ακτινοβολία µε λ [10-9 -10-12 m] (ή 0,01-10Å) και ενέργεια φωτονίων kev.

Οι ακτίνες Χ είναι ηλεκτροµαγνητική ακτινοβολία µε λ [10-9 -10-12 m] (ή 0,01-10Å) και ενέργεια φωτονίων kev. Οι ακτίνες Χ είναι ηλεκτροµαγνητική ακτινοβολία µε λ [10-9 -10-12 m] (ή 0,01-10Å) και ενέργεια φωτονίων kev. To ορατό καταλαµβάνει ένα πολύ µικρό µέρος του ηλεκτροµαγνητικού φάσµατος: 1,6-3,2eV. Page 1

Διαβάστε περισσότερα

Το Καφενείο της Επιστήμης (5 ος κύκλος) Ίδρυμα Ευγενίδου, Γαλλικό Ινστιτούτο, Βρετανικό Συμβούλιο

Το Καφενείο της Επιστήμης (5 ος κύκλος) Ίδρυμα Ευγενίδου, Γαλλικό Ινστιτούτο, Βρετανικό Συμβούλιο Το Καφενείο της Επιστήμης (5 ος κύκλος) «Η Φωτοχημεία στην υπηρεσία της προστασίας του περιβάλλοντος: Νέα Φωτοβολταϊκά Συστήματα με χρήση καινοτόμων νανο-υλικών» Οικονομόπουλος Σόλων Ινστιτούτο Θεωρητικής

Διαβάστε περισσότερα

ΗΛΕΚΤΡΟΤΕΧΝΙΚΑ Υλικα 3ο μεροσ. Θεωρητικη αναλυση

ΗΛΕΚΤΡΟΤΕΧΝΙΚΑ Υλικα 3ο μεροσ. Θεωρητικη αναλυση ΗΛΕΚΤΡΟΤΕΧΝΙΚΑ Υλικα 3ο μεροσ Θεωρητικη αναλυση μεταλλα Έχουν κοινές φυσικές ιδιότητες που αποδεικνύεται πως είναι αλληλένδετες μεταξύ τους: Υψηλή φυσική αντοχή Υψηλή πυκνότητα Υψηλή ηλεκτρική και θερμική

Διαβάστε περισσότερα

Οι ιδιότητες των αερίων και καταστατικές εξισώσεις. Θεόδωρος Λαζαρίδης Σημειώσεις για τις παραδόσεις του μαθήματος Φυσικοχημεία Ι

Οι ιδιότητες των αερίων και καταστατικές εξισώσεις. Θεόδωρος Λαζαρίδης Σημειώσεις για τις παραδόσεις του μαθήματος Φυσικοχημεία Ι Οι ιδιότητες των αερίων και καταστατικές εξισώσεις Θεόδωρος Λαζαρίδης Σημειώσεις για τις παραδόσεις του μαθήματος Φυσικοχημεία Ι Τι είναι αέριο; Λέμε ότι μία ουσία βρίσκεται στην αέρια κατάσταση όταν αυθόρμητα

Διαβάστε περισσότερα

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ 1 η & 2 η : ΟΡΙΑΚΟ ΣΤΡΩΜΑ

ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ 1 η & 2 η : ΟΡΙΑΚΟ ΣΤΡΩΜΑ ΕΡΓΑΣΤΗΡΙΑΚΗ ΑΣΚΗΣΗ 1 η & 2 η : ΟΡΙΑΚΟ ΣΤΡΩΜΑ ΜΕΛΕΤΗ ΣΤΡΩΤΟΥ ΟΡΙΑΚΟΥ ΣΤΡΩΜΑΤΟΣ ΠΑΝΩ ΑΠΟ ΑΚΙΝΗΤΗ ΟΡΙΖΟΝΤΙΑ ΕΠΙΠΕΔΗ ΕΠΙΦΑΝΕΙΑ Σκοπός της άσκησης Στην παρούσα εργαστηριακή άσκηση γίνεται μελέτη του Στρωτού

Διαβάστε περισσότερα

ΑΣΚΗΣΗ 4 η ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΗΧΑΝΕΣ ΣΥΝΕΧΟΥΣ ΡΕΥΜΑΤΟΣ

ΑΣΚΗΣΗ 4 η ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΗΧΑΝΕΣ ΣΥΝΕΧΟΥΣ ΡΕΥΜΑΤΟΣ ΑΣΚΗΣΗ 4 η ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΗΧΑΝΕΣ ΣΥΝΕΧΟΥΣ ΡΕΥΜΑΤΟΣ Σκοπός της Άσκησης: Σκοπός της εργαστηριακής άσκησης είναι α) η κατανόηση της αρχής λειτουργίας των μηχανών συνεχούς ρεύματος, β) η ανάλυση της κατασκευαστικών

Διαβάστε περισσότερα

Διάθλαση φωτός και ολική ανάκλαση: Εύρεση του δείκτη διάθλασης και της γωνίας ολικής ανάκλασης

Διάθλαση φωτός και ολική ανάκλαση: Εύρεση του δείκτη διάθλασης και της γωνίας ολικής ανάκλασης 3 Διάθλαση φωτός και ολική ανάκλαση: Εύρεση του δείκτη διάθλασης και της γωνίας ολικής ανάκλασης Μέθοδος Σε σώμα διαφανές ημικυλινδρικού σχήματος είναι εύκολο να επιβεβαιωθεί ο νόμος του Sell και να εφαρμοστεί

Διαβάστε περισσότερα

Ατομικές θεωρίες (πρότυπα)

Ατομικές θεωρίες (πρότυπα) Ατομικές θεωρίες (πρότυπα) 1. Αρχαίοι Έλληνες ατομικοί : η πρώτη θεωρία που διατυπώθηκε παγκοσμίως (καθαρά φιλοσοφική, αφού δεν στηριζόταν σε καμιά πειραματική παρατήρηση). Δημόκριτος (Λεύκιπος, Επίκουρος)

Διαβάστε περισσότερα

ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΕΘΟΔΟΥΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑ:

ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΕΘΟΔΟΥΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑ: ΕΙΣΑΓΩΓΗ ΣΤΙΣ ΜΕΘΟΔΟΥΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑΣ ΧΡΩΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑ: ΜΕΘΟΔΟΙ ΔΙΑΧΩΡΙΣΜΟΥ οργανικών, οργανομεταλλικών και ανόργανων ουσιών. Ο ΔΙΑΧΩΡΙΣΜΟΣ ΕΠΙΤΥΓΧΑΝΕΤΑΙ ΕΞΑΙΤΙΑΣ ΤΩΝ ΔΙΑΦΟΡΩΝ ΣΤΗ ΦΥΣΙΚΟΧΗΜΙΚΗ ΣΥΓΓΕΝΕΙΑ ΤΩΝ

Διαβάστε περισσότερα

ΕΦΕΛΚΥΣΜΟΣ ΚΡΑΜΑΤΩΝ ΜΕ ΜΝΗΜΗΣ ΣΧΗΜΑΤΟΣ

ΕΦΕΛΚΥΣΜΟΣ ΚΡΑΜΑΤΩΝ ΜΕ ΜΝΗΜΗΣ ΣΧΗΜΑΤΟΣ ΕΦΕΛΚΥΣΜΟΣ ΚΡΑΜΑΤΩΝ ΜΕ ΜΝΗΜΗΣ ΣΧΗΜΑΤΟΣ Το φαινόµενο της µνήµης σχήµατος συνδέεται µε τη δυνατότητα συγκεκριµένων υλικών να «θυµούνται» το αρχικό τους σχήµα ακόµα και µετά από εκτεταµένες παραµορφώσεις

Διαβάστε περισσότερα

Πανεπιστήμιο Πατρών Πολυτεχνική σχολή Τμήμα Χημικών Μηχανικών Ακαδημαϊκό Έτος 2007-20082008 Μάθημα: Οικονομία Περιβάλλοντος για Οικονομολόγους Διδάσκων:Σκούρας Δημήτριος ΚΑΤΑΛΥΤΙΚΗ ΑΝΤΙΔΡΑΣΗ ΠΑΡΑΓΩΓΗΣ

Διαβάστε περισσότερα

Άσκηση Η15. Μέτρηση της έντασης του μαγνητικού πεδίου της γής. Γήινο μαγνητικό πεδίο (Γεωμαγνητικό πεδίο)

Άσκηση Η15. Μέτρηση της έντασης του μαγνητικού πεδίου της γής. Γήινο μαγνητικό πεδίο (Γεωμαγνητικό πεδίο) Άσκηση Η15 Μέτρηση της έντασης του μαγνητικού πεδίου της γής Γήινο μαγνητικό πεδίο (Γεωμαγνητικό πεδίο) Το γήινο μαγνητικό πεδίο αποτελείται, ως προς την προέλευσή του, από δύο συνιστώσες, το μόνιμο μαγνητικό

Διαβάστε περισσότερα

Λύσεις: Τελική Εξέταση 28 Αυγούστου 2015

Λύσεις: Τελική Εξέταση 28 Αυγούστου 2015 Φ230: Αστροφυσική Ι Λύσεις: Τελική Εξέταση 28 Αυγούστου 2015 1. Ο Σείριος Α, έχει φαινόμενο οπτικό μέγεθος mv - 1.47 και ακτίνα R1.7𝑅 και αποτελεί το κύριο αστέρι ενός διπλού συστήματος σε απόσταση 8.6

Διαβάστε περισσότερα

Ύλη ένατου µαθήµατος. Οπτικό µικροσκόπιο, Ηλεκτρονική µικροσκοπία σάρωσης, Ηλεκτρονική µικροσκοπία διέλευσης.

Ύλη ένατου µαθήµατος. Οπτικό µικροσκόπιο, Ηλεκτρονική µικροσκοπία σάρωσης, Ηλεκτρονική µικροσκοπία διέλευσης. ιάλεξη 9 η Ύλη ένατου µαθήµατος Οπτικό µικροσκόπιο, Ηλεκτρονική µικροσκοπία σάρωσης, Ηλεκτρονική µικροσκοπία διέλευσης. Μέθοδοι µικροσκοπικής ανάλυσης των υλικών Οπτική µικροσκοπία (Optical microscopy)

Διαβάστε περισσότερα