ΕΛΛΗΝΙΚΗ ΔΗΜΟΚΡΑΤΙΑ ΥΠΟΥΡΓΕΙΟ ΠΑΙΔΕΙΑΣ & ΘΡΗΣΚΕΥΜΑΤΩΝ, ΠΟΛΙΤΙΣΜΟΥ ΚΑΙ ΑΘΛΗΤΙΣΜΟΥ ΓΕΝΙΚΗ ΓΡΑΜΜΑΤΕΙΑ ΕΡΕΥΝΑΣ & ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑΣ ΕΘΝΙΚΟ ΚΕΝΤΡΟ ΕΡΕΥΝΑΣ ΦΥΣΙΚΩΝ ΕΠΙΣΤΗΜΩΝ «ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ» ΤΕΡΜΑ ΠΑΤΡ. ΓΡΗΓΟΡΙΟΥ & ΝΕΑΠΟΛΕΩΣ,153 10 ΑΓ. ΠΑΡΑΣΚΕΥΗ ΑΤΤΙΚΗΣ, ΤΗΛ.: 210 650 3000, FAX: 210 6510649 ΓΡΑΜΜΑΤΕΙΑ ΕΙΔΙΚΟΥ ΛΟΓΑΡΙΑΣΜΟΥ Υπηρεσία : Τμήμα Προμηθειών Αγ. Παρασκευή : 09/04/2013 Πληροφορίες : Μαρία Τζούμα Αρ. Πρωτ. : 015/2013-2904 Τηλέφωνο : (210) 6503257-3046 Fax e-mail : (210) - 6532122 mtzouma@gel.demokritos.gr Α Ν Α Κ Ο Ι Ν Ω Σ Η Π Ρ Ο Χ Ε Ι Ρ Ο Υ Δ Ι Α Γ Ω Ν Ι Σ Μ Ο Υ Η Γραμματεία Ειδικού Λογαριασμού του Εθνικού Κέντρου Έρευνας Φυσικών Επιστημών Δημόκριτος (ΕΚΕΦΕ "Δ") προκηρύσσει πρόχειρο διαγωνισμό με σφραγισμένες προσφορές και με κριτήριο αξιολόγησης την πλέον συμφέρουσα από οικονομική άποψη προσφορά. Ο διαγωνισμός δημοσιεύεται στον Τύπο, αναρτάται στην έδρα της υπηρεσίας και διενεργείται σύμφωνα με την με αριθμό 015/2013-2809/05-04-13 απόφαση της υπηρεσίας, σύμφωνα με την παρούσα και τις γενικές αρχές του δικαίου. Ανακοινώσεις διατίθενται από την επίσημη ιστοσελίδα του ΕΚΕΦΕ «Δ» στο διαδίκτυο στη διεύθυνση www.demokritos.gr καθώς και από το τμήμα προμηθειών. 1. Αντικείμενο έχει την «Προμήθεια ενός ενός ευέλικτου σταθμού ηλεκτρικών μετρήσεων με ακίδες με δυνατότητα μικρο-μετακινήσεων σχεδιασμένο κατάλληλα για το χαρακτηρισμό δισκιδίων (wafers) και διατάξεων σε κρυογενικές συνθήκες υπό κενό του Ινστιτούτου Προηγμένων Υλικών, Φυσικοχημικών Διεργασιών, Νανοτεχνολογίας και Μικροσυστημάτων του ΕΚΕΦΕ «Δημόκριτος». Οι τεχνικές προδιαγραφές επισυνάπτονται στο Παράρτημα Α της παρούσας. 2. Ο προϋπολογισμός ανέρχεται σε Ευρώ πενήντα εννέα χιλιάδες (#59.000,00 #), μη συμπεριλαμβανομένου του Φ.Π.Α 23 %. 1
3. Οι τιμές δίνονται σε ευρώ. Στην προσφορά αναφέρεται χωριστά το ποσοστό του Φ.Π.Α. στο οποίο υπάγεται το αντικείμενο της παρούσας. Σε περίπτωση που αναγράφεται εσφαλμένος Φ.Π.Α., αυτός διορθώνεται από την Επιτροπή Διαγωνισμού. Στην τιμή προσφοράς περιλαμβάνεται και κάθε άλλο κόστος που είναι δυνατό να την επιβαρύνει. Προϊόντα ή υπηρεσίες που τυχόν προσφέρονται δωρεάν, αναγράφονται στην Οικονομική Προσφορά με την ένδειξη "ΧΩΡΙΣ ΚΟΣΤΟΣ" στη στήλη των τιμών. Σε περίπτωση που έχει παραλειφθεί η αναγραφή τιμής και δεν υπάρχει η ένδειξη "ΧΩΡΙΣ ΚΟΣΤΟΣ" θεωρείται ότι τα προϊόντα ή οι υπηρεσίες έχουν προσφερθεί δωρεάν. Προσφορές που δεν δίνουν τιμές σε ευρώ ή που καθορίζουν σχέση ευρώ προς ξένο νόμισμα απορρίπτονται ως απαράδεκτες. Οι τιμές αναγράφονται αριθμητικά και ολογράφως. Μεταξύ των δύο υπερισχύει η τιμή που αναγράφεται αριθμητικά. 4. Η τιμή προσφοράς είναι δεσμευτική για τον προμηθευτή μέχρι την οριστική παραλαβή του αντικειμένου. Η τιμή προσφοράς αφορά το συνολικό αντικείμενο της παρούσας. Δεν γίνονται δεκτές προσφορές για μέρος της δημοπρατούμενης σύμβασης. Δεν γίνονται δεκτές εναλλακτικές προσφορές. 5. Οι προσφορές παραδίδονται ή αποστέλλονται σφραγισμένες μέχρι την Τρίτη 23/04/2013, ώρα 15:00, στην διεύθυνση: ΕΚΕΦΕ «Δ» / ΓΕΛ / Τμήμα Προμηθειών - Τέρμα Πατριάρχου Γρηγορίου & Νεαπόλεως, 153 10 Αγ. Παρασκευή Αττικής. Ο διαγωνισμός διενεργείται την Τετάρτη 24/04/2013, ώρα 12:00, στην ως άνω διεύθυνση, στο Διοικητήριο του ΕΚΕΦΕ Δημόκριτος - Αίθουσα Συνεδριάσεων. Η υπηρεσία δεν αναλαμβάνει καμία ευθύνη για τυχόν καθυστερημένη, από οποιαδήποτε αιτία, άφιξη των προσφορών που αποστέλλονται με τον ως άνω τρόπο. Προσφορές που είτε υποβλήθηκαν μετά την καθορισμένη ημερομηνία, είτε δεν έφθασαν έγκαιρα στην υπηρεσία επιστρέφονται στους προσφέροντες χωρίς να αποσφραγισθούν. 6. Οι προσφορές ισχύουν και δεσμεύουν τους διαγωνιζόμενους εκατόν είκοσι (120) ημέρες από την επόμενη της διενέργειας του διαγωνισμού. 7. Ο ανάδοχος προσκομίζει εγγύηση καλής εκτέλεσης των όρων της σύμβασης, προ ή κατά την ημέρα της υπογραφής της σύμβασης. Η εγγύηση αντιστοιχεί σε ποσοστό 10% της συνολικής συμβατικής αξίας, χωρίς Φ.Π.Α. Η εγγύηση περιλαμβάνει υποχρεωτικά ημερομηνία έκδοσης, εκδότη, την υπηρεσία στην οποία απευθύνεται, τον αριθμό της, το ποσό που καλύπτει, την πλήρη επωνυμία και διεύθυνση του προμηθευτή υπέρ του οποίου εκδίδεται, τον αριθμό της σχετικής σύμβασης και τα προς προμήθεια υλικά και την ημερομηνία λήξης της ισχύος της. Ο χρόνος ισχύος της εγγύησης πρέπει να είναι μεγαλύτερος από τον συμβατικό χρόνο φόρτωσης ή παράδοσης κατά δύο (2) μήνες. Η εγγύηση περιλαμβάνει επίσης τον όρο ότι παρέχεται ανέκκλητα και ανεπιφύλακτα, ο δε εκδότης παραιτείται της ένστασης διζήσεως, τον όρο ότι το ποσό της εγγύησης τηρείται στην διάθεση της υπηρεσίας που διενεργεί τον διαγωνισμό και θα καταβληθεί, ολικά ή μερικά, μέσα σε τρεις (3) ημέρες μετά από απλή έγγραφη ειδοποίηση, τον όρο ότι σε περίπτωση κατάπτωσης της εγγύησης, το ποσό της 2
κατάπτωσης υπόκειται σε πάγιο τέλος χαρτοσήμου, τον όρο ότι ο εκδότης της εγγύησης υποχρεούται να προβεί σε παράταση ισχύος αυτής ύστερα από έγγραφο της υπηρεσίας που θα υποβληθεί πριν από την ημερομηνία λήξης της εγγύησης. Η εγγύηση καλής εκτέλεσης εκδίδεται από πιστωτικά ιδρύματα ή άλλα νομικά πρόσωπα που λειτουργούν νόμιμα στα κράτη μέλη της Ευρωπαϊκής Ένωσης ή του Ε.Ο.Χ. και έχουν το δικαίωμα αυτό. Η εγγυητική επιστολή καλής εκτέλεσης παραμένει στην Γραμματεία της ΓΕΛ και επιστρέφεται μετά την οριστική (ποιοτική και ποσοτική) παραλαβή του αντικειμένου της σύμβασης. 8. Η κατακύρωση του διαγωνισμού γίνεται από τη Γραμματεία Ειδικού Λογαριασμού (ΓΕΛ) του ΕΚΕΦΕ «Δ» σε έναν ανάδοχο για το σύνολο του έργου. Ανακοινώνεται εγγράφως σε όσους υπέβαλαν αποδεκτές προσφορές και στον ανακηρυχθέντα ως ανάδοχο. Μετά την άπρακτη πάροδο της προθεσμίας των ενστάσεων ή την ανεπιτυχή έκβαση αυτών, ο ανάδοχος υποχρεούται να προσέλθει μέσα σε δέκα (10) ημερολογιακές ημέρες από την λήψη σχετικής ειδοποίησης εκ μέρους της ΓΕΛ για την υπογραφή της σύμβασης, προσκομίζοντας την εγγυητική επιστολή καλής εκτέλεσης. 9. Ο χρόνος παράδοσης ορίζεται σε τέσσερις (4) μήνες από την ημερομηνία υπογραφής της σύμβασης. Σε αντικειμενικά δικαιολογημένες περιπτώσεις μπορεί να παραταθεί το ανώτερο μέχρι το ¼ αυτού. Σε περίπτωση που ο συμβατικός χρόνος παράδοσης δεν υπερβαίνει τις 30 ημερολογιακές ημέρες μπορεί να παραταθεί μέχρι το ½ αυτού. Μετά την λήξη του συμβατικού χρόνου ή / και της τυχόν παράτασης αυτού, ο προμηθευτής κηρύσσεται έκπτωτος. 10. Ο προμηθευτής που δεν προσέρχεται μέσα στην ορισθείσα προθεσμία για να υπογράψει την σύμβαση κηρύσσεται υποχρεωτικά έκπτωτος από την κατακύρωση που έγινε στο όνομα του και από κάθε δικαίωμα σε αυτήν με απόφαση του ΕΚΕΦΕ «Δ». Με την ίδια διαδικασία ο προμηθευτής κηρύσσεται υποχρεωτικά έκπτωτος από την σύμβαση και από κάθε δικαίωμά του που απορρέει από αυτή, εφόσον δεν εκπληρώσει τις συμβατικές του υποχρεώσεις. Ο προμηθευτής δεν κηρύσσεται έκπτωτος από την κατακύρωση ή τη σύμβαση όταν η μη έγκαιρη υπογραφή της σύμβασης ή η μη εκπλήρωση των συμβατικών υποχρεώσεων οφείλεται σε υπαιτιότητα του ΕΚΕΦΕ «Δ» ή σε λόγους ανωτέρας βίας, η απόδειξη των οποίων βαρύνει αποκλειστικά τον προμηθευτή. Εν προκειμένω εφαρμόζονται αναλογικά οι διατάξεις του άρθρου 34 του πδ 118/07. 11. Η πληρωμή του συμβατικού τιμήματος θα γίνει με καταβολή 100% του συμβατικού τιμήματος μετά την οριστική (ποιοτική και ποσοτική) παραλαβή του έργου. 12. Όλες οι πληρωμές γίνονται σε ευρώ με την προσκόμιση των δικαιολογητικών του άρθρου 35 του πδ 118/07 και σε χρόνο προσδιορισμένο από την αναγκαία διοικητική διαδικασία για έκδοση των σχετικών χρηματικών ενταλμάτων. 13. Ενστάσεις υποβάλλονται για τους λόγους και σύμφωνα με τη διαδικασία που προβλέπεται στο άρθρο 15 του πδ 118/07. Για το παραδεκτό της άσκησης ένστασης 3
απαιτείται η καταβολή παραβόλου υπέρ του Δημοσίου το ύψος του οποίου ανέρχεται στα χίλια ευρώ (1.000,00 ). 14. Οι προσφορές τοποθετούνται υποχρεωτικά σε ενιαίο σφραγισμένο φάκελο με δυο (2) χωριστούς, σφραγισμένους υποφακέλους. Ο ένας φάκελος περιέχει την τεχνική προσφορά και ο άλλος την οικονομική προσφορά. Οι προσφορές είναι δακτυλογραφημένες και υποχρεωτικά στην ελληνική γλώσσα με εξαίρεση τους τεχνικούς όρους που είναι δυνατό να αναφέρονται και στην αγγλική γλώσσα, ή εφόσον αυτοί δεν μπορούν να αποδοθούν στην ελληνική, μόνο στην αγγλική γλώσσα. Τα εγχειρίδια που συνοδεύουν την προσφορά μπορούν να υποβάλλονται μόνον στην ελληνική ή μόνο στην αγγλική γλώσσα. Τεχνικές και Οικονομικές προσφορές τοποθετημένες στον ίδιο φάκελο απορρίπτονται ως απαράδεκτες. 15. Στον κάθε φάκελο προσφοράς αναγράφονται ευκρινώς, με κεφαλαία γράμματα «ΤΕΧΝΙΚΗ ΠΡΟΣΦΟΡΑ» (για τις τεχνικές προσφορές) και «ΟΙΚΟΝΟΜΙΚΗ ΠΡΟΣΦΟΡΑ» (για τις οικονομικές προσφορές). Και στους δυο φακέλους αναγράφονται επίσης (α) τα πλήρη στοιχεία του προσφέροντα, (β) ο πλήρης τίτλος της υπηρεσίας διενέργειας του διαγωνισμού και (γ) ο πλήρης τίτλος και αριθμός της παρούσας ανακοίνωσης. 16. Οι προσφορές συντάσσονται με τον τρόπο, την τάξη και την αρίθμηση που καθορίζονται στο ΠΑΡΑΡΤΗΜΑ Α της παρούσας. Φέρουν δε την υπογραφή του προσφέροντα ή του νομίμου εκπροσώπου του σε κάθε σελίδα τους. 17. Η Επιτροπή Διαγωνισμού κατά τη διάρκεια της τεχνικής αξιολόγησης και εφόσον παραστεί ανάγκη μπορεί να καλέσει τους προσφέροντες να συμπληρώσουν ή να διευκρινίσουν υποβληθέντα από αυτούς στοιχεία. Σε ανάλογη περίπτωση οι προσφέροντες υποχρεούνται στην παροχή ανάλογων συμπληρώσεων ή διευκρινήσεων. 18. Κριτήριο ανάθεσης της σύμβασης είναι η πλέον συμφέρουσα από οικονομική άποψη προσφορά. Τα επιμέρους κριτήρια ανάθεσης που συνθέτουν την πλέον συμφέρουσα από οικονομική άποψη προσφορά είναι όσα αναλυτικά περιγράφονται στο συνημμένο πίνακα τεχνικών προδιαγραφών. 19. Τα επιμέρους κριτήρια αξιολόγησης βαθμολογούνται αυτόνομα με βάση τους 100 βαθμούς. Σε περίπτωση που υπάρχει απόλυτη συμφωνία με τις τεχνικές προδιαγραφές της διακήρυξης η τεχνική προσφορά γίνεται αποδεκτή και βαθμολογείται αυτόνομα με βάση τους 100 βαθμούς. Σε περίπτωση που υπάρχει υπερκάλυψη των απαιτούμενων από την διακήρυξη τεχνικών προδιαγραφών, η τεχνική προσφορά γίνεται αποδεκτή και βαθμολογείται αυτόνομα μέχρι 110 βαθμούς. Σε περίπτωση που δεν υπάρχει συμφωνία με τις απαιτούμενες από την διακήρυξη τεχνικές προδιαγραφές (αποκλίσεις), η τεχνική προσφορά απορρίπτεται. Απορρίπτονται ως απαράδεκτες οι προσφορές που κατά την κρίση της Επιτροπής: είτε είναι αόριστες ή ανεπίδεκτες εκτίμησης ή είναι υπό αίρεση, είτε παρουσιάζουν ανεπιτυχή ή ελλιπή αποτελέσματα σε ενδεχόμενες δοκιμές επίδοσης και επίδειξης. 4
20. Για την διαμόρφωση της συγκριτικής τιμής των προσφορών λαμβάνεται υπόψη η τιμή της προσφοράς. Πλέον συμφέρουσα από οικονομική άποψη προσφορά είναι εκείνη η προσφορά που παρουσιάζει τον μικρότερο λόγο της τιμής προσφοράς (συγκριτικής) προς την τεχνική της βαθμολογία. Σε περίπτωση που υπάρξουν ισότιμες ή ισοδύναμες προσφορές, ως προσωρινός ανάδοχος επιλέγεται ο μειοδότης που προκύπτει κατόπιν διαπραγμάτευσης, αφού κληθούν όλοι οι προσφέροντες που είχαν ισότιμες ή ισοδύναμες προσφορές. 21. Μετά την ολοκλήρωση της αξιολόγησης, η Επιτροπή κατατάσσει τις προσφορές σε συγκριτικό πίνακα, κατά αύξουσα σειρά μικρότερου λόγου Λ, όπου Λ= Κ/Β, όπου: Κ = η τιμή προσφοράς (τιμή και ενδεχομένως κόστος εγκατάστασης, λειτουργίας και συντήρησης χωρίς ΦΠΑ) Β = (βi*σi) όπου: Β η συνολική σταθμισμένη βαθμολογία της Τεχνικής Αξιολόγησης. βi η βαθμολογία των κριτηρίων αξιολόγησης σε κλίμακα 100-110. σi οι συντελεστές βαρύτητας των κριτηρίων Επικρατέστερη είναι η προσφορά με το μικρότερο Λ. 22. Η αποσφράγιση των προσφορών που έχουν έγκαιρα υποβληθεί ή αποσταλεί και παραληφθεί, γίνεται από την Επιτροπή Διαγωνισμού δημόσια, παρουσία των προσφερόντων ή των νομίμως εξουσιοδοτημένων εκπροσώπων τους. Η Επιτροπή προβαίνει στην έναρξη της διαδικασίας αποσφράγισης των προσφορών την ημερομηνία και ώρα που ορίζεται στο άρθρο 5 της παρούσας. Προσφορές που υποβάλλονται στην Επιτροπή μετά την έναρξη της διαδικασίας αποσφράγισης δεν αποσφραγίζονται, αλλά παραδίδονται στην υπηρεσία για επιστροφή ως εκπρόθεσμες. 23. Η αποσφράγιση κάθε προσφοράς γίνεται με την παρακάτω διαδικασία. Αποσφραγίζεται πρώτα ο φάκελος της τεχνικής προσφοράς. Όλα τα δικαιολογητικά / στοιχεία που περιέχει, εκτός από τα prospectus, μονογράφονται και σφραγίζονται από την Επιτροπή κατά φύλλο. Ο φάκελος της οικονομικής προσφοράς δεν αποσφραγίζεται, αλλά μονογράφεται από την Επιτροπή. Η Επιτροπή ελέγχει το περιεχόμενο των τεχνικών προσφορών, προκειμένου να διαπιστώσει εάν ικανοποιούν τους όρους της παρούσας. Καταχωρεί σε πρακτικό τις προσφορές που χαρακτηρίζει τυχόν απορριπτέες, αναλύοντας, για κάθε μία από αυτές, τους ακριβείς λόγους απόρριψης. Προχωρεί στη βαθμολόγηση των τεχνικών όρων των αποδεκτών προσφορών, σύμφωνα με τα κριτήρια αξιολόγησης που περιγράφονται ανωτέρω. Μετά την ολοκλήρωση της βαθμολόγησης καταρτίζει σχετικό πρακτικό. Η αποσφράγιση των οικονομικών προσφορών πραγματοποιείται σε εκ νέου συνεδρίαση της επιτροπής αξιολόγησης. Οι φάκελοι οικονομικών προσφορών για όσες προσφορές δεν κρίθηκαν τεχνικά αποδεκτές κατά το προηγούμενο στάδιο δεν 5
αποσφραγίζονται, αλλά επιστρέφονται στους προσφέροντες μετά την άπρακτη πάροδο της προθεσμίας ενστάσεων-προσφυγών ή την δήλωση παραίτησής τους από την άσκηση ανάλογων μέσων. Η Επιτροπή ελέγχει το περιεχόμενο των οικονομικών προσφορών, προκειμένου να διαπιστώσει εάν ικανοποιούν τους όρους της παρούσας και καταχωρεί σε σχετικό πρακτικό της τυχόν προσφορές που χαρακτηρίζει απορριπτέες, αναλύοντας για κάθε μία από αυτές τους ακριβείς λόγους απόρριψης. Χαρακτηρίζει ως υπερβολικά χαμηλές τις προσφορές που είναι μικρότερες του 85% της διαμέσου του συγκριτικού κόστους των αποδεκτών οικονομικών προσφορών. Σε ανάλογη περίπτωση ζητά από τον προσφέροντα έγγραφη αιτιολόγηση της ανάλυσης της οικονομικής της προσφοράς. Εάν και μετά την παροχή της ανωτέρω αιτιολόγησης οι προσφερόμενες τιμές κριθούν ως υπερβολικά χαμηλές, η προσφορά απορρίπτεται Η Επιτροπή προχωρά εν συνεχεία στην κατάταξη των αποδεκτών οικονομικών προσφορών. Διαβιβάζει το πρακτικό της στην υπηρεσία, εισηγούμενη και τον ανάδοχο της δημοπρατούμενης σύμβασης. Η απόφαση της αναθέτουσας αρχής κοινοποιείται στους διαγωνιζόμενους με φαξ, ώστε να ασκήσουν τυχόν τις προβλεπόμενες ενστάσεις. 24. Η Γραμματεία Ειδικού Λογαριασμού του ΕΚΕΦΕ «Δ» έχει το δικαίωμα είτε να κατακυρώσει την σύμβαση, είτε να κρίνει το αποτέλεσμα ασύμφορο και να επαναλάβει το διαγωνισμό με ίδιους ή άλλους όρους, είτε να ματαιώσει το διαγωνισμό. Από αυτές τις ενέργειες δεν προκύπτει δικαίωμα ή κάποια αξίωση σε αυτούς που έλαβαν μέρος στον διαγωνισμό. 25. Σε περίπτωση και μόνο που οι διατάξεις της παρούσας δημιουργούν νομοθετικό κενό εφαρμόζονται αναλογικά οι διατάξεις του πδ 118/07. 6
ΠΑΡΑΡΤΗΜΑ Α ΤΕΧΝΙΚΕΣ ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ Α. Τεχνικά χαρακτηριστικά του κρυογενικού σταθμού ακίδων με δυνατότητα μικρο-μετακινήσεων Ο σταθμός ηλεκτρικών μετρήσεων με ακίδες θα πρέπει να αποτελείται από τα ακόλουθα εξαρτήματα: 1. Ηλεκτρικά μονωμένο υποδοχέα δείγματος διαμέτρου 2 ιντσών. 2. Τέσσερεις θέσεις με βραχίονες στήριξης των ακίδων με δυνατότητα μικρομετατόπισης στις 3 διαστάσεις. Οι ακίδες πρέπει να καλύπτουν μια επιφάνεια 2 ίντσες 2 ίντσες. Το σύστημα πρέπει να είναι εξοπλισμένο με 2 επιπλέον θέσεις για πιθανή μελλοντική αναβάθμιση. 3. 2 χαμηλής συχνότητας (από DC μέχρι 20 MHz) ακίδες με κρυογενικά ομοαξονικά καλώδια και 2 χαμηλής συχνότητας (από DC μέχρι 20 MHz) ακίδες με κρυογενικά τριαξονικά καλώδια για μετρήσεις ρευμάτων μικρής εντάσεως. 4. Ο σταθμός ακίδων πρέπει να παρέχει αποτελεσματική λειτουργία και έλεγχο της θερμοκρασίας με ένα συνεχές σύστημα ψύξης χρησιμοποιώντας είτε ήλιο είτε άζωτο. Ένας αυτόματος ελεγκτής θερμοκρασίας πρέπει να χρησιμοποιηθεί για τη ρύθμιση και την παρακολούθηση της θερμοκρασίας του δείγματος εντός του φάσματος θερμοκρασίας λειτουργίας των 4 Κ - 475 Κ. 5. Ηλεκτρομαγνήτη ή μόνιμους μαγνήτες για τη δημιουργία κατακόρυφων μαγνητικών πεδίων μέχρι 2000 Gauss. 6. Σύστημα άντλησης κενού (~ 10-5 10-6 mbar) με τη χρήση τουρμπο-μοριακής αντλίας. Το σύστημα κενού εξασφαλίζει ότι δεν θα συσσωρεύονται συμπυκνώματα στο περιβάλλον του δείγματος κατά τη διάρκεια της ψύξης. 7. Σύστημα απορρόφησης κραδασμών μεταξύ της αντλίας και του σταθμού ακίδων. 8. Αντικραδασμικό πνευματικό τραπέζι μαζί με φορητό συμπιεστή αέρος. 9. Δοχείο υγρού αζώτου (dewar) με εξαρτήματα και προσαρμογείς για την ένωση του με τη γραμμή μεταφοράς. 10. Οπτικό σύστημα με διακριτική ικανότητα 5 μm το οποίο θα περιλαμβάνει βάση στήριξης, κάμερα CCD και οθόνη LCD. Προαιρετικά εξαρτήματα του σταθμού ακίδων: 1. Σύστημα ταχείας εναλλαγής του δείγματος το οποίο θα επιτρέπει την αλλαγή του δείγματος σε χρόνο μικρότερο της μιας ώρας. Β. Γενικά 1. Η λειτουργία του κρυογενικού σταθμού ακίδων θα πρέπει να είναι σύμφωνη με τους διεθνείς κανόνες ασφαλείας. 2. Όλα τα εξαρτήματα θα πρέπει να προσφερθούν μαζί με τα απαραίτητα συνοδευτικά (καλώδια, τροφοδοτικά κ.α), μονάδες ελέγχου και λογισμικό (εάν είναι απαραίτητο), ώστε να είναι πλήρως λειτουργικά. 7
3. Όλα τα εξαρτήματα θα πρέπει να παραδοθούν με γραπτή εγγύηση, καινούργια και αχρησιμοποίητα. ΠΙΝΑΚΑΣ ΣΥΜΜΟΡΦΩΣΗΣ Προδιαγραφές του κρυογενικού σταθμού ακίδων Α. Τεχνικές προδιαγραφές του κρυογενικού σταθμού ακίδων Weight factor (%) 1. Βασικός εξοπλισμός (κρυογενικός σταθμός ηλεκτρικών μετρήσεων με ακίδες με δυνατότητα μικρο-μετακινήσεων) 50 1.1. Κρυοστάτης ροής με θάλαμο κενού, υποδοχέα δείγματος και σύστημα προστασίας απώλειας θερμότητας μέσω ακτινοβολίας. 1.2. Μέγεθος και τύπος υποδοχέα δείγματος: ηλεκτρικά μονωμένος υποδοχέας δείγματος διαμέτρου 2 ιντσών 1.3. Απαιτούμενο εύρος μετακίνησης της ακίδας: να καλύπτει μια επιφάνεια 2 ίντσες 2 ίντσες 1.4. Τέσσερεις (4) ενσωματωμένες θέσεις με βάσεις στήριξης των ακίδων και δυνατότητα μετατόπισης στις 3 διαστάσεις. 1.5. Αριμός πρόσθετων διαθέσιμων θέσεων για πιθανή μελλοντική αναβάθμιση: 2 1.6. Τύπος και αριθμός των απαιτούμενων ακίδων: - 2 χαμηλής συχνότητας με κρυογενικά ομοαξονικά καλώδια - 2 χαμηλής συχνότητας με κρυογενικά τριαξονικά καλώδια για μετρήσεις ρευμάτων μικρής εντάσεως. 1.7. Μέθοδος ψύξης και θερμοκρασιακό εύρος: - Ψύξη ανοικτού κύκλου με τη χρήση υγρού ηλίου και υγρού αζώτου. - 4 K 475 K 1.8. Υψηλής απόδοσης γραμμή μεταφοράς υγρού ηλίου 2. Πρόσθετα απαραίτητα εξαρτήματα 30 2.1. Σύστημα άντλησης κενού (~ 10-5 10-6 mbar) με τη χρήση τουρμπομοριακής αντλίας. 2.2. Ηλεκτρομαγνήτης ή μόνιμοι μαγνήτες για τη δημιουργία κατακόρυφων μαγνητικών πεδίων μέχρι 2000 Gauss. 2.3. Οπτικά εξαρτήματα: Οπτικό σύστημα με διακριτική ικανότητα 5 μm το οποίο θα περιλαμβάνει βάση στήριξης, κάμερα CCD και οθόνη LCD 2.4. Αντικραδασμιακό σύστημα: - Σύστημα απορρόφησης κραδασμών μεταξύ της αντλίας και του σταθμού ακίδων - Αντικραδασμικό πνευματικό τραπέζι μαζί με φορητό συμπιεστή αέρος 2.5. Δοχείο υγρού αζώτου (dewar) με εξαρτήματα και προσαρμογείς για την ένωση του με τη γραμμή μεταφοράς 2.6. Σύστημα θέρμανσης του δείγματος με αυτόματο ελεγκτή της θερμοκρασίας 3. Προαιρετικά εξαρτήματα 20 Σύστημα ταχείας εναλλαγής του δείγματος το οποίο θα επιτρέπει την αλλαγή του δείγματος σε χρόνο μικρότερο της μιας ώρας. 8
Α. Technical specifications of the cryogenic micro-manipulated probe station The probe station should have the following technical characteristics: 11. 2 inch electrically isolated sample chuck. 12. Four micro manipulated stages with probe support arms, each providing precise 3-axis control of the probe position to accurately land the probe tip on device features. The probes must be able to cover a 2 inch 2 inch area. The system must be equipped with 2 additional ports for possible future upgrade. 13. 2 low frequency (DC to 20 MHz) probes with cryogenic coaxial cable and 2 low frequency (DC to 20 MHz) probes with cryogenic triaxial cable for low current measurements. 14. The probe station has to provide efficient temperature operation and control with a continuous refrigeration system using either helium or nitrogen. An automatic temperature controller must be used to regulate and monitor the sample temperature within the broad operating temperature range of 4 K 475 K. 15. Vertical magnetic fields up to 2000 Gauss, either by permanent magnets or by electromagnet. 16. Regular vacuum (~ 10-5 10-6 mbar) turbo molecular pumping station. This pumping station ensures that condensation does not accumulate in the sample environment during cooldown. 17. Pump line vibration isolator between the pump and the probe station. 18. Pneumatic vibration isolation table along with a portable air compressor. 19. Liquid nitrogen dewar with fittings and adaptors to accept transfer line. 20. Microscope color system with 5 μm resolution including swing arms, CCD camera and LCD monitor. Optional Items for Probe Station: Quick sample changing option allowing to change the samples within < 1 hour. B. General 1. The operation of all the components and the cryogenic micro-manipulated probe station should meet the demands of the international safety laws. 2. All the components must be accompanied with their necessary accessories and control units (power supplies, cables) and the corresponding software (if applicable) in order to be fully operational 3. The components should be delivered with a written guarantee, new and unused. CONFORMATION TABLE Specifications of the cryogenic micro-manipulated probe station Α. Technical specifications of the cryogenic micro-manipulated Weight 9
probe station 2. Standard equipment (micro-manipulated cryogenic probe system) factor (%) 50 2.1. Low vibration flow cryostat with vacuum chamber, sample chuck and cooled radiation shield. 2.2. Size and type of sample chuck: 2 inch electrically isolated chuck 2.3. Probing needed: to cover 2 inch 2 inch area 1.4. 4 integrated X-Y-Z probe station stages with probe support arms, cooled probe holders and low frequency probes. 1.5. Number of additional ports for possible future upgrade with more probe arms: 2 1.6. Type and number of probes needed: - 2 low frequency with cryogenic coaxial cable - 2 low frequency with cryogenic triaxial cable for low current measurements 1.7. Cooling method and temperature range: - Open cycle with liquid helium and liquid nitrogen - 4 K 475 K 1.8. High efficiency liquid helium transfer line 2. Additional necessary components and accessories 30 1. 2.1. Vacuum pumping station required: Regular vacuum (~ 10-5 10-6 mbar) turbo molecular pumping station. 2. 2.2. Magnetic field required: vertical field up to 2000 Gauss either by permanent magnets or by electromagnet. 3. 2.3. Optics: Microscope with 5 μm optical resolution including CCD camera, LCD monitor and travel stages. 2.4. Vibration isolation system: - Pump line vibration isolator between the pump and the probe station 4. - Vibration isolation table along with a portable air compressor 2.5. Liquid nitrogen dewar with fittings and adaptors to accept transfer line. 2.6. Cartridge heater with automatic temperature controller 3. Optional components 20 5. Quick sample changing option allowing to change the samples within < 1 hour. Ο ΠΡΟΕΔΡΟΣ Δ.Σ ΚΑΙ Δ/ΝΤΗΣ ΤΟΥ ΕΚΕΦΕ Δ Δρ. Ν. Κανελλόπουλος 10