Materiály pro vakuové aparatury nízká tenze par malá desorpce plynu tepelná odolnost (odplyňování) mechanické vlastnosti způsoby opracování a spojování elektrické a chemické vlastnosti Vakuová fyzika 2 1 / 44
1 1 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 2 / 44
2 2 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 3 / 44
3 3 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 4 / 44
4 4 firemní mat. Pfeiffer Vakuová fyzika 2 5 / 44
Pevnost 5 5 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 6 / 44
Válec, D 1 D = 25 cm, T = 20 C h[mm] h 1 [mm] δ[mm] Cu 3 5 0,33 Al 3,6 6,76 0,12 nerezová ocel 2,4 2,81 0,93 tvrdé sklo 3,6 15,6 0,13 teflon 20,8 17,9 1,88 Vakuová fyzika 2 7 / 44
Sklo nízká tenze par malá desorpce plynu křehké elektrický izolant chemicky odolné svařovaní a tvarování za tepla vznik pnutí - temperování Vakuová fyzika 2 8 / 44
sklotvorné složky SiO 2, B 2 O 3, P 2 O 5 Na 2 O, CaO - snižuje tavící teplotu Al 2 O 3, ZnO 2 - zvyšuje chemickou netečnost K 2 O BaO PbO MgO Vakuová fyzika 2 9 / 44
6 6 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 10 / 44
7 7 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 11 / 44
8 8 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 12 / 44
9 9 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 13 / 44
10 10 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 14 / 44
Vakuová fyzika 2 15 / 44
12 12 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 16 / 44
13 13 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 17 / 44
Skla Corning 14 14 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 18 / 44
15 15 firemní mat. Caburn Vakuová fyzika 2 19 / 44
16 16 firemní mat. Caburn Vakuová fyzika 2 20 / 44
17 17 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 21 / 44
18 18 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 22 / 44
Použití: osvětlovací technika manometry elektrické průchodky obrazovky okénka do reaktorů elektronky speciální kalibrační lampy... Vakuová fyzika 2 23 / 44
Keramika nízká tenze par malá desorpce plynu velká pevnost elektrický izolant chemická odolnost velká tepelná odolnost (vyšší teplota pro odplynění) žádné pnutí změna rozměrů při výrobě Vakuová fyzika 2 24 / 44
Složení: Al 2 O 3 - max teplota ve vakuu 1800 C MgO - max teplota ve vakuu 1600 C ZrO 2 - max teplota ve vakuu 1700 C BeO - max teplota ve vakuu 2000 C ThO 2 - max teplota ve vakuu > 2300 C Vakuová fyzika 2 25 / 44
19 19 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 26 / 44
20 20 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 27 / 44
21 21 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 28 / 44
22 22 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 29 / 44
23 23 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 30 / 44
24 24 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 31 / 44
25 25 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 32 / 44
26 26 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 33 / 44
27 27 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 34 / 44
28 28 firemní mat. Caburn Vakuová fyzika 2 35 / 44
29 29 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 36 / 44
30 30 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 37 / 44
Použití elektrické průchodky elektrické izolátory topné systémy kaĺıšky pro depozici tenkých vrstev -Al 2 O 3 - Al, Bi, Ge, In, Ni... Vakuová fyzika 2 38 / 44
31 31 W. Espe: Technologia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 39 / 44
Sklokeramika polykrystalický materiál, začátky 1968 malá tepelná roztažnost, menší než u křemene vysoká homogenita tvrdost podobna jako borokřemičité sklo, dobře se leští dobrá adheze vrstev malá propustnost pro He neporézní dobrá chemická odolnost výroba sklokeramických desek pro vařiče výroba zrcadel pro dalekohledy, Keck I a II (10 m), VLT (8.2 m)... Vakuová fyzika 2 40 / 44
32 32 W.H.Kohl: Handbook of materials and techniques for vacuum devices, AIP Press 1995 Vakuová fyzika 2 41 / 44
33 1995 33 W.H.Kohl: Handbook of materials and techniques for vacuum devices, AIP Press Vakuová fyzika 2 42 / 44
materiál obsah SiO 2 [%] [K 1 ]x10 7 [ C] fused silica 99,5 5,5 0-300 silica glass 96 8 0-300 borosilicate glass 65,8 51 0-300 aluminosilicate glass 56,5 45 0-300 Zerodur Schott 0,5 ± 1 20-300 Zerodur - extreme Schott 0± 0,07 0-50 Vakuová fyzika 2 43 / 44
34 34 en.wikipedia.org Vakuova fyzika 2 44 / 44