MTLIGA PLANUL NAŢIONAL PENTRU CERCETARE DEZVOLTARE ŞI INOVARE CAPACITATI 58/cp / I / 12.09.2007 Denumire proiect: Laborator destinat procesării microstructurilor mecanice prin tehnologie LIGA Autoritatea Contractanta: Autoritatea Naţionala pentru Cercetare Ştiinţifică Contractor: INCDIE ICPE-CA Director de Proiect: Ing. Cristinel ILIE Perioada de derulare a proiectului: sept 2007-sept 2009 Acronimul Proiectului: MTLIGA Valoare Proiect: 1 905 500 lei Coordonator Proiect: INCDIE-ICPE-CA Obiectivul general al proiectului: realizarea unui laborator performant capabil să execute microprelucrări prin tehnica LIGA. Schema de realizare a proiectului: Etapa I Etapa II Etapa III 1. Studiu privind procesarea microstrucrurilor mecanice prin tehnologie LIGA 1.a Studiu privind categoriile de aplicatii ce pot fi abordate avand la dispozitie noile tehnologii LIGA si achizitiile necesare 1.b Studiu comparativ tehnico-economic privind achizitia utilajului destinat microprelucrarilor de mare precizie 1.c Proiect laborator LIGA, inclusiv necesarul de personal angajat pentru intretinere echipamente 2. Achizitii echipament pentru microprelucrari de mare precizie 1. Achizite masina indepartat rezist 2. Achizitii de echipamente destiate depunerilor galvanice 3. Achizitii de hardware si software pentru C-D, achizitii de aparate de masura si control, achizitie masina microbobinat pentru aplicatii in MEMS si NEMS 1. Amenajare laborator (achiziţie bancuri de probă şi de lucru, bancuri suport echipamente, carucioare de scule, fişete pentru consumabile industriale etc.)
Impactul economic/ social Reducerea costurilor la societăţile care desfăşoară contracte de cercetaredezvoltare în domeniul micro şi nanotehnologiilor şi la agenţii economici implicaţi în domeniu (care au la dispoziţie în ţară un laborator dotat corespunzaror) Creşterea capacităţii proprii de cercetare-dezvoltare prin serviciile pe care le oferim către mediul industrial Creşterea nivelului de instruire al personalului Creşterea nivelului de satisfacţie al clienţilor utilizatori prin accesul în ţară la tehnologii de vârf. Evitarea importului de echipamente pentru executia microstructurilor mecanice: un agent economic interesat va realiza matriţa în laboratorul nostru, el optând doar pentru echipamente necesare dezvoltarii producţiei de serie Creerea de oportunităţi pentru participarea şi instruirea practică a studenţilor în laborator Creerea de oportunităţi privind colaborările internationale Principalele dotări realizate în cadrul proiectului Sistem de litografiere cu laser DWL 66FS - lungime de unda 375 nm - putere 18 mw - latime minima de sciere 1µm
Maşina de indepartat fotorezist tip SU8 - STP 2020 R3T - Dimensiuni de gabarit: 760 x 850 x 2030 - Greutate : aprox. 400 kg. - Tensiune alimentare : 380 V / 32 A 50Hz - Putere : 4,5 kva ( fara pompa) - Putere microunde : pana la 2000 Watt cont. (4000 Watt la Varf)@ 2,54GHz - Gaze de proces a) reactive : CF4, SF6, NF3, O2, H2 b) inerte : N2, Ar, He Sursa 2x30V, 1x5V Hameg HM8143 Acurateţe ± 0.2 % ± 1 digit Stabilitate < 300 ppm / C Stabilitate la variaţia sarcinii < 0.03 % la 15V / 1A Stabilitate la variaţia reţelei < 1mV/V MIXER MECANIC HEIDOLPH - model RZR 2041 Cuplu maxim 520 Ncm Vascozitate maxima 100.000 mpa s Intervale de viteza 40-400 şi 200-2.000 rpm
Multimetru Fluke 8846A Acuratete tensiuni CC 0,0024% + 0,0005 % Acuratete curenţi CC 0,050% + 0,005% Acuratete rezistenţe 0,010% + 0,001% Nisa chimica GS 1200 - Automatic VAV (Variable Air Volume Control ) - asigura ajustarea si reglarea automata a vitezei ventilatoarelor la variatia sectiunii ferestrei de lucru, asigurand o viteza constanta de 0.3-0.5 m/s si afisarea acesteia - alarma optica si acustica la scapari de noxe - debitul fluxului de aer (max) : 750 m3/h - lumina interioara fluorescenta (standard) - sistem de filtrare cu prefiltre (cu eficienta de 95-97 % ) + filtru principal cu dispunere pe toata lungimea nisei cu grosimea de 100 mm Pachet software Exposure Mode - Gray Scale permite comanda intensităţii fasciculului laser pentru a creea structuri tridimensionale dintr-o singură expunere. Sunt posibile 32 nivele de intensitate a expunerii.
Pachet software LabWindows 8.5 - compatibilitate hardware între PC şi dispozitive care au implementat IVI, VISA, DAQ, GPIB sau serial, - suport pentru Windows Vista/XP/2000, - realizarea graficelor 2D în timp real, - unelte de analiză,statistică, manipulare de matrici, procesare de semnal. Placa de achizitie NI PCI-6154 - Rezoluţie 16 biţi, frecvenţa de eşantionare de 250.000 eşantioane/secundă - factorul de amplificare reglabil (x10, x5, x2, x1), precizia de 686...5279 μv la fmax. Megaohmetru FLUKE 1587 - domeniu: 0.01MΩ...2GΩ; - tensiune de test: 50V, 100V, 250V, 500V, 1.000V; - curent de test: 1mA; Microscop Carl Zeiss Stemi 2000C - obiectiv W-pl 10x, care poate mări în gama 6,5x...50x şi asigură un câmp larg pentru obiectul observat (35,4mm...4,6mm). - sursa proprie de lumină rece, de 150w. - micrometre pentru determinarea deplasării pe axele x şi y cameră digitală AXIO CAM de 1,4 megapixeli(1392*1040)şi FireWire IEE1394
Osciloscopul WaveSurfer 24Xs - 4 canale de intrare + canal de sincronizare, - banda 200 MHz, - rata de eşantionare 2.5 GS/s (semnal real), respectiv 50 GS/s (semnal repetitiv), - timp de creştere 1.25 ns, - ecran color extins 10.4 (flat-panel TFT-LCD extra-bright), cu rezoluţie 800 x 600 SVGA, touch-screen, - memorie standard 2.5 M-puncte / canal, perioadă standard de captură 875μs, - sensibilitate verticală 2mV 10V/div., acurateţe verticală ± 1.5%, tensiune max. de intrare ± 400Vv (CAT. I) sau ± 300Vv (CAT. II), Maşina de bobinat cilindric TAK - 01 Turatia max. a axului 10.000 rpm Diametrul sarmei de bobinat ø0,01 mm - ø1,6 mm Pasul de bobinaj 0 9,999 mm Domeniul de lucru pe directie longitudinala 0-100 mm Cărucioare scule, bancuri de lucru, banc cu blat anticoroziv, dulapuri, vestiare şi alte echipamente destinate funcţionării laboratorului, depozitării şi transportului dispozitivelor şi substanţelor folosite în laborator. Servicii oferite. Realizarea de repere mecanice de mici dimensiuni şi foarte înaltă precizie (precizie dimensională 1μm).