Τιτλε. Υσερ Μανυαλ. Fiber-optic Vibrometer Sensor Head OFV-511/512

Τιτλε Υσερ Μανυαλ Fiber-optic Vibrometer Sensor Head OFV-511/512

Ωαρραντψ ανδ Σερϖιχε Τηε ωαρραντψ φορ τηισ εθυιπµεντ χοµπλιεσ ωιτη τηε ρεγυλατιονσ ιν ουρ γενεραλ τερµσ ανδ χονδιτιονσ ιν τηειρ ρεσπεχτιϖε ϖαλιδ ϖερσιον. Τηισ ισ χονδιτιοναλ ον τηε εθυιπµεντ βεινγ υσεδ ασ ιτ ισ ιντενδεδ ανδ ασ δεσχριβεδ ιν τηισ µανυαλ. Τηε ωαρραντψ δοεσ νοτ αππλψ το δαµαγε χαυσεδ βψ ινχορρεχτ υσαγε, εξτερναλ µεχηανιχαλ ινφλυενχεσ ορ βψ νοτ κεεπινγ το τηε οπερατινγ χονδιτιονσ. Τηε ωαρραντψ αλσο ισ ινϖαλιδατεδ ιν τηε χασε οφ τηε εθυιπµεντ βεινγ ταµπερεδ ωιτη ορ µοδιφιεδ ωιτηουτ αυτηοριζατιον. Το ρετυρν τηε εθυιπµεντ αλωαψσ υσε τηε οριγιναλ παχκαγινγ. Οτηερωισε ωε ρεσερϖε τηε ριγητ το χηεχκ τηε εθυιπµεντ φορ τρανσπορτ δαµαγε. Πλεασε µαρκ τηε παχκαγε ασ φραγιλε ανδ σενσιτιϖε το φροστ. Ινχλυδε αν εξπλανατιον οφ τηε ρεασον φορ ρετυρνινγ ιτ ασ ωελλ ασ αν εξαχτ δεσχριπτιον οφ τηε φαυλτ. Ψου χαν φινδ αδϖιχε ον φαυλτ διαγνοσισ ιν χηαπτερ 5. Τραδεµαρκσ Βρανδ ανδ προδυχτ ναµεσ µεντιονεδ ιν τηισ µανυαλ χουλδ βε τραδεµαρκσ ορ ρεγιστερεδ τραδεµαρκσ οφ τηειρ ρεσπεχτιϖε χοµπανιεσ ορ οργανιζατιονσ. Ιδεντιφιχατιον Λαβελσ Σενσορ Ηεαδ

Χοντεντσ Χοντεντσ 1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1 1 1.1 Λασερ Σαφετψ... 1 1 1.2 Λασερ Ωαρνινγ Λαβελσ... 1 2 1.2.1 ΕΧ Χουντριεσ... 1 2 1.2.2 Νον ΕΧ Χουντριεσ... 1 4 2 Φιρστ Στεπσ 2 1 2.1 Υνπαχκινγ ανδ Ινσπεχτιον...2 1 2.2 Οπερατινγ ανδ Μαιντενανχε Ρεθυιρεµεντσ... 2 2 2.3 Χοντρολ Ελεµεντσ... 2 3 2.3.1 Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 511... 2 3 2.3.2 Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512... 2 5 2.4 Ινσταλλατιον... 2 7 3 Οπτιµαλ Στανδ οφφ ιστανχε 3 1 4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4 1 4.1 Σωιτχηινγ Ον ανδ Οφφ... 4 1 4.2 Βλοχκινγ τηε Λασερ Βεαµ...4 1 4.3 Ινδιχατινγ Λασερ Αχτιϖιτψ... 4 1 4.4 Φοχυσινγ τηε Λασερ Βεαµ... 4 1 4.5 Οπτιµιζινγ τηε Φοχυσ οφ τηε Λασερ Βεαµ... 4 2 4.6 Εξχηανγινγ τηε Μινι Σενσορ... 4 2 4.7 Μακινγ Σινγλε Ποιντ Μεασυρεµεντσ ωιτη τηε Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512... 4 2 4.8 Αχτιϖατινγ Τρανσπορτ Σαφετψ Μεχηανισµ... 4 3 5 Φαυλτ ιαγνοσισ 5 1 5.1 Νο Λασερ Βεαµ... 5 1 5.2 Νο Μεασυρεµεντ Σιγναλ...5 2 6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ 6 1 6.1 Στανδαρδσ Αππλιεδ... 6 1 6.2 Γενεραλ ατα... 6 1 6.3 Οπτιχσ... 6 2 6.4 ιµενσιονσ... 6 3 6.5 Ταβλε οφ τηε Μαξιµα οφ ςισιβιλιτψ...6 4 Αππενδιξ Α: Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Αππενδιξ Β: Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε ι

Χοντεντσ ιι

1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1.1 Λασερ Σαφετψ Τηε λιγητ σουρχε οφ τηε ϖιβροµετερ ισ α ηελιυµ νεον λασερ. Ιτ ισ ιµπορταντ το υνδερστανδ τηατ λασερ λιγητ ηασ διφφερεντ προπερτιεσ τηαν ορδιναρψ λιγητ σουρχεσ. Λασερ ραδιατιον ισ γενεραλλψ εξτρεµελψ ιντενσε δυε το τηε βεαµ σ λοω διϖεργενχε ανδ γρεατ χαρε σηουλδ βε τακεν ωηεν ηανδλινγ λασερ ινστρυµεντσ τηατ τηε διρεχτ ορ ρεφλεχτεδ βεαµ δοεσ νοτ εντερ τηε εψε. Το ενσυρε τηισ, τηε φολλοωινγ πρεχαυτιονσ ηαϖε βεεν τακεν: Ιν γενεραλ, Πολψτεχ εθυιπµεντ χοµπλιεσ ωιτη τηε στανδαρδσ ΕΝ 60825 1 ( ΙΝ ς Ε 0837) ανδ ΧΦΡ 1040.10 (ΥΣ). Τηε οπτιχαλ ουτπυτ οφ τηε λασερ ισ λεσσ τηαν 1µΩ φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 προϖιδινγ τηε εθυιπµεντ ισ υσεδ ιν τηε µαννερ φορ ωηιχη ιτ ωασ ιντενδεδ. Τηισ µεανσ τηατ τηε ϖιβροµετερ χονφορµσ ωιτη λασερ χλασσ ΙΙ ανδ ισ γενεραλλψ ϖερψ σαφε. Εϖεν ωηεν οπτιµαλλψ φοχυσεδ, τηε λασερ ραδιατιον ισ νοτ ιντενσε ενουγη το ηαρµ τηε σκιν. Τηε οπτιχαλ ουτπυτ οφ τηε λασερ ισ λεσσ τηαν 5µΩ (<1µΩ περ φιβρε) φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 προϖιδινγ τηε εθυιπµεντ ισ υσεδ ιν τηε µαννερ φορ ωηιχη ιτ ωασ ιντενδεδ. Τηισ µεανσ τηατ τηε ϖιβροµετερ χονφορµσ ωιτη λασερ χλασσ 3Ρ (ΙΙΙα) ανδ ισ γενεραλλψ ϖερψ σαφε. Εϖεν ωηεν οπτιµαλλψ φοχυσεδ, τηε λασερ ραδιατιον ισ νοτ ιντενσε ενουγη το ηαρµ τηε σκιν. Τηε σενσορ ηεαδ ηασ βεεν εθυιππεδ ωιτη α βεαµ σηυττερ ωηιχη χαν βε υσεδ το βλοχκ τηε λασερ βεαµ δυρινγ τηε ωαρµ υπ πηασε ορ ωηεν τηε ϖιβροµετερ ισ νοτ ιν υσε, αλτηουγη σωιτχηεδ ον. Τηε εµισσιον ινδιχατορ ον τηε σενσορ ηεαδ ινδιχατεσ τηε αχτιϖιτψ οφ τηε λασερ ανδ τηυσ ποτεντιαλ ηαρµ χαυσεδ βψ εµιττεδ λασερ βεαµσ. Τηε βεαµ σηυττερ ισ αλωαψσ λεσσ τηεν 2µ αωαψ φροµ τηε απερτυρε οφ τηε λασερ βεαµ. Σπεχιαλ εδιτιονσ οφ τηε φιβερ οπτιχαλ σενσορ ηεαδσ ωιτη φιβερ λενγτησ οφ 3µ αρε φιττεδ ωιτη αν αδδιτιοναλ εµισσιον ινδιχατορ ωηιχη ισ ιντεγρατεδ ιν τηε φιβερσ. Τηε λασερ ισ σωιτχηεδ ον ϖια α κεψ σωιτχη ον τηε χοντρολλερ. Τηε κεψ χαν ονλψ βε ρεµοϖεδ ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ οφφ. Ιτ ισ νοτ νεχεσσαρψ το οπεν τηε ηουσινγ οφ τηε σενσορ ηεαδ ωηεν υσινγ τηε ϖιβροµετερ ασ ιντενδεδ. Οπενινγ τηε ηουσινγ ωιλλ ινϖαλιδατε τηε ωαρραντψ. Πλεασε παψ αττεντιον το τηε φολλοωινγ σαφετψ πρεχαυτιονσ ωηεν υσινγ τηε ϖιβροµετερ: Νεϖερ λοοκ διρεχτλψ ιντο τηε λασερ βεαµ ωιτη τηε νακεδ εψε ορ ωιτη τηε αιδ οφ µιρρορσ ορ οπτιχαλ ινστρυµεντσ! Ονλψ οπεν τηε βεαµ σηυττερ ωηεν ψου αρε µακινγ µεασυρεµεντσ! Το ποσιτιον τηε σενσορ ηεαδ, σωιτχη τηε βεαµ σηυττερ το τηε ΟΦΦ ποσιτιον. Ονλψ ωηεν τηε σενσορ ηεαδ ισ ρουγηλψ ιν πλαχε ανδ ηασ βεεν φιξεδ ιν α σταβλε ποσιτιον, οπεν τηε βεαµ σηυττερ. ο νοτ υσε ανψ ρεφλεχτιϖε τοολσ, ωατχηεσ ετχ. ωηεν ψου αρε ωορκινγ ιν τηε πατη οφ τηε λασερ βεαµ! 1 1

1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1.2 Λασερ Ωαρνινγ Λαβελσ 1.2.1 ΕΧ Χουντριεσ Ωαρνινγ λαβελσ Τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ φορ τηε σενσορ ηεαδσ ιν ΕΧ χουντριεσ αρε σηοων ιν φιγυρε 1.1. Λαβελ 2, 3 ανδ 4 αρε αφφιξεδ ορ ενχλοσεδ ιν τηε λανγυαγε οφ τηε χυστοµερ σ χουντρψ. Λασερ χλασσ 2 φορ ΟΦς 511 Λασερ χλασσ 3Ρ φορ ΟΦς 512 1 2 3 4 Φιγυρε 1.1: Λασερ ωαρνινγ λαβελσ φορ τηε σενσορ ηεαδσ ιν ΕΧ χουντριεσ 1 2

1 Σαφετψ Ινφορµατιον Ποσιτιον Τηε ποσιτιον οφ τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ ιν ΕΧ χουντριεσ ον τηε σενσορ ηεαδ ισ σηοων ιν φιγυρε 1.2. Φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511, λαβελ 3 ισ αφφιξεδ ινσιδε. Φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512, λαβελ 4 ισ αφφιξεδ ινσιδε. Λαβελ 3 ισ ενχλοσεδ ωιτη τηε σενσορ ηεαδ ασ ιτ ισ νοτ ποσσιβλε το αφφιξ ιτ ον τηε µινι σενσορ δυε το ιτσ σιζε. Πλεασε αφφιξ τηισ λαβελ χλεαρλψ ϖισιβλε νεαρ τηε µουντεδ µινι σενσορ ορ φιβερ ηεαδ. 1 @ A J E B E? = J E = > A 5 1 / ) 2 4 + - 5 5 4 ) + 0 6 7 / * E J J A L H @ A 6 H = I F H J @ E A 6 H = I F H J I E? D A H K C > A J J E C A + ) 7 6 1 2 A = I A I A? K H A J H = I F H J A? D = E I > A B H A I D E F A J * A = - ) 5 7 4 - - 6 6 4 ) 5 2 4 6 Φιγυρε 1.2: Ποσιτιον οφ τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ ον τηε σενσορ ηεαδ ιν ΕΧ χουντριεσ 1 3

1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1.2.2 Νον ΕΧ Χουντριεσ Ωαρνινγ λαβελσ Τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ φορ τηε σενσορ ηεαδσ ιν νον ΕΧ χουντριεσ αρε σηοων ιν φιγυρε 1.3. Λασερ χλασσ ΙΙ φορ ΟΦς 511 Λασερ χλασσ ΙΙΙα φορ ΟΦς 512 1 2 3 4 Φιγυρε 1.3: Λασερ ωαρνινγ λαβελσ φορ τηε σενσορ ηεαδσ ιν νον ΕΧ χουντριεσ 1 4

1 Σαφετψ Ινφορµατιον Ποσιτιον Τηε ποσιτιον οφ τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ ιν νον ΕΧ χουντριεσ ον τηε σενσορ ηεαδ ισ σηοων ιν φιγυρε 1.4. Λαβελ 4 ισ αφφιξεδ ινσιδε. Λαβελ 3 ισ ενχλοσεδ ωιτη τηε σενσορ ηεαδ ασ ιτ ισ νοτ ποσσιβλε το αφφιξ ιτ ον τηε µινι σενσορ δυε το ιτσ σιζε. Πλεασε αφφιξ τηισ λαβελ χλεαρλψ ϖισιβλε νεαρ τηε µουντεδ µινι σενσορ ορ φιβερ ηεαδ. 1 @ A J E B E? = J E = > A 5 1 / ) 2 4 + - 5 5 4 ) + 0 6 7 / * E J J A L H @ A 6 H = I F H J @ E A 6 H = I F H J I E? D A H K C > A J J E C A + ) 7 6 1 2 A = I A I A? K H A J H = I F H J A? D = E I > A B H A I D E F A J * A = - ) 5 7 4 - - 6 6 4 ) 5 2 4 6 Φιγυρε 1.4: Ποσιτιον οφ τηε λαβελσ ον τηε σενσορ ηεαδ ιν νον ΕΧ χουντριεσ 1 5

1 Σαφετψ Ινφορµατιον 1 6

2 Φιρστ Στεπσ 2 Φιρστ Στεπσ 2.1 Υνπαχκινγ ανδ Ινσπεχτιον Υνπαχκινγ Τηε ϖιβροµετερ χονσιστσ οφ τηε φολλοωινγ χοµπονεντσ: σενσορ ηεαδ ΟΦς 511/ 512 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 (ονλψ φορ ΟΦς 512) χοννεχτινγ χαβλε φροµ τηε χοντρολλερ το τηε σενσορ ηεαδ (λενγτη 5µ) χοντρολλερ Οπτιοναλ: Νοτε! Τηε χοντρολλερ ισ δεσχριβεδ ιν α σεπαρατε υσερ µανυαλ! ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 σιδε εξιτ ηεαδσ ΟΦς Χ 102 ανδ ΟΦς Χ 110 φιβερ ηεαδσ ΟΦς 102, ΟΦς 130 3 ανδ ΟΦς 130 5 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 Χαυτιον! Προτεχτ τηε υνπαχκεδ σενσορ ηεαδ φροµ ηαρδ ϕολτσ ασ τηεσε χαν λεαδ το µισαλιγνµεντ οφ τηε ιντερφεροµετερ! Χαυτιον! Ηανδλε τηε φροντ λενσ οφ τηε σενσορ ηεαδ ωιτη γρεατ χαρε! ιρτ µαψ ονλψ βε ρεµοϖεδ ϖερψ χαρεφυλλψ ωιτη α σοφτ, δρψ χλοτη, αν οπτιχσ βρυση ανδ βελλοωσ! Ινσπεχτιον Πλεασε παψ αττεντιον το τηε φολλοωινγ στεπσ ωηεν υνπαχκινγ: 1. Χηεχκ τηε παχκαγινγ φορ σιγνσ οφ υνσυιταβλε ηανδλινγ δυρινγ τρανσπορτ. 2. Αφτερ υνπαχκινγ, χηεχκ αλλ χοµπονεντσ φορ εξτερναλ δαµαγε (σχρατχηεσ, λοοσε σχρεωσ, δαµαγεδ λενσ ετχ.). 3. Ιν τηε χασε οφ α ωρονγ δελιϖερψ, δαµαγε ορ µισσινγ παρτσ, ινφορµ ψουρ λοχαλ Πολψτεχ ρεπρεσεντατιϖε ιµµεδιατελψ ανδ γιϖε τηεµ τηε σεριαλ νυµβερ οφ τηε σενσορ ηεαδ. Τηε ιδεντιφιχατιον λαβελ χαν βε φουνδ ον τηε βαχκ οφ τηε σενσορ ηεαδ ανδ αλσο ον τηε ινσιδε χοϖερ οφ τηισ µανυαλ. 4. Χαρεφυλλψ ρεταιν τηε οριγιναλ παχκαγινγ ιν χασε ψου ηαϖε το ρετυρν τηε ινστρυµεντ. Ινσταλλ τηε σενσορ ηεαδ ασ δεσχριβεδ ιν σεχτιον 2.4 ανδ χαρρψ ουτ α φιρστ φυνχτιοναλ τεστ ασ δεσχριβεδ ιν τηε υσερ µανυαλ οφ τηε χοντρολλερ. 2 1

2 Φιρστ Στεπσ 2.2 Οπερατινγ ανδ Μαιντενανχε Ρεθυιρεµεντσ Οπερατινγ ενϖιρονµεντ Τηε σενσορ ηεαδ χαν βε οπερατεδ ιν δρψ ροοµσ υνδερ νορµαλ χλιµατε χονδιτιονσ (ρεφερ το σπεχιφιχατιονσ ιν χηαπτερ 6). Ιν παρτιχυλαρ τηε οπτιχαλ χοµπονεντσ ιν τηε σενσορ ηεαδ αρε σενσιτιϖε το µοιστυρε, ηιγη τεµπερατυρεσ, ϕολτινγ ανδ διρτ. Ωηεν τηε ϖιβροµετερ ισ τακεν ιντο οπερατιον αφτερ βεινγ στορεδ σοµεωηερε χοολ, α συφφιχιεντ αχχλιµατιζατιον περιοδ σηουλδ βε αλλοωεδ φορ βεφορε σωιτχηινγ ιτ ον. Αϖοιδ χονδενσατιον ον τηε οπτιχαλ χοµπονεντσ χαυσεδ βψ α ραπιδ χηανγε ιν τεµπερατυρε. Ωαρµινγ υπ Τρανσπορτ Χοννεχτινγ χαβλεσ Χλεανινγ Οπτιχαλ χοµπονεντσ Χοολινγ Οπενινγ υπ τηε εθυιπµεντ Αφτερ σωιτχηινγ ον, τηε ηελιυµ νεον λασερ ιν τηε σενσορ ηεαδ ρεθυιρεσ α χερταιν περιοδ οφ τιµε το ρεαχη οπτιµυµ σταβιλιτψ. Τηε ϖιβροµετερ σηουλδ τηυσ βε σωιτχηεδ ον 20 µινυτεσ βεφορε τηε φιρστ µεασυρεµεντσ αρε µαδε το ενσυρε τηατ ιτ ισ ιν τηερµαλ εθυιλιβριυµ ωιτη τηε συρρουνδινγσ. Τηε σενσορ ηεαδ ισ εθυιππεδ ωιτη α τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ ωηιχη αλωαψσ ηασ το βε αχτιϖατεδ βεφορε µοϖινγ τηε σενσορ ηεαδ (ρεφερ το σεχτιον 4.8). Ασ α γενεραλ ρυλε τηε ϖιβροµετερ µυστ νοτ βε σωιτχηεδ ον υντιλ αλλ χαβλεσ αρε χοννεχτεδ. Μακε συρε τηατ αλλ ϕαχκσ αρε χοννεχτεδ προπερλψ ανδ φιρµλψ. Προτεχτ τηε χαβλεσ φροµ µεχηανιχαλ δαµαγε ανδ φροµ ηιγη τεµπερατυρεσ. Τηε ηουσινγ συρφαχεσ οφ τηε ινστρυµεντ χαν βε χλεανεδ ωιτη µιλδ δετεργεντ σολυτιονσ. Οργανιχ σολϖεντσ µυστ νοτ βε υσεδ. Ηανδλε αλλ οπτιχαλ χοµπονεντσ ωιτη γρεατ χαρε. ιρτ µαψ ονλψ βε ρεµοϖεδ ϖερψ χαρεφυλλψ ωιτη α σοφτ, δρψ χλοτη, αν οπτιχσ βρυση ανδ βελλοωσ. Ιτ ισ ϖερψ ιµπορταντ το ενσυρε τηατ τηερε ισ συφφιχιεντ αιρ χιρχυλατιον το κεεπ τηε σενσορ ηεαδ χοολ. Τηε αιρ ϖεντσ οφ τηε σενσορ ηεαδ µυστ νεϖερ βε χοϖερεδ υπ. Οπενινγ υπ οφ τηε εθυιπµεντ ωιτηουτ αυτηοριζατιον ισ νοτ νεχεσσαρψ φορ ιτσ οπερατιον ανδ ωιλλ ινϖαλιδατε τηε ωαρραντψ. 2 2

2 Φιρστ Στεπσ 2.3 Χοντρολ Ελεµεντσ 2.3.1 Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 511 Φροντ πανελ Τηε φροντ πανελ οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 ισ σηοων ιν φιγυρε 2.1. # $ 8 # 1 * - 4 1 6-4 - 4-6 - 4 5 1 / ) ) 5-4 5 6 ), * ;! " Φιγυρε 2.1: Φροντ ϖιεω οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 1 ΛΑΣΕΡ βεαµ σηυττερ κεψ Πρεσσινγ τηισ κεψ τηε βεαµ σηυττερ ισ οπενεδ ανδ πρεσσινγ τηισ κεψ α σεχονδ τιµε τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ αγαιν (ρεφερ το σεχτιον 4.2). Τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ αυτοµατιχαλλψ ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ ον (κεψ σωιτχη ον τηε χοντρολλερ ιν ποσιτιον Ι). 2 ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ ΛΕ Τηε ΛΕ γοεσ ον ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ ον. Τηισ τηεν σηοωσ τηατ τηε λασερ ισ οπερατιοναλ. Ηοωεϖερ, νο λασερ βεαµ ισ εµιττεδ ψετ ασ τηε βεαµ σηυττερ ισ στιλλ χλοσεδ (ΛΕ ΟΝ ισ ουτ). Τηε ΛΕ γοεσ ουτ ωηεν τηε βεαµ σηυττερ κεψ ισ πρεσσεδ ανδ τηυσ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ (ΛΕ ΟΝ ισ τηεν ον). 3 ΛΑΣΕΡ ΟΝ ΛΕ Τηε ΛΕ γοεσ ον ωηεν τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ ισ πρεσσεδ ανδ τηυσ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ. Ατ τηε σαµε τιµε τηε ΛΕ ΣΤΑΝ ΒΨ γοεσ ουτ. Πρεσσινγ τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ α σεχονδ τιµε τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ ανδ τηε ΛΕ ΟΝ γοεσ ουτ ανδ τηε ΛΕ ΣΤΑΝ ΒΨ γοεσ ον αγαιν. 4 Σιγναλ λεϖελ δισπλαψ Τηε λενγτη οφ τηε βαρ ισ α µεασυρε οφ τηε αµουντ οφ λιγητ σχαττερεδ βαχκ φροµ τηε συρφαχε οφ τηε οβϕεχτ. 5 Φιβερ οπτιχ χαβλε 2 3

2 Φιρστ Στεπσ 6 Μινι σενσορ (διαµετερ 10µµ) Τηε µινι σενσορ χονταινσ α λενσ το φοχυσ τηε λασερ βεαµ. Εξχηανγε οφ τηε µινι σενσορ ωιτη α φιβερ ηεαδ ισ δεσχριβεδ ιν σεχτιον Α.1. Νοτε! Εαχη µινι σενσορ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ φιβερ. Νεϖερ εξχηανγε τηε µινι σενσορ ωιτη α µινι σενσορ οφ ανοτηερ σενσορ ηεαδ! Βαχκ πανελ Τηε βαχκ πανελ οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 ισ σηοων ιν φιγυρε 2.2. "! ) + 0 6 7 / * E J J A L H @ A 6 H = I F H J @ E A 6 H = I F H J I E? D A H K C > A J J E C A 5 1 / ) 2 4 + - 5 5 4 + ) 7 6 1 2 A = I A I A? K H A J H = I F H J A? D = E I > A B H A I D E F A J - ) 5 7 4 - - 6 6 4 ) 5 2 4 6 Φιγυρε 2.2: Ρεαρ ϖιεω οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 1 ΣΙΓΝΑΛ ΠΡΟΧΕΣΣΟΡ χοννεχτορ (Συβ ϕαχκ) ϑαχκ φορ τηε χοννεχτινγ χαβλε το τηε χοντρολλερ 2 Τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ Τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ ισ (δε)αχτιϖατεδ βψ τυρνινγ τηε σχρεω ωιτη τηε Αλλεν κεψ προϖιδεδ (ρεφερ το σεχτιον 4.8). 3 Τρανσπορτ ηανδλε Χαυτιον! Αλωαψσ αχτιϖατε τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ βεφορε µοϖινγ τηε σενσορ ηεαδ! 4 Σενσορ µουντ Το τρανσπορτ τηε σενσορ ηεαδ, τηε µινι σενσορ χαν βε πλυγγεδ ιντο τηισ σενσορ µουντ. 2 4

2 Φιρστ Στεπσ 2.3.2 Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512 Φροντ πανελ Τηε φροντ πανελ οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 ισ σηοων ιν φιγυρε 2.3. # $ 8 # 1 * - 4 1 6-4 - 4-6 - 4 5 1 / ) ) 5-4 5 6 ), * ;! " Φιγυρε 2.3: Φροντ ϖιεω οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 1 ΛΑΣΕΡ βεαµ σηυττερ κεψ Πρεσσινγ τηισ κεψ τηε βεαµ σηυττερ ισ οπενεδ ανδ πρεσσινγ τηισ κεψ α σεχονδ τιµε τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ αγαιν (ρεφερ το σεχτιον 4.2). Τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ αυτοµατιχαλλψ ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ ον (κεψ σωιτχη ον τηε χοντρολλερ ιν ποσιτιον Ι). 2 ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ ΛΕ Τηε ΛΕ γοεσ ον ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ ον. Τηισ τηεν σηοωσ τηατ τηε λασερ ισ οπερατιοναλ. Ηοωεϖερ, νο λασερ βεαµ ισ εµιττεδ ψετ ασ τηε βεαµ σηυττερ ισ στιλλ χλοσεδ (ΛΕ ΟΝ ισ ουτ). Τηε ΛΕ γοεσ ουτ ωηεν τηε βεαµ σηυττερ κεψ ισ πρεσσεδ ανδ τηυσ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ (ΛΕ ΟΝ ισ τηεν ον). 3 ΛΑΣΕΡ ΟΝ ΛΕ Τηε ΛΕ γοεσ ον ωηεν τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ ισ πρεσσεδ ανδ τηυσ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ. Ατ τηε σαµε τιµε τηε ΛΕ ΣΤΑΝ ΒΨ γοεσ ουτ. Πρεσσινγ τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ α σεχονδ τιµε τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ ανδ τηε ΛΕ ΟΝ γοεσ ουτ ανδ τηε ΛΕ ΣΤΑΝ ΒΨ γοεσ ον αγαιν. 4 Σιγναλ λεϖελ δισπλαψ Τηε λενγτη οφ τηε βαρ ισ α µεασυρε οφ τηε αµουντ οφ λιγητ σχαττερεδ βαχκ φροµ τηε συρφαχε οφ τηε οβϕεχτ. 5 Φιβερ οπτιχ χαβλε Τηε φιβερ οπτιχ χαβλε βρανχηεσ οφφ ϖια α Ψ πιεχε. Τηε ρεφερενχε φιβερ ισ µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. 2 5

2 Φιρστ Στεπσ 6 Μινι σενσορσ (διαµετερ 10µµ) Εαχη µινι σενσορ χονταινσ α λενσ το φοχυσ τηε λασερ βεαµ. Τηε µινι σενσορ οφ τηε ρεφερενχε φιβερ ισ µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. Εξχηανγε οφ τηε µινι σενσορσ ωιτη φιβερ ηεαδσ ισ δεσχριβεδ ιν σεχτιον Α.1. Νοτε! Εαχη µινι σενσορ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ φιβερ. Νεϖερ εξχηανγε τηε µινι σενσορσ οφ α σενσορ ηεαδ ωιτη εαχη οτηερ ορ ωιτη µινι σενσορσ οφ οτηερ σενσορ ηεαδσ! Βαχκ πανελ Τηε βαχκ πανελ οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 ισ σηοων ιν φιγυρε 2.4. "! ) + 0 6 7 / * E J J A L H @ A 6 H = I F H J @ E A 6 H = I F H J I E? D A H K C > A J J E C A 5 1 / ) 2 4 + - 5 5 4 + ) 7 6 1 2 A = I A I A? K H A J H = I F H J A? D = E I > A B H A I D E F A J - ) 5 7 4 - - 6 6 4 ) 5 2 4 6 Φιγυρε 2.4: Ρεαρ ϖιεω οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 1 ΣΙΓΝΑΛ ΠΡΟΧΕΣΣΟΡ χοννεχτορ (Συβ ϕαχκ) ϑαχκ φορ τηε χοννεχτινγ χαβλε το τηε χοντρολλερ 2 Τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ Τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ ισ (δε)αχτιϖατεδ βψ τυρνινγ τηε σχρεω ωιτη τηε Αλλεν κεψ προϖιδεδ (ρεφερ το σεχτιον 4.8). 3 Τρανσπορτ ηανδλε Χαυτιον! Αλωαψσ αχτιϖατε τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ βεφορε µοϖινγ τηε σενσορ ηεαδ! 4 Σενσορ µουντ Το τρανσπορτ τηε σενσορ ηεαδ τηε µινι σενσορσ χαν βε πλυγγεδ ιντο τηισ σενσορ µουντ. 2 6

2 Φιρστ Στεπσ 2.4 Ινσταλλατιον Φορ τηε ινσταλλατιον οφ τηε σενσορ ηεαδ, προχεεδ ασ φολλοωσ: Πρεπαρινγ 1. Ονλψ ΟΦς 512: Υνσχρεω τηε µινι σενσορ φροµ τηε ρεφερενχε φιβερ. Τηε ρεφερενχε φιβερ ισ µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. Μουντ τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 ον τηε ρεφερενχε φιβερ ασ δεσχριβεδ ιν σεχτιον 4.6. 2. εαχτιϖατε τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ ον τηε βαχκ οφ τηε σενσορ ηεαδ βψ τυρνινγ τηε σχρεω ωιτη τηε Αλλεν κεψ προϖιδεδ το ποσιτιον ΜΕΑΣΥΡΕΜΕΝΤ (ρεφερ το σεχτιον 4.8). 3. Μακε συρε τηατ τηε κεψ σωιτχη ον τηε χοντρολλερ ισ ιν ποσιτιον Ο. 4. Ιφ αππλιχαβλε φορ ψουρ χοντρολλερ, χηεχκ τηε σεττινγ ον τηε µαινσ ϖολταγε σελεχτορ ον τηε βαχκ οφ τηε χοντρολλερ ασ ωελλ ασ τηε φυσεσ. Χαβλινγ 5. Πλυγ τηε χοννεχτινγ χαβλε ιντο τηε Συβ ϕαχκ ΣΙΓΝΑΛ ΠΡΟΧΕΣΣΟΡ ον τηε βαχκ οφ τηε σενσορ ηεαδ ανδ ιντο τηε χορρεσπονδινγ Συβ ϕαχκ ον τηε βαχκ οφ τηε χοντρολλερ. Φιξ τηε χοννεχτιονσ ωιτη τηε σχρεωσ προϖιδεδ. Αλλ χοννεχτιονσ µυστ βε εασψ το πλυγ ιν. Ιφ νοτ, χηεχκ τηε πλυγ φορ βεντ χονταχτ πινσ το αϖοιδ σεριουσ δαµαγε βεινγ ινχυρρεδ. 6. Υσε τηε εαρτηεδ µαινσ χαβλε το χοννεχτ τηε χοντρολλερ το α ωαλλ ουτλετ προϖιδινγ προτεχτιϖε γρουνδινγ. Νοω χαρρψ ουτ α φιρστ φυνχτιοναλ τεστ ασ δεσχριβεδ ιν τηε υσερ µανυαλ οφ τηε χοντρολλερ. 2 7

2 Φιρστ Στεπσ 2 8

3 Οπτιµαλ Στανδ οφφ ιστανχε 3 Οπτιµαλ Στανδ οφφ ιστανχε ΟΦς 511 Τηε στανδ οφφ διστανχε ισ µεασυρεδ φροµ τηε σηουλδερ οφ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ. Τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: Οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε = 135µµ + ( ν λ)µµ ν = 0; 1; 2;... λ = 204µµ ±1µµ ι.ε. φορ λ = 204µµ τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: 135µµ; 339µµ; 543µµ ετχ., ρεφερ αλσο το σεχτιον 6.3 ανδ σεχτιον 6.5 ΟΦς 512 Ωηεν µακινγ τωο ποιντ µεασυρεµεντσ τηε στανδ οφφ διστανχε ισ τηε διφφερενχε βετωεεν τηε στανδ οφφ διστανχεσ οφ βοτη αρµσ. Τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: Οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε = 0µµ + ( ν λ)µµ ν = 0; 1; 2;... λ = 204µµ ±1µµ ι.ε. φορ λ = 204µµ τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: 0µµ; 204µµ; 408µµ ετχ., ρεφερ αλσο το σεχτιον 6.3 ανδ σεχτιον 6.5 Ωηεν µακινγ σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ ωιτη τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 τηε στανδ οφφ διστανχε ισ µεασυρεδ φροµ τηε σηουλδερ οφ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ. Τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: Οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε = 63µµ + ( ν λ)µµ ν = 0; 1; 2;... λ = 204µµ ±1µµ ι.ε. φορ λ = 204µµ τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ αρε: 63µµ; 267µµ; 471µµ ετχ., ρεφερ αλσο το σεχτιον 6.3 ανδ σεχτιον 6.5 Μαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ Τηε λιγητ σουρχε οφ τηε ϖιβροµετερ ισ α ηελιυµ νεον λασερ. Τηισ ισ α µυλτιµοδε λασερ ιν ωηιχη α µαξιµυµ οφ τωο µοδεσ χαν εξιστ. Τηε ιντερφερενχε οφ τηε τωο µοδεσ λεαδσ το τηε ιντενσιτψ οφ τηε ρεσυλτινγ οπτιχαλ σιγναλ ϖαρψινγ περιοδιχαλλψ ωιτη τηε στανδ οφφ διστανχε. Τηε ιντενσιτψ ινχρεασεσ το α µαξιµυµ ι.ε. α µαξιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ ισ πρεσεντ ιφ τηε οπτιχαλ πατη διφφερενχε ισ αν εϖεν νυµβερεδ µυλτιπλε οφ τηε λενγτη οφ τηε λασερ χαϖιτψ (204µµ ±1µµ). Ασ τηε οπτιχαλ πατη διφφερενχε ισ εθυαλ το τωιχε τηε στανδ οφφ διστανχε (τηε βεαµ γοεσ τηερε ανδ βαχκ), α µαξιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ ισ πρεσεντ ονχε περ λασερ χαϖιτψ λενγτη. Ιν πραχτιχε, ιτ ισ νοτ υσυαλλψ νεχεσσαρψ το σεαρχη φορ τηε µαξιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ ασ τηε ϖιβροµετερ ισ σενσιτιϖε ενουγη το µακε α µεασυρεµεντ εϖεν χλοσε το τηε µινιµυµ. Α µινιµυµ ισ ινδιχατεδ δυρινγ τηε ωαρµ υπ πηασε βψ περιοδιχ φλυχτυατιον ον τηε σιγναλ λεϖελ δισπλαψ. 3 1

3 Οπτιµαλ Στανδ οφφ ιστανχε 3 2

4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4.1 Σωιτχηινγ Ον ανδ Οφφ Τηε ϖιβροµετερ ισ σωιτχηεδ ον βψ υσινγ τηε κεψ σωιτχη ον τηε φροντ πανελ οφ τηε χοντρολλερ. Το δο σο, τυρν τηε κεψ σωιτχη το ποσιτιον Ι.Τηε ΛΕ ΠΟΩΕΡ αβοϖε τηε κεψ σωιτχη τηεν λιγητσ υπ ανδ σηοωσ τηατ τηε χοντρολλερ ισ ρεαδψ το οπερατε. Προϖιδινγ τηε χοννεχτινγ χαβλε φροµ τηε χοντρολλερ το τηε σενσορ ηεαδ ηασ βεεν χορρεχτλψ ινσταλλεδ, τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ αλσο λιγητσ υπ ανδ σηοωσ τηατ τηε σενσορ ηεαδ ισ ρεαδψ το οπερατε ανδ τηατ τηε λασερ ισ αχτιϖε, εϖεν ιφ τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ (ρεφερ το σεχτιον 4.2). 4.2 Βλοχκινγ τηε Λασερ Βεαµ Τηε σενσορ ηεαδ ισ εθυιππεδ ωιτη α βεαµ σηυττερ. Τηισ χαν βε υσεδ το βλοχκ τηε λασερ βεαµ ωιτηουτ σωιτχηινγ οφφ τηε λασερ, τηυσ κεεπινγ τηε σψστεµ ατ α τηερµαλ εθυιλιβριυµ. Ωαρνινγ! Ονλψ οπεν τηε βεαµ σηυττερ ωηεν ψου αρε µακινγ µεασυρεµεντσ! Ωαρνινγ! Το ποσιτιον τηε σενσορ ηεαδ, σωιτχη τηε βεαµ σηυττερ οφφ. Ονλψ ωηεν τηε σενσορ ηεαδ ισ ρουγηλψ ιν πλαχε ανδ ηασ βεεν φιξεδ ιν α σταβλε ποσιτιον, σωιτχη τηε βεαµ σηυττερ ον! Τηε κεψ φορ τηε βεαµ σηυττερ ισ ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ ανδ ισ λαβελεδ ΛΑΣΕΡ. Ωηεν τηε χοντρολλερ ισ σωιτχηεδ ον, τηε βεαµ σηυττερ ισ αυτοµατιχαλλψ χλοσεδ. Το οπεν τηε βεαµ σηυττερ, πρεσσ τηε ΛΑΣΕΡ κεψ. Το χλοσε τηε βεαµ σηυττερ αγαιν πρεσσ τηε ΛΑΣΕΡ κεψ α σεχονδ τιµε. 4.3 Ινδιχατινγ Λασερ Αχτιϖιτψ Ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ τηε ΛΕ σ ΣΤΑΝ ΒΨ ανδ ΟΝ ινδιχατε τηε λασερ αχτιϖιτψ. Τηε ΛΕ ΣΤΑΝ ΒΨ ισ λιτ ωηεν τηε λασερ ισ αχτιϖε (κεψ σωιτχη ον τηε φροντ οφ τηε χοντρολλερ ιν ποσιτιον Ι) ανδ τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ. Τηε ΛΕ ινδιχατεσ τηατ τηε λασερ ισ αχτιϖε βυτ τηε λασερ βεαµ ισ νοτ βεινγ εµιττεδ φροµ τηε σενσορ ηεαδ. Τηε ΛΕ ΟΝ ισ λιτ ασ σοον ασ τηε βεαµ σηυττερ ισ οπενεδ (κεψ ΛΑΣΕΡ ισ πρεσσεδ) ανδ σηοωσ τηατ τηε λασερ βεαµ ισ βεινγ εµιττεδ. 4.4 Φοχυσινγ τηε Λασερ Βεαµ Ψου χαν φοχυσ τηε λασερ βεαµ µανυαλλψ βψ τυρνινγ τηε µινι σενσορ ορ τηε φοχυσινγ ρινγ οφ τηε φιβερ ηεαδ µουντεδ. 4 1

4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4.5 Οπτιµιζινγ τηε Φοχυσ οφ τηε Λασερ Βεαµ Τηε σιγναλ λεϖελ δισπλαψ ηελπσ ψου το οπτιµιζε τηε φοχυσ οφ τηε λασερ βεαµ. Τηε σιγναλ λεϖελ ισ σηοων ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ ασ α 10 παρτ βαρ δισπλαψ. 4.6 Εξχηανγινγ τηε Μινι Σενσορ Εξχηανγινγ τηε µινι σενσορ οφ τηε ρεφερενχε φιβερ ωιτη α ρεφερενχε ηεαδ ισ δεσχριβεδ ιν σεχτιον 4.7 ανδ σεχτιον Α.2. Εξχηανγινγ τηε µινι σενσορσ ωιτη φιβερ ηεαδσ ισ δεσχριβεδ ιν σεχτιον Α.1. Νοτε! Εαχη µινι σενσορ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ φιβερ. Νεϖερ εξχηανγε τηε µινι σενσορσ οφ α σενσορ ηεαδ ωιτη εαχη οτηερ ορ ωιτη µινι σενσορσ οφ οτηερ σενσορ ηεαδσ! 4.7 Μακινγ Σινγλε Ποιντ Μεασυρεµεντσ ωιτη τηε Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512 Ιφ σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ αρε χαρριεδ ουτ ωιτη τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512, ονε οφ τηε τωο φιβερσ µυστ βε τερµινατεδ ωιτη α ρεφερενχε ηεαδ. Τηε ρεφερενχε ηεαδ ισ µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. Αλωαψσ µουντ τηε ρεφερενχε ηεαδ το τηε ρεφερενχε φιβερ, αλσο µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. Ασ δεφαυλτ εαχη σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 ισ δελιϖερεδ ωιτη τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151. Τηε ρεφερενχε ηεαδ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ σενσορ ηεαδ. Τηερεφορε εαχη ρεφερενχε ηεαδ ηασ α οων σεριαλ νυµβερ ωηιχη ισ νοτεδ ιν τηε εξαµινατιον προτοχολ. Νοτε! Νεϖερ εξχηανγε τηε ρεφερενχε ηεαδ οφ α σενσορ ηεαδ ωιτη α ρεφερενχε ηεαδ οφ ανοτηερ σενσορ ηεαδ! Οπτιοναλλψ ψου χαν υσε τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ωιτη αδϕυσταβλε στανδ οφφ διστανχε. Ψου ωιλλ φινδ ινφορµατιον ον τηισ ιν σεχτιον Α.2. Ασσεµβλψ Το µουντ τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 οντο τηε ρεφερενχε φιβερ, προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Υνσχρεω τηε µινι σενσορ φροµ τηε ρεφερενχε φιβερ ανδ κεεπ ιν α σαφε πλαχε βεχαυσε εαχη µινι σενσορ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ φιβερ. 2. Σχρεω τηε ρεφερενχε ηεαδ οντο τηε ενδ οφ τηε φιβερ υντιλ ιτ ισ σεχυρελψ φιξεδ. Τηε ρεφερενχε ηεαδ χαν νοω βε υσεδ. 4 2

4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4.8 Αχτιϖατινγ Τρανσπορτ Σαφετψ Μεχηανισµ Χαυτιον! Αλωαψσ αχτιϖατε τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ βεφορε µοϖινγ τηε σενσορ ηεαδ! Ιφ τηε σενσορ ηεαδ ισ βεινγ τρανσπορτεδ, τηε σηοχκ αβσορβινγ φεετ οφ τηε ηουσινγ δο νοτ προϖιδε συφφιχιεντ προτεχτιον. Φορ τηισ ρεασον, τηε ιντερφεροµετερ µυστ αδδιτιοναλλψ βε σεχυρεδ ωιτη α τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ. Το αχτιϖατε τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ, προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Τυρν τηε σχρεω ον τηε βαχκ οφ τηε σενσορ ηεαδ το ποσιτιον ΤΡΑΝΣΠΟΡΤ. Αν Αλλεν κεψ σιζε 5 ισ συππλιεδ φορ τηισ πυρποσε ιν τηε τοολ κιτ φορ τηε ϖιβροµετερ. 2. Ονλψ σετ τηε τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ το ποσιτιον ΜΕΑΣΥΡΕΜΕΝΤ ωηεν ψου αρε µακινγ µεασυρεµεντσ ορ ωηεν τηε σψστεµ ισ κεπτ ιν ονε ανδ τηε σαµε ποσιτιον. 4 3

4 Οπερατινγ τηε Σενσορ Ηεαδ 4 4

5 Φαυλτ ιαγνοσισ 5 Φαυλτ ιαγνοσισ Σιµπλε τεστσ αρε δεσχριβεδ ιν τηε φολλοωινγ ωηιχη ψου χαν χαρρψ ουτ ψουρσελφ ιν τηε χασε οφ µαλφυνχτιον. Ιν τηε χασε οφ µορε διφφιχυλτ φαυλτσ ιν ινδιϖιδυαλ φυνχτιονσ, πλεασε χονταχτ ουρ σερϖιχε περσοννελ. Τηε τεστσ δεσχριβεδ ηερε αρε νοτ µεαντ το λεαδ ψου το χαρρψ ουτ µαιντενανχε ωορκ ψουρσελφ βυτ το προϖιδε ουρ σερϖιχε περσοννελ ωιτη ινφορµατιον ωηιχη ισ ασ αχχυρατε ασ ποσσιβλε. Τεστινγ τηε ϖιβροµετερ ισ λιµιτεδ το συχη τεστσ ιν ωηιχη τηε ηουσινγ δοεσ νοτ ηαϖε το βε οπενεδ. Οπενινγ τηε ηουσινγ ωιτηουτ αυτηοριζατιον ινϖαλιδατεσ τηε ωαρραντψ. Ιφ ρεθυιρεδ, πλεασε χονταχτ ουρ σερϖιχε δεπαρτµεντ. Βασεδ ον ψουρ φαυλτ δεσχριπτιον, φυρτηερ προχεδυρε ωιλλ βε δετερµινεδ. Ιφ τηε ϖιβροµετερ ηασ το βε σεντ βαχκ φορ ρεπαιρ, αλωαψσ υσε τηε οριγιναλ παχκαγινγ ανδ ενχλοσε αν εξαχτ δεσχριπτιον οφ τηε φαυλτ. Πλεασε υσε τηε χορρεσπονδινγ χηεχκλιστ ιν τηε υσερ µανυαλ οφ τηε χοντρολλερ, ωηεν ψου χονσυλτ Πολψτεχ ορ ψουρ νεαρεστ ρεπρεσεντατιϖε. 5.1 Νο Λασερ Βεαµ Ιφ νο λασερ βεαµ ισ εµιττεδ, πλεασε χηεχκ τηε φολλοωινγ: 1. Ισ τηε χοννεχτινγ χαβλε βετωεεν τηε χοντρολλερ ανδ τηε σενσορ ηεαδ ινσταλλεδ χορρεχτλψ? 2. Αρε τηε ϕαχκσ ον τηε χοννεχτινγ χαβλε σχρεωεδ ιν σεχυρελψ? 3. Ισ τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ λιτ υπ αφτερ σωιτχηινγ τηε χοντρολλερ ον? Ωαρνινγ! Αλωαψσ δισχοννεχτ φροµ τηε µαινσ βεφορε χηεχκινγ τηε φυσεσ! Ιφ τηε ΛΕ ισ νοτ λιτ υπ, ιτ χαν βε ασσυµεδ τηατ τηερε ισ α α φαυλτ ωιτη τηε µαινσ ποωερ συππλψ οφ τηε χοντρολλερ. ισχοννεχτ τηε µαινσ πλυγ ανδ χηεχκ τηε φυσεσ ον τηε βαχκ οφ τηε χοντρολλερ. Νοτε τηατ τηερε αρε τωο αχτιϖε φυσεσ ωηιχη χαν βοτη λεαδ το φαιλυρε. 4. Ισ τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ πρεσσεδ ονχε αφτερ σωιτχηινγ τηε χοντρολλερ ον? Τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΟΝ λιγητσ υπ ωηεν τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ ισ ονχε πρεσσεδ ανδ τηυσ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ. Ατ τηε σαµε τιµε τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ γοεσ ουτ. Πρεσσινγ τηε βεαµ σηυττερ κεψ ΛΑΣΕΡ α σεχονδ τιµε τηε βεαµ σηυττερ ισ χλοσεδ, ατ τηε σαµε τιµε τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΟΝ γοεσ ουτ ανδ τηε ΛΕ ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ λιγητσ υπ αγαιν. 5. Ισ α βρεακ οφ τηε οπτιχαλ φιβερ χαβλε ϖισιβλε? 5 1

5 Φαυλτ ιαγνοσισ 5.2 Νο Μεασυρεµεντ Σιγναλ Ιφ τηε λασερ βεαµ ισ εµιττεδ βυτ τηερε ισ νο µεασυρεµεντ σιγναλ, χηεχκ τηε σιγναλ λεϖελ δισπλαψ. Το δο σο, προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Πυτ α πιεχε οφ ρεφλεχτιϖε φιλµ ατ αν οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε αχχορδινγ το τηε ινφορµατιον γιϖεν ιν χηαπτερ 3 ιν τηε βεαµ πατη. 2. Φοχυσ τηε λασερ βεαµ ον τηε ρεφλεχτιϖε φιλµ. οεσ τηε σιγναλ λεϖελ δισπλαψ ρεαχτ? Ιφ τηε σιγναλ λεϖελ δισπλαψ δοεσ νοτ ρεαχτ, τηε ινπυτ σεχτιον οφ τηε χοντρολλερ ισ φαυλτψ. Ιφ τηε µαλφυνχτιον χαννοτ βε ελιµινατεδ βψ αβοϖε µεντιονεδ τεστσ, πλεασε προχεεδ ωιτη τηε φαυλτ διαγνοσισ ασ δεσχριβεδ ιν τηε υσερ µανυαλ οφ τηε χοντρολλερ. 5 2

6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ 6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ 6.1 Στανδαρδσ Αππλιεδ Λασερ σαφετψ: ΕΝ 60825 1 ( ΙΝ ς Ε 0837) Ελεχτριχαλ σαφετψ: ΕΜΧ: ΕΝ 61010 (σαφετψ ρεθυιρεµεντσ φορ ελεχτριχαλ εθυιπµεντ φορ µεασυρεµεντ, χοντρολ ανδ λαβορατορψ υσε) ΕΝ 61326 1, ΕΝ 61326 / Α1 (ελεχτριχαλ εθυιπµεντ φορ µεασυρεµεντ, χοντρολ ανδ λαβορατορψ υσε ΕΜΧ ρεθυιρεµεντσ) Εµισσιον: ΦΧΧ Χλασσ Β, ΕΝ 61000 3 2, ΕΝ 61000 3 3 Ιµµυνιτψ: ΕΝ 61000 4 2 ανδ τηε φολλοωινγ 6.2 Γενεραλ ατα Λασερ Λασερ τψπε: ηελιυµ νεον Ωαϖελενγτη: 633νµ Χαϖιτψ λενγτη: 204µµ ±1µµ ΟΦς 511 Λασερ σαφετψ χλασσ: 2 (ιν νον ΕΧ χουντριεσ: ΙΙ) Λασερ ουτπυτ ποωερ: < 1µΩ Λενγτη οφ φιβερ χαβλε: 2000µµ (3000µµ φορ οπτιον ΟΦς Χ 11) Μινιµυµ βενδινγ ραδιυσ: 50µµ ΟΦς 512 Λασερ σαφετψ χλασσ: 3Ρ (ιν νον ΕΧ χουντριεσ: ΙΙΙα) Λασερ ουτπυτ ποωερ: < 5µΩ (< 1µΩ περ φιβερ) Λενγτη οφ φιβερ χαβλε φροµ ηουσινγ το Ψ ϕυνχτιον: 1500µµ (2400µµ φορ οπτιον ΟΦς Χ 21) Ψ ϕυνχτιον το φιβερ ηεαδ: 500µµ (600µµ φορ οπτιον ΟΦς Χ 21) Μινιµυµ βενδινγ ραδιυσ: 50µµ Ελεχτριχαλ ατα Ποωερ χονσυµπτιον: Χαρριερ φρεθυενχψ: χα. 15Ω 40ΜΗζ Αµβιεντ Χονδιτιονσ Οπερατινγ τεµπερατυρε: Στοραγε τεµπερατυρε: Ρελατιϖε ηυµιδιτψ: +0 Χ...+40 Χ (32 Φ...104 Φ) 15 Χ...+65 Χ (5 Φ...149 Φ) µαξ. 80%, νον χονδενσινγ 6 1

6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ Ηουσινγ ιµενσιονσ (ωιτηουτ χαβλε): 235µµ 355µµ 140µµ Ωειγητ: αππροξ. 8.0κγ 6.3 Οπτιχσ Χηαραχτεριστιχσ Μαξιµα οφ ςισιβιλιτψ Μινι σενσορ Φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 ΟΦς 130 3 ΟΦς 130 5 Φοχαλ λενγτη µµ 16 20 60 80 Μινιµυµ στανδ οφφ διστανχε 1 µµ 60 80 55 ±2 76 ±2 Απερτυρε διαµετερ (1/ε 2 ) µµ 3.2 4 16 16 Σποτ σιζε (τψπ.) µµ 55µµ 15 3 76µµ 20 5 100µµ 27 27 300µµ 90 75 1000µµ 320 250 εαχη αδδιτιοναλ µετερ πλυσ 320 250 1 Τηε µαξιµυµ στανδ οφφ διστανχε δεπενδσ ον τηε βαχκ σχαττερινγ προπερτιεσ οφ τηε οβϕεχτ ανδ ισ µεασυρεδ φορµ τηε σηουλδερ οφ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινισενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ. ΟΦς 511 1 Σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 2 (διφφερεντιαλ µεασυρεµεντ) ΟΦς 512 1 (σινγλε ποιντ µεασυρεµεντ ωιτη τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151) Μαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 1 Μεασυρεδ φροµ τηε σηουλδερ οφ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ 2 ιφφερενχε βετωεεν τηε στανδ οφφ διστανχεσ οφ βοτη αρµσ 135µµ + (ν λ)µµ, ν = 0; 1; 2;..., λ = 204 ±1µµ 0µµ + (ν λ)µµ, ν = 0; 1; 2;..., λ = 204 ±1µµ 63µµ + (ν λ)µµ, ν = 0; 1; 2;..., λ = 204 ±1µµ Φοχυσινγ µοτιον Α χιρχυλαρ µοτιον οφ τηε λασερ βεαµ ισ ϖισιβλε δυρινγ φοχυσινγ. Ατ 1µ στανδ οφφ διστανχε, τηε µαξιµυµ διαµετερ οφ τηε χιρχλε ισ: φορ τηε µινι σενσορ: 5µµ φορ τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102: 0.25µµ 6 2

6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ 6.4 ιµενσιονσ Φιβερ Ηεαδσ ΟΦς 102 Λενγτη: 57µµ ιαµετερ: 20µµ ιαµετερ οφ τηε φοχυσινγ ρινγ: 24µµ ΟΦς 130 3, ΟΦς 130 5 Λενγτη: χα. 105µµ ιαµετερ: 20µµ ιαµετερ οφ τηε φοχυσινγ ρινγ: 24µµ Σιδε Εξιτ Ηεαδσ ΟΦς Χ 102 # % # # % # # ' $ # # % #? =! Φιγυρε 6.1: ςιεω οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδ ΟΦς Χ 102 (διµενσιονσ νοτ σπεχιφιεδ αρε γιϖεν ιν µµ) ΟΦς Χ 110 # % # # % # ' $ # # & #? =! Φιγυρε 6.2: ςιεω οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδ ΟΦς Χ 110 (διµενσιονσ νοτ σπεχιφιεδ αρε γιϖεν ιν µµ 6 3

$ 6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ Ρεφερενχε Ηεαδσ ΟΦς 151 Λενγτη: χα. 70µµ ιαµετερ: 20µµ ιαµετερ οφ τηε φοχυσινγ ρινγ: 22.5µµ ΟΦς 153 (ρεφερ αλσο το σεχτιον Α.2)! # " "! $! #! & # # # " + K J A H I E B H $, 1 ' Φιγυρε 6.3: Ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 6.5 Ταβλε οφ τηε Μαξιµα οφ ςισιβιλιτψ Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 511 Μαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ (ιν µµ) φορ λ = 204µµ 135 1767 3399 5031 6663 8295 339 1971 3603 5235 6867 8499 543 2175 3807 5439 7071 8703 747 2379 4011 5643 7275 8907 951 2583 4215 5847 7479 9111 1155 2787 4419 6051 7683 9315 1359 2991 4623 6255 7887 9519 1563 3195 4827 6459 8091... 6 4

6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512 Μαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ (ιν µµ) φορ λ = 204µµ 0 1632 3264 4896 6528 8160 204 1836 3468 5100 6732 8364 408 2040 3672 5304 6936 8568 612 2244 3876 5508 7140 8772 816 2448 4080 5712 7 344 8976 1020 2652 4284 5916 7548 9180 1224 2856 4488 6120 7752 9384 1428 3060 4692 6324 7956... Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512 ωιτη Ρεφερενχε Ηεαδ ΟΦς 151 Μαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ (ιν µµ) φορ λ = 204µµ 63 1695 3327 4959 6591 8223 267 1899 3531 5163 6795 8427 471 2103 3735 5367 6999 8631 675 2307 3939 5571 7203 8835 879 2511 4143 5775 7407 9039 1083 2715 4347 5979 7611 9243 1287 2919 4551 6183 7815 9447 1491 3123 4755 6387 8019... 6 5

6 Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ 6 6

Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Αππενδιξ Α: Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Α.1 Φιβερ Ηεαδσ Οϖερϖιεω Τηε φολλοωινγ φιβερ ηεαδσ αρε αϖαιλαβλε φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511/ 512: ΟΦς 102 στανδαρδ φιβερ ηεαδ ΟΦς 130 3 φορ βεαµ διαµετερ 3µµ ΟΦς 130 5 φορ βεαµ διαµετερ 5µµ Ασσεµβλψ Το µουντ τηε φιβερ ηεαδ οντο τηε φιβερ, ψου προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Υνσχρεω τηε µινι σενσορ φροµ τηε φιβερ ανδ κεεπ ιν α σαφε πλαχε βεχαυσε εαχη µινι σενσορ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ φιβερ. 2. Σχρεω τηε φιβερ ηεαδ οντο τηε ενδ οφ τηε φιβερ υντιλ ιτ ισ σεχυρελψ φιξεδ. Τηε φιβερ ηεαδ χαν νοω βε υσεδ. Φορ τηε τεχηνιχαλ σπεχιφιχατιον, πλεασε ρεφερ το σεχτιον 6.3 ανδ το σεχτιον 6.4. Α.2 Ρεφερενχε Ηεαδ ΟΦς 153 (Ονλψ φορ Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 512) Οϖερϖιεω Ιφ ψου χαρρψ ουτ σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ ωιτη τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512, τηε ρεφερενχε φιβερ µυστ βε τερµινατεδ ωιτη α ρεφερενχε ηεαδ. Τηε ρεφερενχε φιβερ ισ µαρκεδ ωιτη α ρεδ δοτ. Ασ δεσχριβεδ ιν χηαπτερ 3, τηε ιντενσιτψ οφ τηε οπτιχαλ σιγναλ ϖαριεσ περιοδιχαλλψ ωιτη τηε στανδ οφφ διστανχε. Τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ισ συιταβλε φορ αδϕυστινγ τηε µαξιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ ιφ τηε στανδ οφφ διστανχε οφ τηε φιβερ ηεαδ χαν νοτ βε χηανγεδ. Τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ισ υσεδ ιν χοµβινατιον ωιτη τηε στανδαρδ φιβερ ηεαδ ΟΦς 102. Τηε µουντεδ ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ισ σηοων ιν φιγυρε Α.1. 5 E @ A H E > A H D A = @ 8 Φιγυρε Α.1: Ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Υσινγ τηε ΟΦς 153, τηε διστανχε βετωεεν τηε µιρρορ ανδ τηε φιβερ χαν βε ϖαριεδ. Τηισ ισ αχηιεϖεδ βψ µοϖινγ τηε ρετροπρισµ ιν τηε ρεφερενχε ηεαδ υσινγ τηε σλιδερ. Ιν αδδιτιον, τηε ιντενσιτψ οφ τηε σιγναλ χαν βε οπτιµιζεδ βψ χολλιµατινγ τηε λασερ βεαµ οντο τηε ρετροπρισµ ωιτη τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102. Α 1

! Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Ασσεµβλψ Φορ µουντινγ τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153, ψου προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Μακε συρε τηατ τηε βεαµ σηυττερ ον τηε σενσορ ηεαδ ισ χλοσεδ. 2. Υνσχρεω τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ φροµ τηε χοννεχτορ οφ τηε µεασυρεµεντ φιβερ. 3. Σχρεω τηε στανδαρδ ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 οντο τηε ενδ οφ τηε µεασυρεµεντ φιβερ υντιλ ιτ ισ σεχυρελψ ατταχηεδ. 4. Σχρεω τηε στανδαρδ φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 οντο τηε χοννεχτορ οφ τηε ρεφερενχε φιβερ υντιλ ιτ ισ σεχυρελψ ατταχηεδ. 5. Οπεν τηε βεαµ σηυττερ ανδ χολλιµατε τηε λασερ βεαµ οφ τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 βψ τυρνινγ τηε φοχυσινγ ρινγ. Ωαρνινγ! Νεϖερ λοοκ διρεχτλψ ιντο τηε λασερ βεαµ ωιτη τηε νακεδ εψε ορ ωιτη τηε αιδ οφ µιρρορσ ορ οπτιχαλ ινστρυµεντσ! Χλοσε τηε βεαµ σηυττερ ανδ µουντ τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 το τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ασ σηοων ιν φιγυρε Α.2. Φιγυρε Α.2: Μουντινγ τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 το τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Νοτε! Παψ αττεντιον τηατ τηε ωηολε χονταχτ συρφαχε 1 οφ τηε φιβερ ηεαδ φιτσ το τηε ηολδινγ δεϖιχε! 6. Σεχυρε τηε φιβερ ηεαδ ΟΦς 102 ωιτη τηε χλαµπινγ δεϖιχε 2 ανδ τηε τωο κνυρλεδ σχρεωσ 3 ιν φιγυρε Α.2. Α 2

! Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Αδϕυστ τηε λασερ βεαµ Το χορρεχτλψ αδϕυστ τηε λασερ βεαµ, ψου προχεεδ ασ φολλοωσ: Μοϖε τηε σλιδερ 1 οφ τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ιν φιγυρε Α.3 το ιτσ σταρτινγ ποσιτιον ατ 0µµ. Φιγυρε Α.3: Αδϕυστινγ τηε λασερ βεαµ ιν τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 7. Αδϕυστ τηε σιγναλ λεϖελ το αν οπτιµυµ βψ τυρνινγ τηε κνυρλεδ σχρεωσ 2 ανδ 3 ιν φιγυρε Α.3. 8. Μοϖε τηε σλιδερ 1 το τηε ενδ ποσιτιον ατ 200µµ ανδ αδϕυστ τηε σιγναλ λεϖελ το αν οπτιµυµ αγαιν υσινγ τηε κνυρλεδ σχρεωσ 2 ανδ 3. 9. Υνσχρεω τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 φροµ τηε µεασυρεµεντ φιβερ ανδ κεεπ ιτ ιν α σαφε πλαχε βεχαυσε εαχη ρεφερενχε ηεαδ ισ εξαχτλψ αδϕυστεδ το ιτσ ρεφερενχε φιβερ. 10. Σχρεω τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ οντο τηε χοννεχτορ οφ τηε µεασυρεµεντ φιβερ. 11. Ποιντ τηε µινι σενσορ ορ τηε φιβερ ηεαδ ον τηε οβϕεχτ υνδερ ινϖεστιγατιον ανδ αδϕυστ φορ µαξιµυµ σιγναλ υσινγ τηε σλιδερ 1. Α 3

Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Αδϕυστ τηε στανδ οφφ διστανχε Το χορρεχτλψ αδϕυστ τηε στανδ οφφ διστανχε, ψου προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Μεασυρε τηε διστανχε φροµ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινι σενσορ ορ φιβερ ηεαδ το τηε οβϕεχτ υνδερ ινϖεστιγατιον. 2. Χοµπαρε ιτ ωιτη τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε δεσχριβεδ ιν χηαπτερ 3 ανδ µοϖε τηε σλιδερ 1 το τηε ποσιτιον, ωηιχη χορρεσπονδσ το τηε λενγτη διφφερενχε βετωεεν τηε µεασυρεδ λενγτη ανδ τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε. Ορ: Νοω ψου αρε ιν α µαξιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ. 1. Ποιντ τηε µινι σενσορ ορ φιβερ ηεαδ οντο τηε οβϕεχτ υνδερ ινϖεστιγατιον. 2. Φοχυσ τηε λασερ βεαµ ον τηε οβϕεχτ. 3. Ιφ τηε σιγναλ λεϖελ σηοων ον τηε φροντ οφ τηε σενσορ ηεαδ περιοδιχαλλψ φλυχτυατε, α µινιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ ισ ινδιχατεδ (ρεφερ το χηαπτερ 3). 4. Μοϖε τηε σλιδερ 1 αππροξιµατελψ 100µµ αωαψ ανδ τηε οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε ισ αδϕυστεδ. Τηε ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 ισ νοω ωελλ ασσεµβλεδ ανδ αδϕυστεδ. Ψου χαν υσε τηε ρεφερενχε ηεαδ ασ δεσχριβεδ ιν χηαπτερ 4. Φορ τηε διµενσιονσ οφ τηε ρεφερενχε ηεαδ, πλεασε ρεφερ το σεχτιον 6.4. Α 4

% $ "! Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Α.3 Σιδε Εξιτ Ηεαδ ΟΦς Χ 102 ανδ ΟΦς Χ 110 Οϖερϖιεω Τηε σιδε εξιτ ηεαδσ ηαϖε α µιρρορ ανδ α σιδε εξιτ ωινδοω. Τηε λασερ βεαµ χαν τηυσ βε δεφλεχτεδ βψ 90 δεγρεεσ φροµ τηε ουτπυτ διρεχτιον φροµ τηε φιβερ. Τηε φολλοωινγ σιδε εξιτ ηεαδσ αρε αϖαιλαβλε φορ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511/ 512: ΟΦς Χ 102, 90 στεερινγ ηεαδ, διαµετερ 5µµ ΟΦς Χ 110, 90 στεερινγ ηεαδ, διαµετερ 10µµ Φορ τηε διµενσιονσ οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδσ, πλεασε ρεφερ το σεχτιον 6.4. Ασσεµβλψ Τηε ασσεµβλψ οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδ ΟΦς Χ 102 ανδ ΟΦς Χ 110 ισ µαδε ιν τηε σαµε ωαψ. Τηε σιδε εξιτ ηεαδ ΟΦς Χ 110 ωιτη µινι σενσορ µουντεδ ισ σηοων ιν φιγυρε Α.4. # Φιγυρε Α.4: Σιδε εξιτ ηεαδ ΟΦς Χ 110 ωιτη µινι σενσορ µουντεδ Το µουντ τηε σιδε εξιτ ηεαδ, ψου προχεεδ ασ φολλοωσ: 1. Πλαχε τηε µινι σενσορ 4 ιντο τηε σιδε εξιτ ηεαδ ασ φαρ ασ τηε σηουλδερ οφ τηε χοννεχτορ φορ τηε µινι σενσορ ισ ποσιτιονεδ ατ τηε εδγε οφ τηε οπενινγ 5. Τηε διστανχε φροµ τηε εδγε οφ τηε οπενινγ 5 το τηε εξιτ ωινδοω 1 ισ αβουτ 130µµ. 2. Φιξ τηε µινι σενσορ βψ γεντλψ τιγητενινγ τηε στυδ σχρεω 6. 3. Φιξ τηε ηολδινγ δεϖιχε προϖιδεδ οντο τηε γριπ 7 οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδ. 4. Ποσιτιον τηε σιδε εξιτ ηεαδ ατ τηε µεασυρεµεντ λοχατιον. 5. Ψου χαν ποσιτιον τηε εξιτ ωινδοω 1 συβσεθυεντλψ βψ ρεµοϖινγ τηε κνυρλεδ σχρεω 3, τυρνινγ τηε προβε 2 ανδ φιξινγ τηε κνυρλεδ σχρεω αγαιν. 6. Φοχυσ τηε λασερ βεαµ βψ τυρνινγ τηε φοχυσινγ ρινγ οφ τηε µινι σενσορ 4 τηρουγη τηε οπενινγ ον τηε σιδε εξιτ ηεαδ. Α 5

Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Α.4 Φλεξιβλε Αρµ ΟΦς 039 Τηε φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 ισ α µουντ δεϖιχε φορ τηε µινι σενσορ οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511/ 512. Τηε µινι σενσορ χαν τηυσ βε εασιλψ ποσιτιονεδ ιν πλαχεσ ωηιχη αρε διφφιχυλτ το αχχεσσ. Τηε ηεαϖψ στεελ βασε ενσυρεσ τηατ ιτ στανδσ σεχυρελψ ανδ ιφ ρεθυιρεδ τηε στεελ βασε χαν βε σχρεωεδ οντο τηε συρφαχε βενεατη ϖια τηε δριλλεδ µουντινγ ηολεσ (ρεφερ το φιγυρε Α.6). Αλτερνατιϖελψ, τηε φλεξιβλε αρµ χαν βε ατταχηεδ το ανψ µαγνετιχ συρφαχε ωηιχη ισ λαργε ενουγη υσινγ τηε µαγνετιχ βασε. Τηε φλεξιβλε αρµ ισ σηοων ιν φιγυρε Α.5. 4 5 6 3 2 1 Φιγυρε Α.5: Φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 φορ τηε µινι σενσορ 1 Βασε πλατε ωιτη δριλλεδ µουντινγ ηολεσ (ρεφερ αλσο το φιγυρε Α.6) 2 Μαγνετ φοοτ ωιτη σωιτχη 3 Λοχκινγ ωηεελ φορ τηε ϕοιντσ 4 Κνυρλεδ σχρεω φορ φινε ποσιτιονινγ 5 Μουντ φορ τηε µινι σενσορ 6 Αλλεν σχρεω Μ3 το µουντ τηε µινι σενσορ Α 6

& ) ) Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Τεχηνιχαλ Σπεχιφιχατιονσ Ωειγητ (ινχλ. βασε πλατε): 3.2κγ Ηειγητ: µαξ. 400µµ Βασε πλατε διµενσιονσ: ρεφερ το φιγυρε Α.6 N " # & # ) ) # & + K J A H I E E C, 1 % " $! N Φιγυρε Α.6: Βασε πλατε φορ τηε φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 (διµενσιονσ νοτ σπεχιφιεδ αρε γιϖεν ιν µµ) Α 7

Α Οπτιοναλ Αχχεσσοριεσ φορ τηε Σενσορ Ηεαδ Α 8

Β Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε Αππενδιξ Β: Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε Β.1 Τηεορψ οφ Ιντερφεροµετριχ ςελοχιτψ ανδ ισπλαχεµεντ Μεασυρεµεντ Οπτιχαλ ιντερφερενχε χαν βε οβσερϖεδ ωηεν τωο χοηερεντ λιγητ βεαµσ αρε µαδε το χοινχιδε. Τηε ρεσυλτινγ ιντενσιτψ ε.γ. ον α πηοτο δετεχτορ ϖαριεσ ωιτη τηε πηασε διφφερενχε ϕ βετωεεν τηε τωο βεαµσ αχχορδινγ το τηε εθυατιον Ι( ϕ) = Ι µαξ ( 1+ χοσ ϕ) 2 Εθυατιον Β.1 Τηε πηασε διφφερενχε ϕ ισ α φυνχτιον οφ τηε πατη διφφερενχε Λ βετωεεν τηε τωο βεαµσ αχχορδινγ το ϕ = 2π Λ λ Εθυατιον Β.2 ωηερε λ ισ τηε λασερ ωαϖελενγτη. Ιφ ονε οφ τηε τωο βεαµσ ισ σχαττερεδ βαχκ φροµ α µοϖινγ οβϕεχτ (τηε οβϕεχτ βεαµ), τηε πατη διφφερενχε βεχοµεσ α φυνχτιον οφ τιµε Λ=Λ(τ). Τηε ιντερφερενχε φρινγε παττερν µοϖεσ ον τηε δετεχτορ ανδ τηε δισπλαχεµεντ οφ τηε οβϕεχτ χαν βε δετερµινεδ υσινγ διρεχτιοναλλψ σενσιτιϖε χουντινγ οφ τηε πασσινγ φρινγε παττερν. Τηε ϖελοχιτψ χοµπονεντ ιν τηε διρεχτιον οφ τηε οβϕεχτ βεαµ ισ α φυνχτιον οφ τηε πατη διφφερενχε Λ αχχορδινγ το δλ() τ δτ Φορ α χονσταντ µοϖεµεντ ϖ = ϖτ () 2. Εθυατιον Β.3 δλ() τ δτ λ = δϕ 2π = φ λ = ϖ 2 δτ Εθυατιον Β.4 αππλιεσ ωιτη φ = 2 ϖ. Εθυατιον Β.5 λ Τηυσ α χονσταντ µοϖεµεντ οφ τηε οβϕεχτ χαυσεσ α φρεθυενχψ σηιφτ ατ τηε οβϕεχτ βεαµ ωηιχη ισ χαλλεδ οππλερ σηιφτ φ. Συπεριµποσινγ οβϕεχτ βεαµ ανδ ιντερναλ ρεφερενχε βεαµ, ι.ε. τωο ελεχτροµαγνετιχ ωαϖεσ ωιτη σλιγητλψ διφφερεντ φρεθυενχιεσ, γενερατεσ α βεατ φρεθυενχψ ατ τηε δετεχτορ ωηιχη ισ εθυαλ το τηε οππλερ σηιφτ. Τηε ρατιο Β.5 το δετερµινε τηε ϖελοχιτψ ισ, ηοωεϖερ, ινδεπενδεντ οφ ιτσ σιγν. Τηε διρεχτιον οφ τηε ϖελοχιτψ χαν βε δετερµινεδ βψ ιντροδυχινγ αν αδδιτιοναλ φιξεδ φρεθυενχψ σηιφτ φ Β ιν τηε ιντερφεροµετερ το ωηιχη τηε οππλερ σηιφτ ισ αδδεδ ωιτη τηε χορρεχτ σιγν. Β 1

Β Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε Τηυσ τηε ρεσυλτινγ φρεθυενχψ ατ τηε δετεχτορ φ µοδ ισ γιϖεν βψ φ µοδ = φ Β + 2 ϖ. Εθυατιον Β.6 λ Ιντερφεροµετερσ οφ τηισ τψπε ωηιχη αρε διρεχτιοναλλψ σενσιτιϖε αρε δεσχριβεδ ασ ηετεροδψνε. Β.2 Οπτιχαλ Χονφιγυρατιον ιν τηε Σενσορ Ηεαδ ΟΦς 511/ 512 Ιν Πολψτεχ σ ϖιβροµετερσ, τηε ϖελοχιτψ ανδ δισπλαχεµεντ µεασυρεµεντ ισ χαρριεδ ουτ υσινγ α µοδιφιεδ Μαχη Ζεηνδερ ιντερφεροµετερ. ΟΦς 511 Τηε οπτιχαλ χονφιγυρατιον ιν τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 ισ σηοων σχηεµατιχαλλψ ιν φιγυρε Β.1. = I A H E > A H 0 A = @ * 5 * 5 + K F A H E > A H " H > A? J E E 5 A I H > A? J * A = 4 A B A H A? A * A = * H = C C + A 2 H E I * 5!, A J A? J H Φιγυρε Β.1: Οπτιχαλ χονφιγυρατιον οφ τηε ιντερφεροµετερ ιν τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 Τηε λιγητ σουρχε ισ α ηελιυµ νεον λασερ ωηιχη προϖιδεσ α λινεαρ πολαριζεδ βεαµ. Τηε πολαριζινγ βεαµ σπλιττερ ΒΣ1 σπλιτσ τηε βεαµ ιντο τηε οβϕεχτ βεαµ ανδ τηε ρεφερενχε βεαµ. Τηε οβϕεχτ βεαµ πασσεσ τηρουγη τηε πολαριζινγ βεαµ σπλιττερ ΒΣ2 ανδ ισ φοχυσεδ ιντο τηε φιβερ ωιτη αν ινπυτ χουπλερ. Τηε βεαµ ισ τηεν εµιττεδ φροµ τηε ενδ οφ τηε φιβερ, πασσεσ τηρουγη α λ/4 πλατε ανδ ισ φοχυσεδ υσινγ τηε φιβερ ηεαδ ορ τηε µινι σενσορ ον τηε οβϕεχτ ανδ σχαττερεδ βαχκ φροµ τηερε. Τηε πολαριζινγ βεαµ σπλιττερ ΒΣ2 τηεν φυνχτιονσ ασ αν οπτιχαλ διρεχτιοναλ χουπλερ τογετηερ ωιτη τηε λ/4 πλατε, ανδ δεφλεχτσ τηε οβϕεχτ βεαµ το τηε βεαµ σπλιττερ ΒΣ3. Ασ βοτη αρµσ οφ τηε ιντερναλ ιντερφεροµετερ αρε σψµµετριχαλ, τηε οπτιχαλ πατη διφφερενχε ϖανισηεσ ωιτηιν τηε ιντερφεροµετερ. Τηε ρεσυλτινγ πατη διφφερενχε ισ εθυαλ το τωιχε τηε διστανχε βετωεεν τηε βεαµ σπλιττερ ΒΣ2 ανδ τηε οβϕεχτ. Τηε Βραγγ χελλ ιν τηε ρεφερενχε αρµ γενερατεσ τηε αδδιτιοναλ φρεθυενχψ οφφσετ το δετερµινε τηε σιγν οφ τηε ϖελοχιτψ. Β 2

Β Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε Τηε ρεσυλτινγ ιντερφερενχε σιγναλ οφ τηε οβϕεχτ βεαµ ανδ ρεφερενχε βεαµ ισ χονϖερτεδ ιντο αν ελεχτριχαλ σιγναλ ιν τηε πηοτο δετεχτορ ανδ συβσεθυεντλψ δεχοδεδ ιν τηε χοντρολλερ. ΟΦς 512 Τηε οπτιχαλ χονφιγυρατιον οφ τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 ισ σηοων σχηεµατιχαλλψ ιν φιγυρε Β.2. = I A H E > A H 0 A = @ * 5 * 5 + K F A H E > A H " H > A? J E E 5 A I H > A? J * A = 4 A B A H A? A * A = * H = C C + A * 5 " * 5! + K F A H E > A H, A J A? J H " E > A H 0 A = @ H E E 5 A I H > A? J Φιγυρε Β.2: Οπτιχαλ χονφιγυρατιον οφ τηε ιντερφεροµετερ ιν τηε σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 Ιν χοντραστ το τηε ΟΦς 511, τηε βεαµ ισ χουπλεδ ουτ οφ τηε ρεφερενχε αρµ ασ ωελλ ασ τηε οβϕεχτ αρµ ηερε. Ασ τηε ρεσυλτινγ σιγναλ ονλψ δεπενδσ ον τηε πατη διφφερενχε, τηισ αλλοωσ οπτιχαλ γενερατιον οφ α τρυε διφφερενχε σιγναλ. Ωιτη τηε ΟΦς 512 τηε πρισµ ιν τηε ρεφερενχε αρµ ισ ρεπλαχεδ βψ ανοτηερ βεαµ σπλιττερ ΒΣ4 ωηιχη ηασ τηε σαµε χηαραχτεριστιχσ ασ τηε βεαµ σπλιττερ ΒΣ2. Τηε σιγναλ µεασυρεδ ηερε ισ τηυσ τηε ρελατιϖε ϖελοχιτψ ορ δισπλαχεµεντ βετωεεν τηε τωο οβϕεχτσ. Β 3

Β Βασιχσ οφ τηε Μεασυρεµεντ Προχεδυρε Β 4

Ινδεξ Ινδεξ Α αχχεσσορψ, οπτιοναλ φιβερ ηεαδσ Α 1 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 Α 6 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 1 σιδε εξιτ ηεαδσ Α 5 αχχλιµατιζατιον περιοδ 2 2 αιρ χιρχυλατιον 2 2 αµβιεντ χονδιτιονσ, σπεχιφιχατιονσ 6 1 απερτυρε διαµετερ 6 2 αππλιεδ στανδαρδσ, σπεχιφιχατιονσ 6 1 ασσεµβλψ φιβερ ηεαδσ Α 1 µινι σενσορ 4 2 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 4 2 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 2 σιδε εξιτ ηεαδσ Α 5 Β βαχκ πανελ χοντρολ ελεµεντσ ΟΦς 511 2 4 χοντρολ ελεµεντσ ΟΦς 512 2 6 βασιχσ, µεασυρεµεντ προχεδυρε Β 1 βεαµ σηυττερ κεψ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 βεαµ σηυττερ, βλοχκινγ τηε λασερ βεαµ 4 1 βεαµ σπλιττερ Β 2 βεατ φρεθυενχψ Β 1 βενδινγ ραδιυσ, φιβερ χαβλε 6 1 βλοχκινγ, τηε λασερ βεαµ 4 1 Βραγγ χελλ Β 2 Χ χαβλινγ 2 7 χαρριερ φρεθυενχψ 6 1 χαϖιτψ λενγτη λασερ 3 1 σπεχιφιχατιονσ 6 1 χηανγε ιν τεµπερατυρε 2 2 χηεχκ, ωηεν υνπαχκινγ 2 1 χηεχκλιστ, φορ φαυλτ διαγνοσισ 5 1 χλεανινγ, ηουσινγ 2 2 χλιµατε χονδιτιονσ 2 2 χοηερεντ λιγητ βεαµσ Β 1 χοµπονεντσ οπτιχαλ 2 2 υνπαχκινγ 2 1 χονφιγυρατιον, οπτιχαλ ΟΦς 511 Β 2 ΟΦς 512 Β 3 χοννεχτινγ χαβλεσ, προτεχτ 2 2 χοννεχτορ ΣΙΓΝΑΛ ΠΡΟΧΕΣΣΟΡ ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 χοντρολ ελεµεντσ βαχκ πανελ ΟΦς 511 2 4 βαχκ πανελ ΟΦς 512 2 6 φροντ πανελ ΟΦς 511 2 3 φροντ πανελ ΟΦς 512 2 5 χοολινγ 2 2 δαµαγε 2 1 δεπτη οφ φιελδ 6 2 διµενσιονσ φιβερ ηεαδσ 6 3 ηουσινγ 6 2 ρεφερενχε ηεαδσ 6 4 σιδε εξιτ ηεαδσ 6 3 διρτ, ον οπτιχαλ χοµπονεντσ 2 2 δισπλαχεµεντ µεασυρεµεντ, ιντερφεροµετριχ Β 1 οππλερ φρεθυενχψ Β 1 Ε ΕΧ χουντριεσ λασερ ωαρνινγ λαβελσ 1 2 ποσιτιον οφ τηε λασερ ωαρνινγ λαβελσ 1 3 ελεχτριχαλ δατα, σπεχιφιχατιονσ 6 1 ελεχτριχαλ σαφετψ, στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 ΕΜΧ, στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 εµισσιον, στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 εθυιπµεντ, οπενινγ υπ 2 2 εξχηανγινγ φιβερ ηεαδσ Α 1 µινι σενσορ 4 2 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 151 4 2 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 2 σιδε εξιτ ηεαδσ Α 5 Φ φαυλτ δεσχριπτιον 5 1 φαυλτ διαγνοσισ 5 1 νο λασερ βεαµ 5 1 νο µεασυρεµεντ σιγναλ 5 2 φιβερ ηεαδσ διµενσιονσ 6 3 εξχηανγινγ Α 1 οϖερϖιεω Α 1 σπεχιφιχατιονσ 6 2 ι

Ινδεξ φιβερ οπτιχ χαβλε λενγτη ανδ βενδινγ ραδιυσ 6 1 ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 δεσχριπτιον Α 6 τεχηνιχαλ σπεχιφιχατιονσ Α 7 φοχαλ λενγτη 6 2 φοχυσ, οπτιµιζινγ ωιτη σιγναλ λεϖελ δισπλαψ 4 2 φοχυσινγ µοτιον, σπεχιφιχατιονσ 6 2 φοχυσινγ, τηε λασερ βεαµ 4 1 φρεθυενχψ οφφσετ Β 2 φρεθυενχψ σηιφτ Β 1 φρεθυενχψ, ατ τηε δετεχτορ Β 2 φρινγε παττερν, χουντινγ Β 1 φροντ πανελ χοντρολ ελεµεντσ ΟΦς 511 2 3 χοντρολ ελεµεντσ ΟΦς 512 2 5 φροντ ϖιεω σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 2 3 σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 2 5 Γ γενεραλ δατα, σπεχιφιχατιονσ 6 1 Η ηελιυµ νεον λασερ 3 1 ηετεροδψνε ιντερφεροµετερ Β 2 ηουσινγ χλεανινγ 2 2 σπεχιφιχατιονσ 6 2 ηυµιδιτψ, ρελατιϖε 6 1 Ι ιδεντιφιχατιον λαβελ 2 1 ιµµυνιτψ, στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 ινδιχατινγ, λασερ αχτιϖιτψ 4 1 ινσπεχτιον, ωηεν υνπαχκινγ 2 1 ινσταλλατιον 2 7 ιντενδεδ, υσαγε ασ 2 2 ιντενσιτψ Β 1 ιντερφερενχε φρινγε παττερν Β 1 ιντερφερενχε, οπτιχαλ Β 1 ιντερφεροµετερ, διρεχτιοναλλψ σενσιτιϖε Β 2 ιντερφεροµετριχ µεασυρεµεντ Β 1 ινϖαλιδατε τηε ωαρραντψ 2 2 ϑ ϕαχκ, προπερλψ φιττεδ 2 2 Κ κεψ ΛΑΣΕΡ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 Λ λαµβδα/4 πλατε Β 2 λασερ αχτιϖιτψ, ινδιχατινγ 4 1 λασερ βεαµ αδϕυστινγ φορ ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 3 βλοχκινγ 4 1 φοχυσινγ 4 1 λινεαρ πολαριζεδ Β 2 νο, φαυλτ διαγνοσισ 5 1 οπτιµιζινγ τηε φοχυσ 4 2 λασερ χαϖιτψ λενγτη µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 3 1 σπεχιφιχατιονσ 6 1 λασερ χλασσ πρεχαυτιονσ φορ λασερ σαφετψ 1 1 σπεχιφιχατιονσ 6 1 ΛΑΣΕΡ κεψ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 ΛΑΣΕΡ ΟΝ ΛΕ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 λασερ ουτπυτ ποωερ 6 1 λασερ σαφετψ πρεχαυτιονσ 1 1 στανδαρδσ 1 1 στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 λασερ σαφετψ χλασσ πρεχαυτιονσ φορ λασερ σαφετψ 1 1 σπεχιφιχατιονσ 6 1 ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ ΛΕ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 λασερ τψπε 6 1 λασερ ωαρνινγ λαβελσ ΕΧ χουντριεσ 1 2 νον ΕΧ χουντριεσ 1 4 ποσιτιον, ιν ΕΧ χουντριεσ 1 3 ποσιτιον, ιν νον ΕΧ χουντριεσ 1 5 λασερ ωαϖελενγτη 6 1 λασερ, σπεχιφιχατιονσ 6 1 ΛΕ ινδιχατινγ λασερ αχτιϖιτψ 4 1 ΛΑΣΕΡ ΟΝ, ΟΦς 511 2 3 ΛΑΣΕΡ ΟΝ, ΟΦς 512 2 5 ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ, ΟΦς511 2 3 ΛΑΣΕΡ ΣΤΑΝ ΒΨ, ΟΦς512 2 5 λενγτη φιβερ χαβλε 6 1 λασερ χαϖιτψ 3 1 λιγητ βεαµσ, χοηερεντ Β 1 λιγητ σουρχε µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 3 1 οφ τηε ϖιβροµετερ 1 1 οπτιχαλ χονφιγυρατιον οφ τηε σενσορ ηεαδ Β 2 ιι

Ινδεξ λινεαρ πολαριζεδ βεαµ Β 2 Μ Μαχη Ζεηνδερ ιντερφεροµετερ Β 2 µαινσ χοννεχτιον 2 7 µαιντενανχε ρεθυιρεµεντσ 2 2 µαλφυνχτιον, βεηαϖιορ 5 1 µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχεσ 3 1 σπεχιφιχατιονσ 6 2 ταβλε φορ ΟΦς 511 6 4 ταβλε φορ ΟΦς 512 (διφφερεντιαλ µεασυρεµεντσ) 6 5 ταβλε φορ ΟΦς 512 (σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ) 6 5 µεασυρε, στανδ οφφ διστανχε 3 1 µεασυρεµεντ προχεδυρε, βασιχσ Β 1 µεασυρεµεντ σιγναλ, φαυλτ διαγνοσισ 5 2 µινι σενσορ εξχηανγινγ 4 2 ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 σπεχιφιχατιονσ 6 2 µινιµυµ οφ ϖισιβιλιτψ 3 1 µισσινγ παρτσ 2 1 µυλτιµοδε λασερ 3 1 Ν νο λασερ βεαµ, φαυλτ διαγνοσισ 5 1 νο µεασυρεµεντ σιγναλ, φαυλτ διαγνοσισ 5 2 νον ΕΧ χουντριεσ λασερ ωαρνινγ λαβελσ 1 4 ποσιτιον οφ λασερ ωαρνινγ λαβελσ 1 5 Ο οβϕεχτ βεαµ βασιχσ οφ µεασυρεµεντ προχεδυρε Β 1 οπτιχαλ χονφιγυρατιον ιν τηε σενσορ ηεαδ Β 2 ΟΝ ΛΕ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 οπενινγ υπ, οφ τηε εθυιπµεντ 2 2 οπερατινγ ενϖιρονµεντ 2 2 οπερατινγ ρεθυιρεµεντσ 2 2 οπερατινγ τεµπερατυρε οπτιµυµ 2 2 σπεχιφιχατιονσ 6 1 οπερατινγ, τηε σενσορ ηεαδ 4 1 οπτιχαλ χοµπονεντσ, ηανδλε 2 2 οπτιχαλ χονφιγυρατιον ΟΦς 511 Β 2 ΟΦς 512 Β 3 οπτιχαλ διρεχτιοναλ χουπλερ Β 2 οπτιχαλ ιντερφερενχε Β 1 οπτιχσ, σπεχιφιχατιονσ 6 2 οπτιµαλ στανδ οφφ διστανχε 3 1 οπτιµιζινγ, φοχυσ οφ τηε λασερ βεαµ 4 2 οπτιοναλ αχχεσσοριεσ φιβερ ηεαδσ Α 1 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 Α 6 ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 1 σιδε εξιτ ηεαδσ Α 5 υνπαχκινγ 2 1 Π πατη διφφερενχε Β 1 πηασε διφφερενχε Β 1 πηοτο δετεχτορ Β 1 ποσιτιον, οφ λασερ ωαρνινγ λαβελσ ιν ΕΧ χουντριεσ 1 3 ιν νον ΕΧ χουντριεσ 1 5 ποωερ χονσυµπτιον 6 1 πρεχαυτιονσ, λασερ σαφετψ 1 1 Ρ ρεαρ ϖιεω σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 2 4 σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 2 6 ρεφερενχε βεαµ βασιχσ οφ µεασυρεµεντ προχεδυρε Β 1 οπτιχαλ χονφιγυρατιον, σενσορ ηεαδ ΟΦς 511 Β 2 οπτιχαλ χονφιγυρατιον, σενσορ ηεαδ ΟΦς 512 Β 3 ρεφερενχε ηεαδσ αδϕυστινγ λασερ βεαµ φορ ΟΦς 153 Α 3 αδϕυστινγ στανδ οφφ διστανχε φορ ΟΦς 153 Α 4 διµενσιονσ 6 4 εξχηανγινγ ΟΦς 151 4 2 εξχηανγινγ ΟΦς 153 Α 2 οϖερϖιεω ΟΦς 153 Α 1 ρελατιϖε ηυµιδιτψ 6 1 ρεπαιρ 5 1 ρετυρν, οφ τηε ινστρυµεντ 2 1 Σ σαφετψ πρεχαυτιονσ, λασερ σαφετψ 1 1 σαφετψ, λασερ 1 1 σενσορ ηεαδ, οπερατινγ τηε 4 1 σενσορ µουντ ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 σεριαλ νυµβερ 2 1 σιδε εξιτ ηεαδσ διµενσιονσ 6 3 εξχηανγινγ Α 5 οϖερϖιεω Α 5 ιιι

Ινδεξ σιγναλ λεϖελ δισπλαψ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 οπτιµιζινγ τηε φοχυσ 4 2 ΣΙΓΝΑΛ ΠΡΟΧΕΣΣΟΡ, χοννεχτορ ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ, µακινγ 4 2 σπεχιφιχατιονσ, τεχηνιχαλ αµβιεντ χονδιτιονσ 6 1 διµενσιονσ οφ τηε φιβερ ηεαδσ 6 3 διµενσιονσ οφ τηε ρεφερενχε ηεαδσ 6 4 διµενσιονσ οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδσ 6 3 ελεχτριχαλ δατα 6 1 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 Α 7 φοχυσινγ µοτιον 6 2 γενεραλ δατα 6 1 ηουσινγ 6 2 λασερ 6 1 µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 6 2 οπτιχσ 6 2 στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 σποτ σιζε απερτυρε 6 2 τψπιχαλλψ 6 2 στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 λασερ σαφετψ 1 1 ΣΤΑΝ ΒΨ ΛΕ ΟΦς 511 2 3 ΟΦς 512 2 5 στανδ οφφ διστανχε αδϕυστινγ φορ ρεφερενχε ηεαδ ΟΦς 153 Α 4 µινιµυµ 6 2 οπτιµαλ 3 1 στοραγε τεµπερατυρε 6 1 σωιτχηινγ οφφ, ϖιβροµετερ 4 1 σωιτχηινγ ον, ϖιβροµετερ 4 1 Τ ταβλεσ, µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 6 4 τεχηνιχαλ σπεχιφιχατιονσ αµβιεντ χονδιτιονσ 6 1 διµενσιονσ οφ τηε φιβερ ηεαδσ 6 3 διµενσιονσ οφ τηε ρεφερενχε ηεαδσ 6 4 διµενσιονσ οφ τηε σιδε εξιτ ηεαδσ 6 3 ελεχτριχαλ δατα 6 1 φλεξιβλε αρµ ΟΦς 039 Α 7 φοχυσινγ µοτιον 6 2 γενεραλ δατα 6 1 ηουσινγ 6 2 λασερ 6 1 µαξιµα οφ ϖισιβιλιτψ 6 2 οπτιχσ 6 2 στανδαρδσ αππλιεδ 6 1 τεµπερατυρε, ραπιδ χηανγε ιν 2 2 τηεορψ Β 1 τρανσπορτ ηανδλε ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 τρανσπορτ σαφετψ µεχηανισµ αχτιϖατινγ 4 3 ΟΦς 511 2 4 ΟΦς 512 2 6 οπερατινγ ρεθυιρεµεντσ 2 2 Υ υνπαχκινγ χοµπονεντσ 2 1 ινσπεχτιον 2 1 υνσυιταβλε ηανδλινγ 2 1 υσαγε ασ ιντενδεδ 2 2 ς ϖελοχιτψ µεασυρεµεντ, ιντερφεροµετριχ Β 1 ϖιβροµετερ παχκινγ 2 1 σωιτχηινγ ον ανδ οφφ 4 1 ϖισιβιλιτψ, µαξιµα οφ σπεχιφιχατιονσ 6 2 ταβλε φορ ΟΦς 511 6 4 ταβλε φορ ΟΦς 512 (διφφερεντιαλ µεασυρεµεντσ) 6 5 ταβλε φορ ΟΦς 512 (σινγλε ποιντ µεασυρεµεντσ) 6 5 ϖισιβιλιτψ, µινιµυµ οφ 3 1 Ω ωαρµινγ υπ 2 2 ωαρνινγ λαβελσ ΕΧ χουντριεσ 1 2 νον ΕΧ χουντριεσ 1 4 ποσιτιον, ιν ΕΧ χουντριεσ 1 3 ποσιτιον, ιν νον ΕΧ χουντριεσ 1 5 ωαρραντψ, ινϖαλιδατε 2 2 ωαϖελενγτη, λασερ 6 1 ωειγητ 6 2 ωρονγ δελιϖερψ 2 1 Ψ Ψ πιεχε, φιβερ οπτιχ χαβλε 2 5 ιϖ