ΙI Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο Γηαηάμεηο. Μάζεκα: Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΤΔΙ Πεηξαηά Τκήκα Μεραληθώλ Τ.Δ.

Transcript

1 ΙI Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο Γηαηάμεηο Μάζεκα: Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΤΔΙ Πεηξαηά Τκήκα Μεραληθώλ Τ.Δ.

2 Αγσγνί Μνλσηέο Ηκηαγσγνί Διηλεκηπικά ή Μονυηέρ Μονυηήρ είλαη θάζε πιηθό ην νπνίν δελ επηηξέπεη ηελ ειεύζεξε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από ηε κάδα ηνπ. Γελ ππάξρνπλ ηέλειοι μονυηέρ πνπ λα απαγνξεύνπλ εληειώο ηε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ. Μεξηθά πιηθά ηηο πεξηζζόηεξεο θνξέο ζπκπεξηθέξνληαη σο ηέιεηνη κνλσηέο. Μεξηθνί κνλσηέο είλαη ην πλαζηικό, ηα κεπαμικά ςλικά, ηο γςαλί. Δπίζεο ν αημοζθαιπικόρ αέπαρ είλαη έλαο κνλσηήο. Αγυγοί Ωο αγυγοί ραξαθηεξίδνληαη ηα πιηθά πνπ επηηξέπνπλ ηελ ειεύζεξε θίλεζε ειεθηξηθώλ θνξηίσλ κέζσ απηώλ. Γελ ππάξρνπλ ηέιεηνη αγσγνί. H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ, ιόνηα) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά. Πνιιά μέηαλλα είλαη θαινί αγσγνί π.ρ. ν σαλκόρ (Cu) θαη ην αλοςμίνιο (Al). Υπάξρνπλ θαη μη μεηαλλικοί αγυγοί π.ρ. γπαθίηηρ, αγώγιμα πολςμεπή Ημιαγυγοί Ημιαγυγόρ είλαη θάζε πιηθό πνπ έρεη εηδηθή αληίζηαζε κε ηηκέο ανάμεζα ζε απηέο ησλ κνλσηώλ (κεγάιε) θαη ησλ αγσγώλ (κηθξή) θαη πνπ εκθαλίδεη ξαγδαία κείσζε ηεο εηδηθήο ηνπ αληίζηαζεο κε ηελ αύμεζε ηεο ζεξκνθξαζίαο ηνπ. H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά. Τππηθνί εκηαγσγνί είλαη ην πςπίηιο (Si) θαη ην γεπμάνιο (Ge). Αιιηώο ρξεζηκνπνηνύκε μη μονομοπιακά ςλικά όπσο GaAs, InGaAs θ.α. Γηα λα ιεηηνπξγήζνπλ ζαλ εκηαγσγνί ζε ζ δσκαηίνπ ζέινπλ πποζμίξειρ όπσο θώζθνξν (P), αξζεληθό (As), βόξην (B), αξγίιην (Αl) ή γάιιην (Ga). 2 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

3 Βαζηθέο Ιδηόηεηεο ησλ Υιηθώλ

4 Αγσγνί Μνλσηέο Ηκηαγσγνί Διηλεκηπικά ή Μονυηέρ Αγυγοί Ημιαγυγοί Δηδηθή αληίζηαζε Υςειή (ξ > 10 2 Ω.m) Φακειή (< 10-6 Ω.m) Μέηξηα (10 Ω.m > ξ > 10-4 Ω.m) Δηδηθή αγσγηκόηεηα Φακειή Υςειή Μέηξηα Γηειεθηξηθή ζηαζεξά Γηάθνξεο ηηκέο ε r < 0 Γηάθνξεο ηηκέο (ε r,si = 11.7) 4 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

5 Αηνκηθή Γνκή Αλαιόγσο κε ηα άηνκα πνπ έρνπλ ζηε ζηνηβάδα ζζέλνπο ηα πιηθά ζρεκαηίδνπλ δεζκνύο Απιή πξνζέγγηζε: Η θάζε ζηνηβάδα κε θύξην θβαληηθό αξηζκό n ρσξάεη 2n 2 ειεθηξόληα N 2n 2 5 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

6 Σηνηβάδα Σζέλνπο θαη Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο Άπεηξνο θξύζηαιινο κε άηνκα δύν ζηνηρείσλ Δλεξγεηαθό Γηάθελν 6 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

7 Δλεξγεηαθό Γηάθελν ζηα Υιηθά 7 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

8 Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Μνλσηώλ

9 Δλέξγεηα Σηνηβάδαο (ev) Γηειεθηξηθά ή Μνλσηέο Μονυηήρ είλαη θάζε πιηθό ην νπνίν δελ επηηξέπεη ηελ ειεύζεξε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από ηε κάδα ηνπ. Τέλειοι μονυηέρ πνπ λα απαγνξεύνπλ εληειώο ηε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από κέζα ηνπο δελ ππάξρνπλ, αιιά κεξηθά πιηθά ηηο πεξηζζόηεξεο θνξέο ζπκπεξηθέξνληαη σο ηέιεηνη κνλσηέο. Μεξηθνί κνλσηέο είλαη ην πλαζηικό, ηα κεπαμικά ςλικά, ηο γςαλί. Δπίζεο ν αημοζθαιπικόρ αέπαρ είλαη έλαο κνλσηήο. Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο (Valence Band) Δλεξγεηαθό Γηάθελν Δ bg Μεγάιν E bg ζηνπο κνλσηέο Σηνηβάδα Σζέλνπο (Valence Band) 9 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

10 Μνλσηέο Τα ειεθηξηθά πεδία πνπ αλαπηύζζνληαη ζην εζσηεξηθό ηνπο δηαηεξνύληαη γηα απκεηά μεγάλο σπονικό διάζηημα. Με πνισκέλα Καηά ηελ επίδξαζε ειεθηξηθνύ πεδίνπ ζηα πιηθά απηά δεκηνπξγνύληαη ηλεκηποζηαηικά δίπολα πος πποζαναηολίζονηαι καηάλληλα υρ ππορ ηο πεδίο (διεπγαζία πόλυζηρ) ελώ ε εηδηθή ειεθηξηθή ηνπο αληίζηαζε παξακέλεη πςειή. Η ηδηόηεηα απηή θαζνξίδεη βαζηθά ηε δηειεθηξηθή ζπκπεξηθνξά ηνπο. Η δηειεθηξηθή ηνπο ζπκπεξηθνξά πεξηγξάθεηαη από ηε διηλεκηπική ζηαθεπά (dielectric coinstant) όπνπ ε ε δηειεθηξηθή ζηαζεξά ηνπ πιηθνύ ε r ε ζρεηηθή δηειεθηξηθή ζηαζεξά θαη ε 0 = F/m ε δηειεθηξηθή ζηαζεξά ηνπ θελνύ r 0 V Πνισκέλα από εμσηεξηθή ηάζε V 10 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

11 Μνλσηέο ζηε Μηθξν- θαη Ναλν-ειεθηξνληθή Σπλήζε Γηειεθηξηθά: SiO 2, Si 3 N 4, HfO 2 Υτηλό ε r (HfO 2 ) Μεγάιε Φσξεηηθόηεηα ζηελ πύιε ηνπ transistor Φαμηλό ε r (πνξώδεο SiO 2 ) Μηθξή Φσξεηηθόηεηα γηα κηθξή αιιειεπίδξαζε κεηαμύ γξακκώλ 11

12 Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Αγσγώλ

13 Η αιιειεπηθάιπςε δεκηνπξγεί πολλούρ ελεύθεποςρ θνξείο ζε απηά ηα πιηθά Δλέξγεηα Σηνηβάδαο (ev) Αγσγνί Ωο αγυγοί ραξαθηεξίδνληαη ηα πιηθά πνπ επηηξέπνπλ ηελ ειεύζεξε θίλεζε ειεθηξηθώλ θνξηίσλ κέζσ απηώλ. Γελ ππάξρνπλ ηέιεηνη αγσγνί. H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ, ιόνηα) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά. Πνιιά μέηαλλα είλαη θαινί αγσγνί π.ρ. ν σαλκόρ (Cu) θαη ην αλοςμίνιο (Al). Υπάξρνπλ θαη μη μεηαλλικοί αγυγοί π.ρ. γπαθίηηρ, αγώγιμα πολςμεπή Σηνπο αγσγνύο E g = 0 Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο (Valence Band) Σηνηβάδα Σζέλνπο (Valence Band) 13 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

14 Νόκνο Ohm V- Αξλεηηθή ηάζε V+ Θεηηθή ηάζε Αγσγνί: Ηιεθηξηθή Αληίζηαζε Ηλεκηπική Ανηίζηαζη Μεηάλλυν Διεύζεξα ειεθηξόληα Σύγκποςζη ηυν ελεύθεπυν ηλεκηπονίυν με ηα ιόνηα ηος πλέγμαηορ (κόξηα πνπ ηνπο ιείπεη ην ειεθηξόλην) R V I dv di Άδεηεο ζέζεηο Μεηαιιηθά ηόληα πνπ ηαιαληώλνληαη γύξσ από ηελ θεληξηθή ηνπο ζέζε Ξέλα άηνκα ζην πιέγκα 14 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

15 Αγσγνί: Υπνινγηζκόο Αληίζηαζεο Δηδηθή Αληίζηαζε Η αληίζηαζε είλαη αλάινγε ηνπ κήθνπο ηνπ αγυγού ( l ) θαη αληηζηξόθσο αλάινγε ηεο διαηομήρ ηος ( Α ) R l A [Ω] ρ = εηδηθή αληίζηαζε θαη είλαη ηδηόηεηα ηνπ θάζε πιηθνύ ζε ζπγθεθξηκέλεο ζπλζήθεο (επεξεάδεηαη από ηε ζεξκνθξαζία Τ). Αγσγηκόηεηα: 15 G [S=1/Ω] A l 1 [Ω m] [Ω.m] [S/m] Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

16 Αγσγνί: Άζθεζε Ηιεθηξηθήο Αληίζηαζεο Καισδίνπ Πξόβιεκα 1. Πνηα ε αληίζηαζε ράιθηλνπ ζύξκαηνο κήθνπο L=10 cm θαη δηακέηξνπ d=1cm (Χαλκός: ρ = Ω.m) 2. Πνηα ε αληίζηαζε 5 ηέηνησλ παξάιιεισλ θαισδίσλ d d = 1 cm Χαλκός: ρ = Ω.m L = 10 cm Πολλά παράλληλα καλώδια Λύζε A = πr 2 =π(d/2) 2 =0.785 cm 2 R=ξ L/A= / ( ) Ω = = Ω = 2.14 κω R 5 =R/5 = κω

17 Μέηαιια ζην Back End of Line ησλ IC Παιηά (1997-) αινπκίλην (Al) ρ = Ω.m Τώξα (1997+) ραιθόο (Cu) ρ = Ω.m Σε θάζε ηερλνινγία π.ρ. 22 nm, 14 nm ηο πάσορ ηος κάθε μεηαλλικού ζηπώμαηορ είναι ζηαθεπό Γηαζπλδέζεηο ηξαλδίζηνξ θαη δηαθνξεηηθώλ ππνζπζηεκάησλ Αληίζηαζε θύιινπ 17 Σύγρξνλεο ηερλνινγίεο έρνπλ ~12 layers κεηάιινπ Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

18 Μέηαιια: Υπνινγηζκόο Αληίζηαζεο Φύιινπ R R l L L A tw t W Ανηίζηαζη Φύλλος Sheet resistance (R s ) L Rs W R s t R s R L W 13 W R L R s = 5Ω [Ω/, Ω ] R = 65 Ω R s R s R s R s R s R s R s R s R s R s R s R s R s

19 Μέηαιια: Άζθεζε Ηιεθηξηθήο Αληίζηαζεο Πξόβιεκα Αλ ε αληίζηαζε R s = 5 Ω/, ππνινγίζηε: R 1 + ΓV - ηηο αληηζηάζεηο R 1, R 2, R 3, R 4 ηε ζπλνιηθή αληίζηαζε R total R total Λύζε R 3 = R s 36 / 1 = 180 Ω R 1 = R s 36 / 4 = 45 Ω R 2 = R s 36 / 3 = 60 Ω R 4 = R s 36 / 2 = 90 Ω R total =R 1 //R 2 //R 3 //R 4 = R s 36/10 = 18 Ω R 2 R 3 R 4

20 Μηθξνζθνπηθή Γνκή ζηξσκάησλ Φαιθνύ Κάηοτη νανοκαλυδίος Cu Τα πιηθά θαηά ηελ θαηαζθεπή ηνπο δνκνύληαη ζε κπςζηαλλικούρ κόκκοςρ Αλαιόγσο κε ηε κέζνδν θαηαζθεπήο έρνπκε θαη ην κέγεζνο ησλ θόθθσλ Μέζε Διεύζεξε Γηαδξνκή (mean free path MFP) ησλ e - νξίδεηαη σο ε απόζηαζε πνπ δηαλύνπλ κεηαμύ δύν ζπγθξνύζεσλ ζηα ηαιαληνύκελα ηόληα Bulk: ην MFP εμαξηάηαη από ηα ηόληα Νανοκλίμακα: ην MFP εμαξηάηαη από ηελ απόζηαζε κεηαμύ θόθθσλ αιιά θαη ησλ δηαζηάζεσλ Οη άζπξεο γξακκέο δείρλνπλ ηα όξηα ησλ θόθθσλ ηνπ Cu

21 Resistivity (10-8 Ω.m) Resistivity (10-8 Ω.m) Αληίζηαζε ζε Ναλνκεηξηθέο Γηαζηάζεηο Όηαλ νη διαζηάζειρ γίνονηαι ζςγκπίζιμερ με ηη μέζη ελεύθεπη διαδπομή bulk Δπεξεάδεηαη ε εηδηθή αληίζηαζε από ην πιάηνο θαη ην πάρνο ησλ γξακκώλ Ναλνλήκαηα Nanowires t = 130nm ιεπηό πκέλην Πάρνο Cu (nm) Πιάηνο λαλνλήκαηνο Cu (nm) λαλνλήκα

22 Μέηαιια: Δμάξηεζε Αληίζηαζεο από Θεξκνθξαζία Απμάλεηαη ε ζεξκνθξαζία Μεγαιώλνπλ νη ηαιαληώζεηο ηνπ πιέγκαηνο Απμάλεηαη ε εηδηθή αληίζηαζε ηνπ κεηάιινπ Απμάλεηαη ε αληίζηαζε ηνπ θαισδίνπ ( T) 1 a(t T ) 0 0 θαιώδην R( T ) R 1 a(t T ) 0 0 Τ ε ηξέρνπζα ζεξκνθξαζία, Τ 0 ε ζεξκνθξαζία αλαθνξάο, R 0 = R(T 0 ) ε αληίζηαζε ζηε ζεξκνθξαζία αλαθνξάο α είλαη έλαο εκπεηξηθόο ζπληειεζηήο πνπ πξνθύπηεη πξνζεγγηζηηθά γηα θάζε πιηθό. Δμαξηάηαη από ηε ζεξκνθξαζία. Γιδ α = α(τ). Για απλούζηεςζη ηον θευπούμε ζηαθεπό για ένα εύπορ θεπμοκπαζιών.

23 Δπηδεξκηθό Φαηλόκελν ζηα Μεηαιιηθνύο Αγσγνύο Σε πςειέο ζπρλόηεηεο ην ξεύκα δελ άγεηαη από όιε ηε δηαηνκή ηνπ πιηθνύ Δμαηηίαο επαγσγηθώλ θαηλνκέλσλ ηα ειεθηξόληα καδεύνληαη πξνο ηα ηνηρώκαηα ηνπ αγσγνύ Η ζπγθέληξσζε εμηζνξξνπείηαη εμαηηίαο ησλ απσζηηθώλ δπλάκεσλ κεηαμύ ησλ ειεθηξνλίσλ Τν βάζνο όπνπ ε ζπγθέληξσζε ησλ ειεθηξνλίσλ πέθηεη ζην 1/e νλνκάδεηαη skin depth θαη είλαη ίζν κε: f Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

24 Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Ηκηαγσγώλ

25 Δλέξγεηα Σηνηβάδαο (ev) Ηκηαγσγνί Ημιαγυγόρ είλαη θάζε πιηθό πνπ έρεη εηδηθή αληίζηαζε κε ηηκέο ανάμεζα ζε απηέο ησλ κνλσηώλ (κεγάιε) θαη ησλ αγσγώλ (κηθξή) θαη πνπ εκθαλίδεη ξαγδαία κείσζε ηεο εηδηθήο ηνπ αληίζηαζεο κε ηελ αύμεζε ηεο ζεξκνθξαζίαο ηνπ. H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά. Τππηθνί εκηαγσγνί είλαη ην πςπίηιο (Si) θαη ην γεπμάνιο (Ge). Αιιηώο ρξεζηκνπνηνύκε μη μονομοπιακά ςλικά όπσο GaAs, InGaAs θ.α. Γηα λα ιεηηνπξγήζνπλ ζαλ εκηαγσγνί ζε ζ δσκαηίνπ ζέινπλ πποζμίξειρ όπσο θώζθνξν (P), αξζεληθό (As), βόξην (B), αξγίιην (Αl) ή γάιιην (Ga). Δλεξγεηαθό Γηάθελν Δ g Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο (Valence Band) Μηθξό E bg ζηνπο εκηαγσγνύο Σηνηβάδα Σζέλνπο (Valence Band) 25 Τν Ε bg είλαη κηθξό έηζη ώζηε ζε Τ δσκαηίνπ κπνξνύλ λα δημιοςπγούνηαι ελεύθεποι θοπείρ πνπ μεηαπηδούν από ηε ζηνηβάδα ζζέλνπο ζηε ζηνηβάδα αγσγηκόηεηαο

26 Κξπζηαιιηθό Πιέγκα Οη θξύζηαιινη ραξαθηεξίδνληαη από κία κνλαδηαία θπςειίδα πνπ επαλαιακβάλεηαη Αλαιόγσο κε ηελ θαηεύζπλζε αιιάδνπλ νη ηδηόηεηεο Πποζαναηολιζμόρ κπςζηάλλος Si 26 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο Η θαηεύζπλζε [XXX] (π.ρ. [100]) νξίδεη ην δηάλπζκα πνπ πεξλάεη από ην 000 θαη ην 111. Τν επίπεδν πνπ είλαη θάζεην ζε απηό ην δηάλπζκα νλνκάδεηαη (ΦΦΦ).

27 Ππθλόηεηα Φνξέσλ Δμάξηεζε Ππθλόηεηαο Φνξέσλ από Θεξκνθξαζία Η ενέπγεια Fermi (E F ) είλαη ε ελέξγεηα όπνπ ππάξρεη ίζε πηζαλόηεηα ν θνξέαο λα είλαη είηε ζε πςειόηεξε ελέξγεηα είηε ζε ρακειόηεξε. ειεθηξό ληα n N e C E C E kt F Γηα ην Si: N C = cm - T room νπέο p N e V E F E kt V Γηα ην Si: N V = cm T room T room Σηνπο αλόζεπηνπο εκηαγσγνύο: 27 E F kt / 2ln EC EV N V 2 N C

28 Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si I Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ Αύμεζε ηεο αγσγηκόηεηαο ηνπ Si Γεκηνπξγία ειεύζεξσλ ειεθηξνλίσλ (ηύπνπ n) ή νπώλ (ηύπνπ p) Ππόζμιξη ζηο Si Boron (B) Phosphorus (P) Arsenic (As) p n n Τύπορ ημιαγυγού 28 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

29 Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si II Δκθύηεπζε Ιόλησλ Γηάρπζε Ιόλησλ Γηάηαμε εκθπηεπηή ηόλησλ Δλεξγνπνίεζε θνξέσλ ζε κεγάιεο ζεξκνθξαζίεο ( >600 o C αλάινγα ηε δόζε, 30 min ) 29 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

30 Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si III Γηάηαμε εκθπηεπηή ηόλησλ 30 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο

31 Σπγθέληξσζε θνξέσλ (cm -3 ) Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si IV Η ειδική ανηίζηαζη (ρ) είλαη ανάλογη ηεο ζςγκένηπυζηρ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν δειαδή ησλ πποζμίξευν Πςπίηιο (Si): Yςειή εηδηθή αληίζηαζε όηαλ έρεη ιίγνπο θνξείο (~10 4 Ω.cm) Γεπμάνιο (Ge): Υςειόηεξε θηλεηηθόηεηα θνξέσλ Φακειόηεξε εηδηθή αληίζηαζε γηα ιηγόηεξνπο θνξείο 31 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο Δηδηθή αληίζηαζε ξ (Ω.cm)

32 ΙI Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο Γηαηάμεηο Τέινο γηα ζήκεξα Νανοηλεκηπονική Τεσνολογία Θευπία: Γεπηέξα, 09:00 12:00 Επγαζηήπιο: Τξίηε, 09:00 11:00 32 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. Σαξάθεο Παλαγηώηεο